掩膜版管理系统以及掩膜版使用方法技术方案

一种掩膜版管理系统以及掩膜版使用方法。该掩膜版管理系统包括：掩膜版投入模块，其被配置来提供至少一个掩膜版组，每个所述掩膜版组包括一个卡匣和放置在所述卡匣内的多个掩膜版；掩膜版检测和处理模块，其被配置来检测所述掩膜版组中的多个掩膜版，并根据检测结果对需要处理的掩膜版进行对应的掩膜版处理；掩膜版分类模块，其被配置来将经过处理并合格的掩膜版重新调整到所述掩膜版所属的掩膜版组的卡匣中。该掩膜版管理系统以及掩膜版使用方法可进行精细化的管控，有利于提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本公开至少一实施例涉及一种掩膜版管理系统以及掩膜版使用方法。
技术介绍
在有机发光二极管(Organic light-emitting diode，OLED)显示面板的制作过程中，需要用到掩膜版。在通常的掩膜版使用过程中，采用单片掩膜版管控的方式，该方法比较繁琐，并存在掩膜版被错用的风险，不利于生产效率的提高。
技术实现思路
本公开的至少一实施例涉及一种掩膜版管理系统以及掩膜版使用方法，以进行精细化的管控，有利于提高生产效率。本公开的至少一实施例提供一种掩膜版管理系统，包括：掩膜版投入模块，其被配置来提供至少一个掩膜版组，每个所述掩膜版组包括一个卡匣和放置在所述卡匣内的多个掩膜版；掩膜版检测和处理模块，其被配置来检测所述掩膜版组中的多个掩膜版，并根据检测结果对需要处理的掩膜版进行对应的掩膜版处理；掩膜版分类模块，其被配置来将经过处理并合格的掩膜版重新调整到所述掩膜版所属的掩膜版组的卡匣中。本公开的至少一实施例提供一种掩膜版使用方法，包括：提供至少一个掩膜版组，每个所述掩膜版组包括一个卡匣和放置在所述卡匣内的多个掩膜版；检测所述掩膜版组中的掩膜版，并根据检测结果对需要处理的掩膜版进行对应的掩膜版处理；将经过所述掩膜版处理工序处理并合格的掩膜版重新调整到所述掩膜版所属的掩膜版组。附图说明为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本公开的一些实施例，而非对本公开的限制。图1为本公开一实施例提供的一种掩膜版管理系统示意图；图2为本公开一实施例提供的掩膜版组示意图；图3为本公开一实施例提供的一种掩膜版管理系统中的一种掩膜版检测和处理模块示意图；图4为本公开一实施例提供的一种掩膜版管理系统中的另一种掩膜版检测和处理模块示意图；图5为本公开一实施例提供的一种掩膜版管理系统中的掩膜版的示意图；图6为本公开一实施例提供的一种掩膜版管理系统中的另一种掩膜版检测和处理模块示意图；图7为本公开一实施例提供的一种掩膜版管理系统中的掩膜版使用管理示意图；图8为本公开一实施例提供的一种掩膜版管理系统中卡匣与掩膜版绑定成掩膜版组的示意图；图9为本公开一实施例提供的掩膜版管理系统应用于OLED显示面板制作的示意图；图10为本公开一实施例提供的掩膜版管理方法的示意图；图11为本公开一实施例提供一种掩膜版管理方法中的在缺陷检测单元中被判NG的示意图；图12为本公开一实施例提供一种掩膜版管理方法中的在图形检测单元中被判NG的示意图；图13为本公开一实施例提供一种掩膜版管理方法中的一种掩膜版检测和处理的示意图；图14为本公开一实施例提供一种包括暂存掩膜版组的掩膜版管理方法中的示意图；图15为本公开一实施例提供一种掩膜版使用方法中掩膜版分类示意图；图16为本公开一实施例提供一种掩膜版使用方法示意图。附图标记：1：掩膜版管理系统；11：掩膜版投入模块；12：掩膜版检测和处理模块；13：掩膜版分类模块；14：掩膜版存储模块；20：蒸镀设备；200：蒸镀腔室；201：第一蒸镀单元；202：第二蒸镀单元；203：第三蒸镀单元；2011-2014：蒸镀腔室；2021-2024：蒸镀腔室；2031：蒸镀腔室；100：掩膜版组；1001：第一掩膜版组；1002：第二掩膜版组；1003：第三掩膜版组；101：卡匣；102：掩膜版；1021：金属丝；121：缺陷检测单元；122：掩膜版清洗单元；123：掩膜版制作/维修单元；124：图形检测单元；125：报废单元；001：绑定掩膜版组；128：卡匣投入模块；129：卡匣清洗单元。具体实施方式为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。如图1所示，本公开一实施例提供一种掩膜版管理系统1，包括：掩膜版投入模块11，掩膜版检测和处理模块12和掩膜版分类模块13。掩膜版投入模块11被配置来提供至少一个掩膜版组，如图2所示，每个掩膜版组100包括一个卡匣101和放置在卡匣101内的多个掩膜版102。需要说明的是，图2的卡匣101中示出了6个掩膜版102，但本公开的实施例的卡匣101中掩膜版102的数量不以此为限，亦可为其他数量。掩膜版检测和处理模块12被配置来检测掩膜版组中的多个掩膜版，并根据检测结果对需要处理的掩膜版进行对应的掩膜版处理。掩膜版分类模块13被配置来将经过处理并合格的掩膜版重新(再次)调整到掩膜版所属的掩膜版组的卡匣中。掩膜版组管理方式即可以保证生产的高效进行，也可保证使用前后掩膜版信息的完整统一。既保证了掩膜版投入的准确性，同时减少了掩膜版的更换时间，也避免了单片掩膜版管控的繁琐和风险。经过掩膜版检测和处理模块的掩膜版，存在判不合格(no good，NG)情况，会出现同一个组的掩膜版分装在不同卡匣里的情况，而掩膜版的分类管理可以使其再形成一个完整的掩膜版组，以便该掩膜版组投入使用。即在掩膜版(组)投入使用前，将多个掩膜版和一个卡匣绑定形成一个掩膜版组，以利后续投入使用。例如，掩膜版组100可用于有机发光二极管(OLED)显示面板的制作。以下以掩膜版组100用于有机发光二极管(OLED)显示面板为例进行说明。有机发光二极管(OLED)显示面板通常在蒸镀设备中进行所需膜层的蒸镀。例如，有机发光二极管(OLED)显示面板包括gate层(栅极和栅线)、栅极绝缘层、有源层、data层(数据线和源漏极)、像素电极层、空穴传输层、空穴注入层、发光层、电子注入层、电子传输层、公共电极层。发光层例如包括可发出红、绿、蓝三种颜色的图形，从而可使得显示面板显示彩色。发光层亦可发出其他颜色的光，本公开的实施例对此不作限定。例如，空穴传输层、空穴注入层、发光层、电子注入层、电子传输层、公共电极层可在蒸镀设备中蒸镀形成。在蒸镀设备中，可在每一膜层的蒸镀中均利用一张掩膜版，但不限于此。例如，在发光层的蒸镀中，可以使用三张掩膜版分别形成红色子像素、绿色子像素、蓝色子像素的图形以发出红、绿、蓝三种颜色，但不限于此。需要说明的是，有机发光二极管(OLED)显示面板的层结构不限于上述例举的情形。 如图3所示，一些示例中，掩膜版检测和处理模块12包括：缺陷检测单元121，其被配置来检测被检测的掩膜版上是否存在异物；掩膜版清洗单元122，其被配置来对经检测存在缺陷的掩膜版或使用后的掩膜版进行清洗；掩膜版制作/维修单元123，其被配置来对经检测存在缺陷的掩膜版进行维修或者重做。掩膜版使用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜版管理系统，包括：掩膜版投入模块，其被配置来提供至少一个掩膜版组，每个所述掩膜版组包括一个卡匣和放置在所述卡匣内的多个掩膜版；掩膜版检测和处理模块，其被配置来检测所述掩膜版组中的多个掩膜版，并根据检测结果对需要处理的掩膜版进行对应的掩膜版处理；掩膜版分类模块，其被配置来将经过处理并合格的掩膜版重新调整到所述掩膜版所属的掩膜版组的卡匣中。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版管理系统，包括：掩膜版投入模块，其被配置来提供至少一个掩膜版组，每个所述掩膜版组包括一个卡匣和放置在所述卡匣内的多个掩膜版；掩膜版检测和处理模块，其被配置来检测所述掩膜版组中的多个掩膜版，并根据检测结果对需要处理的掩膜版进行对应的掩膜版处理；掩膜版分类模块，其被配置来将经过处理并合格的掩膜版重新调整到所述掩膜版所属的掩膜版组的卡匣中。2.根据权利要求1所述的管理系统，其中，所述掩膜版检测和处理模块包括：缺陷检测单元，其被配置来检测被检测的掩膜版上是否存在异物；掩膜版清洗单元，其被配置来对经检测存在缺陷的掩膜版或使用后的掩膜版进行清洗；掩膜版制作/维修单元，其被配置来对经检测存在缺陷的掩膜版进行维修或者重做。3.根据权利要求2所述的管理系统，其中，当所述被检测的掩膜版被所述缺陷检测单元第1次被判定不合格，则被送入所述掩膜版清洗单元以进行清洗，当所述被检测的掩膜版连续2次被判定不合格，则被送入所述掩膜版制作/维修单元以进行维修或重做。4.根据权利要求2所述的管理系统，其中，所述掩膜版检测和处理模块还包括：图形检测单元，其被配置来检测所述被检测的掩膜版的图形是否完好。5.根据权利要求4所述的管理系统，其中，当所述被检测的掩膜版被所述图形检测单元判定为不合格，则被送入所述掩膜版制作/维修单元以进行维修或重做。6.根据权利要求2-5任一所述的管理系统，其中，所述掩膜版检测和处理模块还包括：报废单元，其被配置来将不能维修的掩膜版进行报废处理。7.根据权利要求1-5任一所述的管理系统，还包括：存储模块，其被配置来暂存检测合格后的所述掩膜版组。8.根据权利要求7所述的管理系统，其中，所述掩膜版组用于有机发光二极管显示面板的制作。9.根据权利要求1所述的管理系统，其中，所述掩膜版组所包括的多个掩膜版属于同一类型，或者，所述掩膜版组所包括的多个掩膜版包括至少...

【专利技术属性】
技术研发人员：张小华，刘少华，刘振宇，闫冬，崔富毅，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11