下载掩膜版管理系统以及掩膜版使用方法的技术资料

文档序号:13775115

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种掩膜版管理系统以及掩膜版使用方法。该掩膜版管理系统包括:掩膜版投入模块,其被配置来提供至少一个掩膜版组,每个所述掩膜版组包括一个卡匣和放置在所述卡匣内的多个掩膜版;掩膜版检测和处理模块,其被配置来检测所述掩膜版组中的多个掩膜版,并根据检...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。