一种无损伤检测PSS的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种无损伤检测PSS的装置，属于PSS制程检测领域，包括机架、分别安装在机架上的样品盒和暗室、及设置在机架外侧的图像输出装置；暗室内设有承载台、第二驱动装置、平行光源发生器、与平行光源发生器连接的调焦装置、及设置在暗室内壁上的光学收集器，样品盒和暗室间设有第一驱动装置，第一驱动装置上设有样品传动装置，第一驱动装置包括上下驱动机构和水平旋转驱动机构，上下驱动机构用于将样品盒内不同高度样品取出，水平旋转驱动机构通过驱动样品传动装置将样品送至暗室内承载台上。该装置在不破坏样本的前提下，方便、准确的获取样本信息，具有成本低、反应迅速，能全面监控生产的优点，适用于生产管控。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种检测装置，具体涉及一种无损伤检测PSS的装置，属于PSS制程检测领域。
技术介绍
LED作为一种新型光源，具有节能、环保、寿命长的优势，在资源日益匮乏的今天得到广泛关注。LED的发光效率依赖于PSS衬底微观形貌及均匀性。PSS即图案化蓝宝石衬底，可减少LED外延中的位错密度，改善晶体质量，提高LED的发光效率。但是PSS的结构受制程影响极其敏感，需要针对PSS的微观结构进行制程管控。目前，普遍采用SEM(扫描电子显微镜)和AFM(原子力显微镜)两种检测方式，但是SEM需要将样品破坏，观察断面，此方法耗时长，成本高，不适用于生产管控；AFM测试通过探针探测扫描PSS表面形貌，但是其探针使用寿命短，需要经常更换，维护费用昂贵，同样不适用于生产管控。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题，本技术提供一种无损伤检测PSS的装置，检测样品无损伤、耗时短，可批量测试，管控方便。为了实现上述目的，本技术采用的一种无损伤检测PSS的装置，包括机架、分别安装在机架上的样品盒和暗室、及设置在机架外侧的图像输出装置；所述暗室内设有承载台、第二驱动装置、设置在第二驱动装置上的平行光源发生器、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无损伤检测PSS的装置，其特征在于，包括机架(1)、分别安装在机架(1)上的样品盒(2)和暗室(10)、及设置在机架(1)外侧的图像输出装置(8)；所述暗室(10)内设有承载台(5)、第二驱动装置(9)、设置在第二驱动装置(9)上的平行光源发生器(6)、与平行光源发生器(6)连接的调焦装置(7)、及设置在暗室内壁上的光学收集器(11)，所述第二驱动装置(9)驱动平行光源发生器(6)水平移动，所述调焦装置(7)调节平行光源发生器(6)产生平行光束聚焦，所述光学收集器(11)收集PSS样品反射光束，并将反射光束信息传递到图像输出装置(8)，所述图像输出装置(8)接收反射光束信息并转变成图像信息...

【技术特征摘要】
1.一种无损伤检测PSS的装置，其特征在于，包括机架(1)、分别安装在机架(1)上的样品盒(2)和暗室(10)、及设置在机架(1)外侧的图像输出装置(8)；所述暗室(10)内设有承载台(5)、第二驱动装置(9)、设置在第二驱动装置(9)上的平行光源发生器(6)、与平行光源发生器(6)连接的调焦装置(7)、及设置在暗室内壁上的光学收集器(11)，所述第二驱动装置(9)驱动平行光源发生器(6)水平移动，所述调焦装置(7)调节平行光源发生器(6)产生平行光束聚焦，所述光学收集器(11)收集PSS样品反射光束，并将反射光束信息传递到图像输出装置(8)，所述图像输出装置(8)接收反射光束信息并转变成图像信息输出；所述样品盒(2)和暗室(10)间设有第一驱动装置(3)，所述第一驱动装置(3)上设有样品传动装置(4)，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：涂亮亮，刘亚坤，林建男，魏明德，
申请(专利权)人：徐州同鑫光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32