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本实用新型公开一种无损伤检测PSS的装置，属于PSS制程检测领域，包括机架、分别安装在机架上的样品盒和暗室、及设置在机架外侧的图像输出装置；暗室内设有承载台、第二驱动装置、平行光源发生器、与平行光源发生器连接的调焦装置、及设置在暗室内壁上的...
该专利属于徐州同鑫光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过徐州同鑫光电科技股份有限公司授权不得商用。

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