一种可拆式气体喷淋头制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可拆式气体喷淋头，包括气体导入管、盖板、第一气体分配板及第二气体分配板，盖板和第一气体分配板之间设有第一气体缓冲室，第一气体分配板和第二气体分配板之间设有第二气体缓冲室，第一气体分配板、第二气体分配板上设有贯穿上表面和下表面的多个第一通孔和第二通孔；其中盖板、第一气体分配板通过锁紧装置和第二气体分配板活动连接。本实用新型专利技术第一气体缓冲室与第二气体缓冲室，使得气体在腔室中分布得更加均匀，并且喷淋板之间通过锁紧装置活动连接，方便对喷淋板进行拆卸式保养。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池制备领域，尤其涉及一种可拆式气体喷淋头。
技术介绍
目前，采用等离子增强化学气相沉积法(PECVD)制备硅基薄膜材料已经得到广泛应用。在异质结电池制备过程中，因采用经过制绒后的硅片，且制备的硅基薄膜厚度很薄，对PECVD设备要求更高，即PECVD设备在制绒后的硅片上制备的硅基薄膜均匀性必须很好，也就是对电极结构提出了更高要求，首先是电极喷出的气流均匀性必须好，其次是电极的电场分布必须均匀。现有技术的喷淋头由于采用焊接形成，故容易出现缝隙，脱焊等情况，从而会造成气体的泄露，且喷淋板上直通式气孔，使得气体流速变慢，导致气体在制程室中分布与混合不均匀，制程一段时间后喷淋板上会附着大量的颗粒，待颗粒逐渐堆积形成大的颗粒物，掉落至制程腔中会污染腔体，影响辉光。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提供了一种可拆式气体喷淋头，解决了喷淋头故容易出现缝隙，脱焊等情况，从而会造成气体的泄露，布气不均匀的现象。为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：一种可拆式气体喷淋头，包括气体导入管、盖板、第一气体分配板及第二气体分配板，
所述盖板和第一气体分配板之间设有第一气体缓冲室，第一气体分配板和第二气体分配板之间设有第二气体缓冲室，所述第一气体分配板、第二气体分配板上设有贯穿上表面和下表面的多个第一通孔和第二通孔；所述盖板、第一气体分配板通过锁紧装置和第二气体分配板活动连接。进一步的，所述第一通孔和第二通孔等距错开排布。进一步的，所述第一通孔与和第二通孔为上宽下窄的椎体结构。进一步的，所述锁紧装置为螺栓连接。由上述对本技术结构的描述可知，和现有技术相比，本技术具有如下优点：本技术一种可拆式气体喷淋头,第一气体缓冲室与第二气体缓冲室，使得气体在腔室中分布得更加均匀。其中第一通孔与第二通孔等距错开排布，且通孔上宽下窄，中间用锥面过渡，使得气体从上一个缓冲室到下一个缓冲室及反应室气体流速增加，压力下降，提高了气体在缓冲室及反应室中的混合性和均匀性。并且喷淋板之间通过锁紧装置活动连接，方便对喷淋板进行拆卸式保养。附图说明构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为本技术一种可拆式气体喷淋头结构示意图；图2为本技术盖板、第一气体分配板、第一气体缓冲室、第二气
体分配板、第二气体缓冲室的分布示意图；图3为本技术述盖板、第一气体分配板和第二气体分配板的连接示意图；图4为本技术第一气体分配板、第二气体分配板上上第一瞳孔和第二通孔的分布示意图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。实施例如图1-图4所示，所示为了解决喷淋头故容易出现缝隙，脱焊等情况，从而会造成气体的泄露，布气不均匀的现象，本技术一种可拆式气体喷淋头，包括气体导入管14、盖板11、第一气体分配板12及第二气体分配板13，盖板11和第一气体分配板12之间设有第一气体缓冲室21，第一气体分配板12和第二气体分配板13之间设有第二气体缓冲室22，所述第一气体分配板12、第二气体分配板13上设有贯穿上表面和下表面的多个第一通孔31和第二通孔31，第一通孔31和第二通32孔等距错开排布，且第一通孔31和第二通孔32上宽下窄，中间用锥面过渡，第一通孔31和第二通孔32的错开排布和上宽下窄的结构，使得气体从第一气体缓冲室21到第二气体缓冲室22及反应室气体流速增加，压力下降，提高了气体在缓冲室及反应室中的混合性和均匀性，从而解决现有技术中喷淋板上直通式气孔，使得气体流速变慢，导致气体在制程室中分布与混合不均匀的现象。盖板11及第一
气体分配板12通过边缘多个螺栓41连接第二气体分配板13，待第二气体分配板13工作一段时间后可拆下紧固螺栓41对第二气体分配板13进行保养清洁，以保证反应腔室不受到污染，解决了现有技术容易出现缝隙，脱焊从而会造成气体的泄露。综上所述本技术相对于现有技术，第一气体缓冲室21与第二气体缓冲室22，使得气体在腔室中分布得更加均匀，并且喷淋板之间通过锁紧装置活动连接，方便对喷淋板进行拆卸式保养。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可拆式气体喷淋头，包括气体导入管、盖板、第一气体分配板及第二气体分配板，其特征在于：所述盖板和第一气体分配板之间设有第一气体缓冲室，第一气体分配板和第二气体分配板之间设有第二气体缓冲室，所述第一气体分配板、第二气体分配板上设有贯穿上表面和下表面的多个第一通孔和第二通孔；所述盖板、第一气体分配板通过锁紧装置和第二气体分配板活动连接。

【技术特征摘要】
1.一种可拆式气体喷淋头，包括气体导入管、盖板、第一气体分配板及第二气体分配板，其特征在于：所述盖板和第一气体分配板之间设有第一气体缓冲室，第一气体分配板和第二气体分配板之间设有第二气体缓冲室，所述第一气体分配板、第二气体分配板上设有贯穿上表面和下表面的多个第一通孔和第二通孔；所述盖板、第一气体分配板通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：李鹏飞，王树林，陈剑雨，王武鹏，
申请(专利权)人：钧石中国能源有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35