瞬间真空提供装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种瞬间真空提供装置，其包括：至少一腔室，其与抽真空对象的腔体连通，该腔室与腔体之间还设置有启闭单元；真空泵，其通过管路连接腔室；真空度测量部和真空度调节部，其分别设置于管路、腔室和/或腔体上；处理控制部，其电连接真空度测量部和真空度调节部，真空度测量部实时测量腔室内的真空度并反馈到处理控制部，处理控制部将实时测量的真空度与所需要的真空度进行对比，不符合时控制真空度调节部将腔室内的真空度调节到所需要的真空度。本发明专利技术与现有技术相比，可以在低成本和高效率的前提下为需要真空环境的腔体获得瞬间的真空环境，同时对于真空度的控制也更为精确。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种真空提供装置，具体涉及一种瞬间真空提供装置。
技术介绍
在科学研究和生产过程中，很多研究实验及工艺都在真空设备中进行。一般真空的获得都是使用不同的真空泵或泵组，再或者使用真空发生器等实现，但真空泵等都是通过较细管路连接设备，在管路上加真空控制阀，这样真空获得较慢，且控制很难精确，容易过冲，不能满足一些需要瞬间真空和精确控制的科研或生产工艺要求。还有就是加大型真空泵组实现，但成本太高，真空度不可控。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种可以满足瞬间真空要求且控制更为精确的瞬间真空提供装置。为了达到上述目的，本专利技术的技术方案如下：瞬间真空提供装置，其包括：至少一腔室，其与抽真空对象的腔体连通，该腔室与腔体之间还设置有启闭单元；真空泵，其通过管路连接腔室；真空度测量部，其设置于管路、腔室和/或腔体上，用于测量腔室内的真空度；真空度调节部，其设置于管路、腔室和/或腔体上，用于调节腔室内的真空度；处理控制部，其电连接真空度测量部和真空度调节部，真空度测量部实时测量腔室内的真空度并反馈到处理控制部，处理控制部将实
时测量的真空度与所需要的真空度进行对比，不符合时控制真空度调节部将腔室内的真空度调节到所需要的真空度。本专利技术提供的瞬间真空提供装置，设置了与抽真空对象的腔体连通的腔室、通过管路连接腔室的真空泵、设置于管路、腔室和/或腔体上的真空度测量部和真空度调节部、以及处理控制部；使用时，用真空泵提前对腔室抽真空，真空度通过处理控制部、真空度测量部和真空调节单元控制调节到所需值，然后打开启闭单元，这时腔体的气体会快速吸入腔室达到真空度平衡，然后关闭启闭单元，由此获得腔体内瞬间的真空环境，且对真空度的控制更为精确。因此，本专利技术与现有技术相比，可以在低成本和高效率的前提下为需要真空环境的腔体获得瞬间的真空环境，同时对于真空度的控制也更为精确。在上述技术方案的基础上，本专利技术还可以作如下改进：作为优选的方案，上述的启闭单元还与处理控制部电连接，腔室内的真空度未达到需求时，处理控制部控制打开启闭单元，腔体内的空气快速进入腔室后，真空度测量部测量腔室内的真空度是否达到平衡，如达到则处理控制部控制关闭启闭单元。采用上述优选的方案，可以配合真空度的控制使得腔体和腔室之间的真空度快速且准确地得到平衡，这是由于腔体真空度更高(更好，绝对压力更低)，腔室和腔体平衡后，目标腔体会获得更高的真空度。也可以反过来加气降低真空度，这时是要另一个腔室真空度更低(更差，绝对压力更高)。作为优选的方案，上述的启闭单元为阀门。采用上述优选的方案，可以便于腔室和腔体之间快速的连通和断开。作为优选的方案，上述的阀门为插板阀或蝶阀。采用上述优选的方案，可以便于对阀门进行控制。作为优选的方案，上述的腔室设置于竖直的柱形体内。采用上述优选的方案，可以便于气体的流通，使得瞬间真空度的
获得更为迅速。附图说明图1为本专利技术的瞬间真空提供装置在一些实施方式下的结构示意图。图2为本专利技术的瞬间真空提供装置在另一些实施方式下的结构示意图。图3为本专利技术的瞬间真空提供装置在另一些实施方式下的结构示意图。其中，1.腔室 2.腔体 3.启闭单元 4.真空泵 41.管路 42.真空度测量部 43.真空度调节部 5.处理控制部。具体实施方式下面结合附图详细说明本专利技术的优选实施方式。为了达到本专利技术的目的，如图1所示，在本专利技术的瞬间真空提供装置的其中一些实施方式中，其包括：多个腔室1，其与抽真空对象的腔体2连通，该腔室1与腔体2之间还设置有启闭单元3，该启闭单元3具体可以为插板阀或蝶阀等阀门，也可以为盖体，插板阀还可以具体设置为大口径的真空插板阀；真空泵4，其通过管路41连接腔室1；真空度测量部42，其设置于管路41上，用于测量腔室1内的真空度；真空度调节部43，其设置于管路41上，用于调节腔室1内的真空度；处理控制部5，其电连接真空度测量部42和真空度调节部43，真空度测量部42实时测量腔室1内的真空度并反馈到处理控制部5，处理控制部5将实时测量的真空度与所需要的真空度进行对比，不符合时控制真空度调节部43将腔室1内的真空度调节到所需要的真空度。其中，腔室1还可以根据需要仅设置为一个，而为了到达更快的目的，可以设置多个腔室1，使用时同时开启或依次开启多个腔室1；真空度测量部42和真空度调节部43则可以采用现有的真空测量装置
和真空调节装置即可；处理控制部5则采用常用的单片机即可。另外，如图2-3所示，真空度测量部42和真空度调节部43还可以直接设置在腔室1或者腔体2上，其可以与管路41上的真空度测量部42和真空度调节部43保持三者同时存在，三者中也可以仅设置一处以单独存在。本实施例提供的瞬间真空提供装置，设置了与抽真空对象的腔体连通的腔室、通过管路连接腔室的真空泵、设置于管路上的真空度测量部和真空度调节部、以及处理控制部；使用时，用真空泵提前对腔室抽真空，真空度通过处理控制部、真空度测量部和真空调节单元控制调节到所需值，然后打开启闭单元，这时腔体的气体会快速吸入腔室达到真空度平衡，然后关闭启闭单元，由此获得腔体内瞬间的真空环境，且对真空度的控制更为精确。因此，本实施例与现有技术相比，可以在低成本和高效率的前提下为需要真空环境的腔体获得瞬间的真空环境，同时对于真空度的控制也更为精确。为了进一步地优化本专利技术的实施效果，如图1所示，在本专利技术的瞬间真空提供装置的另一些实施方式中，在上述内容的基础上，上述的启闭单元3还与处理控制部5电连接，腔室1内的真空度未达到需求时，处理控制部5控制打开启闭单元3，腔体2内的空气快速进入腔室1后，真空度测量部42测量腔室1内的真空度是否达到平衡，如达到则处理控制部5控制关闭启闭单元3。采用该实施方式的方案，可以配合真空度的控制使得腔体和腔室之间的真空度快速且准确地得到平衡，这是由于腔体真空度更高(更好，绝对压力更低)，腔室和腔体平衡后，目标腔体会获得更高的真空度。也可以反过来加气降低真空度，这时是要另一个腔室真空度更低(更差，绝对压力更高)。为了进一步地优化本专利技术的实施效果，如图1所示，在本专利技术的瞬间真空提供装置的另一些实施方式中，在上述内容的基础上，上述的腔室1设置于竖直的柱形体内。采用该实施方式的方案，可以便于气体的流通，使得瞬间真空度的获得更为迅速。以上所述的仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本领域
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
瞬间真空提供装置，其特征在于，包括：至少一腔室，其与抽真空对象的腔体连通，所述腔室与所述腔体之间还设置有启闭单元；真空泵，其通过管路连接所述腔室；真空度测量部，其设置于所述管路、所述腔室和/或所述腔体上，用于测量所述腔室内的真空度；真空度调节部，其设置于所述管路、所述腔室和/或所述腔体上，用于调节所述腔室内的真空度；处理控制部，其电连接所述真空度测量部和所述真空度调节部，所述真空度测量部实时测量所述腔室内的真空度并反馈到所述处理控制部，所述处理控制部将实时测量的真空度与所需要的真空度进行对比，不符合时控制所述真空度调节部将所述腔室内的真空度调节到所需要的真空度。

【技术特征摘要】
1.瞬间真空提供装置，其特征在于，包括：至少一腔室，其与抽真空对象的腔体连通，所述腔室与所述腔体之间还设置有启闭单元；真空泵，其通过管路连接所述腔室；真空度测量部，其设置于所述管路、所述腔室和/或所述腔体上，用于测量所述腔室内的真空度；真空度调节部，其设置于所述管路、所述腔室和/或所述腔体上，用于调节所述腔室内的真空度；处理控制部，其电连接所述真空度测量部和所述真空度调节部，所述真空度测量部实时测量所述腔室内的真空度并反馈到所述处理控制部，所述处理控制部将实时测量的真空度与所需要的真空度进行对比，不符合时控制所述真空度调节部将所述腔室内的真空度调...

【专利技术属性】
技术研发人员：张德龙，
申请(专利权)人：威格气体纯化科技苏州股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32