【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能单、多晶硅片制造
,尤其涉及到单晶硅线切割碎片洗料技术。
技术介绍
随着多晶硅铸锭原材料原生多晶价格持续下滑,线切割碎片等废料处理成本偏高;目前市场上一般为HF+HNO3混合液酸洗处理或传统碱洗处理,酸洗处理处理成本较高,生产处理每公斤废料使用化学试剂成本在5元左右,环保压力大,传统碱洗处理虽然成本较低,但是硅片损耗不易控制。随着金刚线切割工艺在单晶领域的推广,单晶市场势必出现回暖;因此,针对金刚线在切割过程中损伤层的特点,研究专项清洗技术十分必要;根据KOH对单晶硅的异性腐蚀机理,结合碎硅片的表面损伤层、粘覆脏污情况,经过试剂配比试验研发出此清洗处理方法本专利技术处理每公斤碎料使用化学试剂成本为2.2元;按照原酸洗处理工艺处理每公斤硅料酸性废水中和处理需要碱类化学试剂1.5元,KOH废水处理比HF+HNO3混合液节省了酸性废水pH值中和成本,且对环境污染小。研究需重点研究解决尽可能清洗处理干净与尽可能实现环保的两难问题。本专利技术单晶硅线切割碎片清洗处理方法,通过工业级HF(浓度为40%)浸泡,计算与实验确定了碱洗液的浓度与温度标准值,用EL级HCL(浓度为38%)21升、EL级HF(浓度为42%)4升、纯水40升调配成混合液清洗液,解决了传统碱洗工艺损耗较大、品质不稳定等缺陷,超声波振荡清洗处理可以得到符合铸锭投炉使用标准的单晶碎片。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种单晶硅线切割碎片清洗处理方法,它克服了现有的处理技术缺陷,处理成本即低又符合下道工序铸锭投炉使用。为实现上述专利技术目的,本专利技术采用以下技术方案:单晶硅 ...
【技术保护点】
单晶硅线切割碎片清洗处理方法,其特征在于依次进行以下步骤:a将分选好的单晶硅线切割碎片装入pp材质清洗花篮,每次装20㎏放入工业浓度为40%HF浸泡60分钟,去除硅片表面氧化层;b清洗槽加入1.5千克浓度为90%KOH,用50升纯水溶解碱液浓度控制在2.5%±0.2,碱液温度控制在30-35℃,将装单晶硅线切割碎片的花篮放入碱溶液内用四氟棒搅拌清洗,时间控制在210秒-240秒之间,然后用纯水进行3级漂洗,去除表面附着物;c用EL级浓度为38%HCL21升、EL级浓度为42%HF4升、纯水40升调配成混合液,将装单晶硅线切割碎片的花篮放入混合液搅拌清洗30分钟,然后用纯水漂洗,去除硅片表面氧化层、金属离子;d放入超生波清洗槽内,加入纯水加热至40-50℃进行超声波清洗,之后而转入到清洗液中,去除硅片碎料表面及微小附着物、酸液残留,烘干后将得到符合铸锭投炉标准的循环尾料。
【技术特征摘要】
1.单晶硅线切割碎片清洗处理方法,其特征在于依次进行以下步骤:a将分选好的单晶硅线切割碎片装入pp材质清洗花篮,每次装20㎏放入工业浓度为40%HF浸泡60分钟,去除硅片表面氧化层;b清洗槽加入1.5千克浓度为90%KOH,用50升纯水溶解碱液浓度控制在2.5%±0.2,碱液温度控制在30-35℃,将装单晶硅线切割碎片的花篮放入碱溶液内用四氟棒搅拌清洗,时间控制在210秒-240秒之间,然后用纯水进行3级漂洗,去除表面附着物;c用EL级浓度为38%HCL...
【专利技术属性】
技术研发人员:王民磊,郭会杰,刘国军,刘富强,方圆,杨国辰,武肖伟,
申请(专利权)人:河南盛达光伏科技有限公司,
类型:发明
国别省市:河南;41
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