一种钨钛酸铋铁电薄膜的制备方法技术

一种钨钛酸铋铁电薄膜，该薄膜材料的化学式为Bi4Ti3‑xWxO12，其中0＜x≤0.5。其制备方法的工艺路线为：配制前驱液→制备前驱膜→制备铁电薄膜；该方法以水合硝酸铋、钛酸正四丁酯和异丙醇钨为前驱物，以冰乙酸和二乙醇甲醚的混合溶液为溶剂，以乙酰丙酮为稳定剂配制前驱液，经涂覆后高温焙烧制得光滑致密、厚度均匀、光透性好钨钛酸铋薄膜。这种方法具有易于控制材料组分，便于实现规模化生产的优点。该薄膜具有优良的铁电性能，剩余极化强度高，抗疲劳性能好，与稀土元素掺杂的钛酸铋铁电薄膜相比，该薄膜制备过程不添加任何稀土元素，从而降低薄膜的生产成本，在非易失性铁电存储器领域具有广阔的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
201610177743

【技术保护点】
一种钨钛酸铋铁电薄膜，其特征在于，其分子式为Bi4Ti3‑xWxO12，其中0＜x≤0.5。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：高锋，张继豪，吴艳，韦悦周，
申请(专利权)人：广西大学，
类型：发明
国别省市：广西;45