【技术实现步骤摘要】
201610317866
【技术保护点】
一种位移测量校正装置，其特征在于，所述装置包括：光栅位移传感器，所述光栅位移传感器用于进行位移测量；电控单元，所述电控单元用于获得所述光栅位移传感器所测量的第一位移信息；校正单元，所述校正单元用于获得所述第一位移信息，并根据所述第一位移信息获得误差补偿信息；数据处理单元，所述数据处理单元用于获得来自光栅位移传感器的第二位移信息和所述误差补偿信息，并根据所述第二位移信息和所述误差补偿信息实现对所述第二位移信息的校正。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：高金磊，宗明成，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11
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