【技术实现步骤摘要】
201610377057
【技术保护点】
一种多自由度微动调整装置,其特征在于,该多自由度微动调整装置安装在扫描电子显微镜的真空腔内,其包括固定台、上下移动单元(1)、水平移动单元(2)和微动调整臂(7),其中,所述上下移动单元(1)沿着竖直方向设置在固定台上,其包括通过滚珠导轨彼此连接的导向部(11)和移动部(12),所述导向部(11)与固定台相连,导向部用于对设置其上的结构进行支撑,所述移动部(12)上安装有上下驱动电机(4),所述上下驱动电机(4)用于带动移动部(12)沿Z轴方向上下移动,所述移动部(12)的顶部与所述导向部(11)的底部之间设置有复位弹簧,所述水平移动单元(2)通过连接板沿着水平方向设置在上下移动单元(1)的移动部(12)上,其包括第一关联部件(21)、第二关联部件(22)以及第三关联部件(23),所述第一关联部件(21)和第二关联部件(22)通过滚珠导轨彼此滑动连接,所述第二关联部件(22)和第三关联部件(23)也通过滚珠导轨彼此滑动连接,所述第一关联部件(21)与上下移动单元的移动部(12)保持相连,用于对水平移动单元(2)进行支撑,所述第一关联部件(21)上安装有左右驱动电机(6),所述第二关联部 ...
【技术特征摘要】
1.一种多自由度微动调整装置,其特征在于,该多自由度微动调整装置安装在扫描电子显微镜的真空腔内,其包括固定台、上下移动单元(1)、水平移动单元(2)和微动调整臂(7),其中,所述上下移动单元(1)沿着竖直方向设置在固定台上,其包括通过滚珠导轨彼此连接的导向部(11)和移动部(12),所述导向部(11)与固定台相连,导向部用于对设置其上的结构进行支撑,所述移动部(12)上安装有上下驱动电机(4),所述上下驱动电机(4)用于带动移动部(12)沿Z轴方向上下移动,所述移动部(12)的顶部与所述导向部(11)的底部之间设置有复位弹簧,所述水平移动单元(2)通过连接板沿着水平方向设置在上下移动单元(1)的移动部(12)上,其包括第一关联部件(21)、第二关联部件(22)以及第三关联部件(23),所述第一关联部件(21)和第二关联部件(22)通过滚珠导轨彼此滑动连接,所述第二关联部件(22)和第三关联部件(23)也通过滚珠导轨彼此滑动连接,所述第一关联部件(21)与上下移动单元的移动部(12)保持相连,用于对水平移动单元(2)进行支撑,所述第一关联部件(21)上安装有左右驱动电机(6),所述第二关联部件(22)与左右驱动电机(6)的转子相连,第二关联部件(22)上安装有前后驱动电机(3),所述第三关联部件(23)与前后驱动电机(3)的转子相连,所述第三关联部件(23)上安装有旋转运动电机(5),所述第一关联部件(21)和第二关联部件(22)间设置有复位弹簧,所述第二关联部件(22)和第三关联部件...
【专利技术属性】
技术研发人员:雷自力,薛富利,刘晓军,胡明军,卢文龙,薛龙,
申请(专利权)人:襄阳宏伟航空器有限责任公司,
类型:发明
国别省市:湖北;42
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。