一种基板定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及基板加工技术领域，公开一种基板定位装置，包括支撑板以及安装于支撑板的定位模块，支撑板具有支撑面；定位模块包括多个定位机构，其中一部分定位机构形成主动定位模块，另一部分定位机构形成从动定位模块；支撑板上设有直线槽，相互对应的定位机构和直线槽中：定位机构中：第一连接板沿直线槽延伸方向位置可调节地安装于支撑板；第二连接板沿与支撑面垂直的方向滑动地安装于第一连接板；夹持模块沿与直线槽延伸方向滑动地安装于第二连接板；当第二连接板相对于第一连接板、夹持模块相对于第二连接板向朝向基板的方向分别移动到极限位置时，柔性限位件处于定位工位。该装置使用灵活性好，能够对基板进行精确定位调整、且对基板损伤少。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及基板加工
，公开一种基板定位装置，包括支撑板以及安装于支撑板的定位模块，支撑板具有支撑面；定位模块包括多个定位机构，其中一部分定位机构形成主动定位模块，另一部分定位机构形成从动定位模块；支撑板上设有直线槽，相互对应的定位机构和直线槽中：定位机构中：第一连接板沿直线槽延伸方向位置可调节地安装于支撑板；第二连接板沿与支撑面垂直的方向滑动地安装于第一连接板；夹持模块沿与直线槽延伸方向滑动地安装于第二连接板；当第二连接板相对于第一连接板、夹持模块相对于第二连接板向朝向基板的方向分别移动到极限位置时，柔性限位件处于定位工位。该装置使用灵活性好，能够对基板进行精确定位调整、且对基板损伤少。【专利说明】一种基板定位装置
本技术涉及基板加工
，尤其涉及一种基板定位装置。
技术介绍
在基板加工
，基板的定位装置用于在对基板进行如检测、加工等处理工序之前对基板进行精确定位，以防止在进行后续检测、加工作业时因为基板位置偏差而产生检测、加工位置不准确等状况导致检测、加工精度下降的现象。由于检测、加工等设备体积一般较大，导致整体设备的尺寸精度相较于基板的检测加工精度而言较差，因此无法保证同一尺寸的基板在每一台设备上相对于检测、加工部分的位置完全一致，因此，需要夹持定位装置能根据每台设备的不同情况对基板在设备上的相对位置进行定位以实现相对于每台设备精确定位的目的。同时要求在精确定位的过程中，不能对基板产生损伤。目前，市场中采用的基板的定位装置主要有以下两种方式，如:第一种方式，在定位装置的承载台用于放置基板的位置前后方分别开有一个凹槽，在放置基板的位置左右方分别开有两个凹槽，然后在每一个凹槽内设置一个推块，每一个推块在无杆气缸以及气缸的作用下同时上升，以及前后(左右)移动，从而限制基板前后左右两个方向上的移动，实现对基板的定位;完成对基板的定位后，八个推块分别在无杆气缸以及气缸的作用下同时前后(左右)移动，以及下降，以方便对基板的后续作业;但是，该定位装置不能够对基板夹持定位的实际位置进行微调整，导致该定位装置对基板的使用灵活性较差；第二种方式，通过在基板相邻两个侧边设置一对相对于基板移动的第一定位机构，在另外两个侧边设置一对相对于基板固定的第二定位机构，两个第一定位机构通过马达分别朝向靠近(远离)基板的方向移动以夹紧(松开)基板，但是该定位装置始终保持在与基板处于同一平面的位置，将阻碍基板的搬入、移动以及旋转，其使用灵活性也较差。
技术实现思路
提供一种基板定位装置，该基板定位装置的使用灵活性好，能够对基板进行精确定位调整、且减少对基板造成损伤。为达到上述目的，本技术提供以下技术方案:—种基板定位装置，包括支撑板以及安装于所述支撑板的定位模块，所述支撑板具有用于支撑基板的支撑面;所述定位模块包括多个定位机构，其中一部分所述定位机构形成用于对所述基板中相邻的两个侧边形成的一个直角部进行定位的主动定位模块，另一部分所述定位机构形成用于对所述基板的另外两个侧边形成的直角部进行定位的从动定位模块；所述支撑板上设有与所述定位机构--对应的直线槽，且每一对相互对应的定位机构和直线槽中:所述直线槽的延伸方向与基板中与所述定位机构对应的侧边垂直;且所述定位机构包括第一连接板、第二连接板、夹持模块、用于驱动所述第二连接板移动的第一驱动装置、用于驱动所述夹持模块移动的第二驱动装置，所述夹持模块设有柔性限位件;所述第一连接板沿所述直线槽延伸方向位置可调节地安装于所述支撑板;所述第二连接板与所述第一连接板之间滑动配合、且滑动方向垂直于所述支撑面，所述第二连接板沿所述支撑面垂直方向位置可调地安装于所述第一驱动装置;所述夹持模块与所述第二连接板之间滑动配合、且滑动平行于所述直线槽延伸方向，所述夹持模块沿所述直线槽延伸方向平行方向位置可调地安装于所述第二驱动装置;其中:当所述第二连接板相对于所述第一连接板向朝向基板的方向移动到极限位置时，所述柔性限位件自所述直线槽凸向支撑面一侧；当所述第二连接板相对于所述第一连接板、所述夹持模块相对于所述第二连接板向朝向基板的方向分别移动到极限位置时，所述柔性限位件处于定位工位。上述基板定位装置中，每一个定位机构在使用时，首先，通过第一驱动装置驱动第二连接板相对于第一连接板沿与支撑面垂直的方向朝向基板移动，第二连接板带动夹持模块运动，当第二连接板相对于第一连接板移动到极限位置时，柔性限位件穿过直线槽以高于支撑面，然后，第二驱动装置驱动夹持模块沿与直线槽延伸方向平行的方向朝向基板移动，进而带动柔性限位件向其对应的基板的侧边方向运动，当夹持模块相对于第二连接板移动到极限位置时，柔性限位件处于定位工位，定位机构的定位完成;在使用上述基板定位装置对基板进行定位时，首先，主动定位模块的各个定位机构在其第一驱动装置以及第二驱动装置的依次作用下，柔性限位件到达定位工位，然后从动定位模块在其第一驱动装置的驱动下，柔性限位件穿过直线槽以高于支撑面，在其第二驱动装置的驱动下，柔性限位件推动基板朝向主动定位模块方向移动，直至从动定位模块与主动定位模块围成设定的定位区间，进而将基板定位在定位区间内，基板定位完成。在预放入的基板的尺寸发生变化时，可以对定位机构在支撑板上的安装位置进行微调整，具体操作如下:沿直线槽的延伸方向调节第一连接板在支撑板的连接位置，进而对柔性限位件处于定位工位时沿直线槽的位置进行粗调整，然后，沿直线槽延伸方向平行方向调节夹持模块相对于第二驱动装置的位置，对柔性限位件沿直线槽的位置进行微调;并且，沿支撑面垂直的方向，可以通过调节第二连接板相对于第一驱动装置在垂直于支撑面方向的位置对柔性限位件在垂直于支撑面方向的高度进行微调，以确保在第二连接板相对于第一连接板向朝向基板的方向移动到极限位置时，柔性限位件的定位工位与基板可以恰好在同一水平面。因此，通过对定位机构在支撑板上的安装位置进行微调整，实现对各定位机构均处于定位工位时各柔性限位件所围成的定位区间的大小及位置进行调整，以适应不同尺寸的基板，同时能够通过上述调节对同一基板的不同定位位置实现调整;在定位完成后，每个定位机构的第二驱动装置驱动夹持模块沿着背离基板的方向运动，然后，第一驱动装置驱动夹持模块沿着垂直于支撑面的方向滑动，柔性限位件缩回到直线槽背离支撑面的一侧，从而不会对基板的搬入、移动以及旋转等后续处理工序造成影响，定位机构的使用灵活性好，同时柔性限位件保证在定位时减少对基板的损伤。因此，上述基板定位装置的使用灵活性好，能够对基板进行精确定位调整、且减少对基板造成损伤。优选地，所述主动定位模块包括两个定位机构组，且所述从动定位模块包括两个定位机构组;每一个定位机构组用于对基板的一个侧边进行定位，且每一个定位机构组包括至少一个定位机构。优选地，每一个定位机构组中包括两个定位机构。优选地，所述夹持模块包括:沿与所述直线槽延伸方向平行的方向滑动地安装于所述第二连接板的第三连接板；连接杆，所述连接杆的一端固定于所述第三连接板，且另一端与柔性限位件连接。优选地，所述连接杆的轴心线与所述支撑面垂直，且所述柔性限位件为同轴设置于所述连接杆上的滚轮。优选地，所述滚轮由聚醚醚酮Peek材料制成。优选地，所述滚轮安装于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板定位装置，包括支撑板以及安装于所述支撑板的定位模块，所述支撑板具有用于支撑基板的支撑面；其特征在于，所述定位模块包括多个定位机构，其中一部分所述定位机构形成用于对所述基板中相邻的两个侧边形成的一个直角部进行定位的主动定位模块，另一部分所述定位机构形成用于对所述基板的另外两个侧边形成的直角部进行定位的从动定位模块；所述支撑板上设有与所述定位机构一一对应的直线槽，且每一对相互对应的定位机构和直线槽中：所述直线槽的延伸方向与基板中与所述定位机构对应的侧边垂直；且所述定位机构包括第一连接板、第二连接板、夹持模块、用于驱动所述第二连接板移动的第一驱动装置、用于驱动所述夹持模块移动的第二驱动装置，所述夹持模块设有柔性限位件；所述第一连接板沿所述直线槽延伸方向位置可调节地安装于所述支撑板；所述第二连接板与所述第一连接板之间滑动配合、且滑动方向垂直于所述支撑面，所述第二连接板沿所述支撑面垂直方向位置可调地安装于所述第一驱动装置；所述夹持模块与所述第二连接板之间滑动配合、且滑动平行于所述直线槽延伸方向，所述夹持模块沿所述直线槽延伸方向平行方向位置可调地安装于所述第二驱动装置；其中：当所述第二连接板相对于所述第一连接板向朝向基板的方向移动到极限位置时，所述柔性限位件自所述直线槽凸向支撑面一侧；当所述第二连接板相对于所述第一连接板、所述夹持模块相对于所述第二连接板向朝向基板的方向分别移动到极限位置时，所述柔性限位件处于定位工位。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：汪承坤，琚金星，沈洪星，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34