【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种实现晶圆传送盒粉尘收集的底盘装置，其特征在于，所述底盘装置至少包括：底盘底层和底盘顶层；所述底盘底层和底盘顶层之间形成中空层，所述底盘顶层通过侧边缘支撑在所述底盘底层上，所述底盘顶层中设置有自上而下贯穿所述底盘顶层的多个孔洞。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：姚笛，张珏，陈思安，黄沙，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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