一种片状基片热色涂层的热处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种片状基片热色涂层的热处理装置，包括工作平台，所述工作平台依据退火工艺流程方向依次包括预热段和退火段，所述预热段和退火段内设有热源；所述工作平台内设有贯穿整个工作平台的用于传输基片的传动机构，特别的，所述预热段和退火段内热源的开闭交替进行。本发明专利技术实行了预热段与退火段的热源交替运行，热辐射灯管即开即关的运行方式，通过控制被处理物体的移动速度、热源的加热功率以及加热时间等加热条件，达到降低设备方面投入成本，避免大功率的热辐射灯管持续运行出现的单位能耗过高消费的目的，并通过快速热处理保证了基片上热致变色涂层的质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种退火设备，尤其是涉及一种片状基片热色涂层的热处理装置。
技术介绍
采用PVD方法制备热色智能玻璃，其功能膜层VO2的结晶温度一般在500℃～600℃，虽然相关的研究表明结晶温度在350℃左右亦能够实现智能玻璃的制备，但是在实际商业化的大批量生产中，膜层的温度更接近与前者的温度。在该温度条件下，普通的玻璃往往无法承受这样高的温度而出现破损，因此，人们一般采用应力增强的钢化玻璃作为基底材料。即便如此，由于基片需要加热至500℃～600℃，在这样的温度条件下，经过镀膜后的钢化玻璃容易出现钢化应力退火而变得安全性不足。故热色智能玻璃的制备工艺路线采用低温沉积玻璃后高温快速退火处理而获得具有相变功能调节的智能玻璃成为比较流行的思路。基于以上说明，具有非晶态的VO2涂层的玻璃基片在大气环境下进行高温退火，从材料性能和成品质量的角度需要考虑两个方面的问题，其一是玻璃基片的退火处理，尤其是钢化玻璃基片的退火处理，是否会造成玻璃基片的应力降低；其二是玻璃基片的退火过程不能造成VO本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种片状基片热色涂层的热处理装置，包括工作平台，所述工作平台依据退火工艺流程方向依次包括预热段和退火段，所述预热段和退火段内设有热源；所述工作平台内设有贯穿整个工作平台的用于传输基片的传动机构，其特征在于：所述预热段和退火段内热源的开闭交替进行。

【技术特征摘要】
1.一种片状基片热色涂层的热处理装置，包括工作平台，所述工作平台依据退火工艺流程方
向依次包括预热段和退火段，所述预热段和退火段内设有热源；所述工作平台内设有贯穿
整个工作平台的用于传输基片的传动机构，其特征在于：所述预热段和退火段内热源的开
闭交替进行。
2.根据权利要求1所述的片状基片热色涂层的热处理装置，其特征在于：基片在预热段和退
火段内实现变速加热。
3.根据权利要求2所述的片状基片热色涂层的热处理装置，其特征在于：预热段内热源沿基
片传动方向布置的总长度小于退火段内热源沿基片传动方向布置的总长度；基片在预热段
内的移动速度为V0，基片在退火段内的移动速度为V1，基片在预热段内的移动速度V0大
于基片在退火段内的移动速度V1。
4.根据权利要求2所述的片状基片热色涂层的热处理装置，其特征在于：预热段内热源沿基
片传动方向布置的总长度大于退火段内热源沿基片传动方向布置的总长度；基片在预热段
内的移动速度为V0，基片在退火段内的移动速度为V1，基片在预热段内的移动速度V0小
于基片在退火段内的移动速度V1。
5.根据权利要求2所述的片状基片热色涂层的热处理装置，其特征在于：预热段内热源沿基
片传动方向布置的总长度小于退火段内热源沿基片传动方向布置的总长度时，预热段内热
源的总功率小于或等于退火段内热源的总功率；预热段内热源沿基片传动方...

【专利技术属性】
技术研发人员：詹勇军，徐刚，肖秀娣，史继富，
申请(专利权)人：中国科学院广州能源研究所，
类型：发明
国别省市：广东;44