【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于共焦显微系统的α‑β扫描方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤一、使用上位机软件构造两个正弦信号:α信号和β信号,分别通过数据采集卡的两个通道送入检流式振镜系统,将其作为检流式振镜系统的控制信号;步骤二、所述检流式振镜系统按α信号和β信号进行扫描运动,扫描光斑以同心圆轨迹完成二维扫描,同时数据采集卡采集探测端信息;步骤三、控制检流式振镜系统和轴向微动台,实现对被测样品的三维扫描测量;步骤四、对采集的数据进行处理,重构被测样品三维形貌。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘俭,由小玉,谭久彬,
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学,
类型:发明
国别省市:黑龙江;23
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