【技术实现步骤摘要】
201610324885
【技术保护点】
一种在D形光纤中嵌入微环谐振腔的方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）将D形光纤的曲面部分固定，D形光纤的平面部分涂上光刻胶并烘干；（2）将步骤（1）得到的D形光纤装在光刻机上，光刻机上还装有掩膜板，该掩膜板刻有用于定位D形光纤的平面部分中线位置的图案，通过掩膜板对D形光纤的平面部分进行曝光，曝光位置为D形光纤平面部分的中线位置，使中线位置的光刻胶发生光化反应；（3）将步骤（2）得到的D形光纤用干燥机加热后，浸入丙酮中显影以除去曝光位置的光刻胶，使D形光纤平面部分的中线位置标记有掩膜板上的图案；（4）对步骤（3）得到的D形光纤采用聚焦离子刻蚀方法，在其平面部分刻蚀一个微环谐振腔或多个级联的微环谐振腔，所述微环谐振腔的圆心位于D形光纤平面部分的中线位置。
【技术特征摘要】
1.一种在D形光纤中嵌入微环谐振腔的方法，其特征在于，包括如下步骤：
（1）将D形光纤的曲面部分固定，D形光纤的平面部分涂上光刻胶并烘干；
（2）将步骤（1）得到的D形光纤装在光刻机上，光刻机上还装有掩膜板，该掩膜板刻有用
于定位D形光纤的平面部分中线位置的图案，通过掩膜板对D形光纤的平面部分进行曝光，
曝光位置为D形光纤平面部分的中线位置，使中线位置的光刻胶发生光化反应；
（3）将步骤（2）得到的D形光纤用干燥机加热后，浸入丙酮中显影以除去曝光位置的光
刻胶，使D形光纤平面部分的中线位置标记有掩膜板上的图案；
（4）对步骤（3）得到的D形光纤采用聚焦离子刻蚀方法，在其平面部分刻蚀一个微环谐
振腔或多个级联的微环谐振腔，所述微环谐振腔的圆心位于D形光纤平面部分的中线位置。
2.根据权利要求1所述的一种在D形光纤中嵌入微环谐振腔的方法，其特征在于，所述
掩膜板上携带有一个单峰图案。
3.根据权利要求2所述的一种在D形光纤中嵌入微环谐振腔的方...
【专利技术属性】
技术研发人员：闫海涛，张超，赵晓艳，甄志强，夏立新，
申请(专利权)人：河南科技大学，
类型：发明
国别省市：河南;41
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