一种用于分子泵的涡轮静叶片组制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于分子泵的涡轮静叶片组，包括：上下分布设置的多层涡轮静叶片，每层涡轮静叶片包括中心圆盘和多个叶齿，中心圆盘的横截面为圆环形，多个叶齿均匀分布在中心圆盘的圆周上，叶齿靠近中心圆盘的一端为齿根，叶齿远离中心圆盘的一端为齿端，每个叶齿具有相同的厚度，每个叶齿与中心圆盘之间具有倾斜角。本实用新型专利技术由于叶片是旋转截面，叶片在相同的长度上及空间里，表面积大大增大，分子泵工作时分子碰撞的面积增大，增长了气体分子的运动路径，分子线速度增大，大大提高抽气速率，从而有效的解决分子泵抽速问题，使得分子泵效率更高，更节能。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于流体机械
，尤其是应用于真空栗中，具体来说涉及一种用于分子栗的涡轮静叶片组。
技术介绍
在做机械运动的各类真空栗中，分子栗是一种结构缜密，工艺要求高的栗，其原理是靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在钢体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。涡轮分子栗是由一系列动静相间的叶轮互相配合组成。每个叶轮的叶片与叶轮水平面成一定角度，动片和静片倾角方向相反。主轴带动叶轮在静止的定叶片间高速旋转，高速旋转的叶片将动量传递给气体分子并使其产生定向运动，实现抽气目的。栗叶片的几何形状与抽速和强度有很大的关系。目前，就分子栗叶片的种类基本分为扭制、铣制及冲压等方式。与铣制叶片相比，在相同直径、角度和速度的条件下，扭制叶片缺少几何变量，而且扇形叶面根部的强度较差。整体铣制叶片受加工刀具的限制也很难选择最佳的几何形状。另一种矩形叶齿的铣制叶片，虽然加工简单但叶齿不易加长，否则因叶齿无法承受高速运转时产生的离心力，而导致其断裂。冲压件与采用其他方式加工的工件相比，具有薄、匀、轻、强的特点，因此不适用于作为高速旋转的动叶片。另外，冲压加工所使用的模具一般本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于分子泵的涡轮静叶片组，其特征在于：所述涡轮静叶片组包括：上下分布设置的多层涡轮静叶片，每层涡轮静叶片包括中心圆盘和多个叶齿，所述中心圆盘的横截面为圆环形，所述多个叶齿均匀分布在所述中心圆盘的圆周上，所述叶齿靠近所述中心圆盘的一端为齿根，所述叶齿远离所述中心圆盘的一端为齿端，每个叶齿具有相同的厚度，每个叶齿与所述中心圆盘之间具有倾斜角。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郑荣禧，王秀娟，
申请(专利权)人：四川九天真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51