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本实用新型提供了一种用于分子泵的涡轮静叶片组,包括:上下分布设置的多层涡轮静叶片,每层涡轮静叶片包括中心圆盘和多个叶齿,中心圆盘的横截面为圆环形,多个叶齿均匀分布在中心圆盘的圆周上,叶齿靠近中心圆盘的一端为齿根,叶齿远离中心圆盘的一端为齿端...该专利属于四川九天真空科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川九天真空科技股份有限公司授权不得商用。
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