一种超精密金属机械零部件的加工方法技术

本发明专利技术公开了一种超精密金属机械零部件的加工方法，通过纳米压印方法制备得到所需的精密金属零件形状的凹形模板；利用凹形模板，通过LIGA工艺制备得到所需精密金属零件。本发明专利技术突破零件厚度限制，达到机械加工所无法达到的精度，填补了半导体加工和精密机加工中间从几十微米至毫米级精密加工的空白，零件精细部分一次成型，加工精密度高，可达到几十纳米级别，沿深度方向的直线性和垂直度好，可在加工过程中直接完成零件装配，装配精度高，设备简单，成本低、产能高，可以平行大批量加工。

【技术实现步骤摘要】
201610280935

【技术保护点】
一种超精密金属机械零部件的加工方法，其特征在于，通过纳米压印方法制备得到所需的精密金属零件形状的凹形模板；利用凹形模板，通过LIGA工艺制备得到所需精密金属零件。

【技术特征摘要】
1.一种超精密金属机械零部件的加工方法，其特征在于，通过纳米压印方法制备得到
所需的精密金属零件形状的凹形模板；利用凹形模板，通过LIGA工艺制备得到所需精密
金属零件。
2.根据权利要求1所述的一种超精密金属机械零部件的加工方法，其特征在于，包括
以下步骤：
(1)在压印模版表面制造所需的精密金属零件形状，用作压印模版反复使用；
(2)在基片表面通过镀膜技术沉积一层设定厚度的金属层作为电镀种子层；
(3)在基片上金属电镀种子层表面均匀涂布一层热塑性材料；
(4)将基片表面热塑性材料加热至材料玻璃化温度以上，利用压力将压印模版压印至
热塑性材料中，然后将热塑性材料冷却至玻璃化温度以下固化成型；
(5)将压印模版从基片表面剥离，热塑性材料表面形成与压印模版结构相反的零件凹
槽；
(6)去除热塑性材料表面凹槽底部残余材料；
(7)利用事先镀好的金属电镀种子层作为电极，在热塑性材料表面凹槽中电镀沉积所
需金属，直至填充满整个热塑性材料表面的凹槽结构；
(8)将电镀溢出的金属研磨去除，并将零件研磨至所需的厚度；
(9)去除基片和表面电镀种子层以及热塑性材料，得到精密金属零件。
3.根据权利要求2所述的一种超精密金属机械零部件的加工方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：冀然，
申请(专利权)人：青岛天仁微纳科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：山东;37