用于测试电子组件的点测装置制造方法及图纸

技术编号:13183942 阅读:68 留言:0更新日期:2016-05-11 15:28
本发明专利技术公开一种用于测试电子组件的点测装置,主要包括固定架、活动座、感应开关、探针夹持座、以及控制器,其中,固定架包括升降导杆;活动座开设有直立通孔,活动座藉由直立通孔套设于固定架的升降导杆,并可相对升降滑移;感应开关设置于固定架与活动座之间;探针夹持座是耦接于活动座,且探针夹持座是用于固持探针;控制器电性连接感应开关,且控制器根据感应开关来控制施加电流、或电性信号于探针,据此,本发明专利技术能完全避免现有的用于测试电子组件的点测装置于电性接触接点间因积碳现象所导致的各种情况,且也可显著减少探针的磨耗、以及针痕的形成。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于测试电子组件的点测装置,更具体地说,是一种利用探针检测发光二极管等半导体晶粒性能的用于测试电子组件的点测装置。
技术介绍
在半导体封测产业中,为了检测半导体装置的性能表现或参数,常见会使用用于测试电子组件的点测装置来测试半导体装置。详言之,以发光二极管晶粒的检测为例,在晶圆上形成发光二极管晶粒后,需先经过测试、分级,其依照主波长、发光强度、光通亮、色温、工作电压、反向击穿电压等关键参数,对发光二极管晶粒进行分级。然而,用于测试电子组件的点测装置所扮演的角色就是用来导通发光二极管晶粒,使其发光,再通过收光器(例如:积分球、太阳能板…等等)来收光并分析发光特性。然而,现有的的用于测试电子组件的点测装置大多采用杠杆式,其一端固定探针,另一端设为导通接点,如台湾专利第M438630号(用于测试电子组件的点测装置的寻边器)所载。以上开专利文献为例,请一并参阅图1,图1为现有的用于测试电子组件的点测装置的使用状态侧视图。如图1所示,悬臂件90的前端组设一探针91,而悬臂件90的后端则设有第二导电件92,其用于与上方的第一导电件93相对应接触而电性导通。而且,一弹性片94则设置于悬臂件90中段处。再者,现有的用于测试电子组件的点测装置运作说明如下,当探针91接触发光二极管晶粒C的导电接点Cp时,在持续进给的过程中,一旦发光二极管晶粒施予探针91的反作用力克服弹性片94施予的预力时,该悬臂件90连同该探针91将以弹性片94为支点而摆动,此时,弹性片94弹性弯曲变形,第一导电件93与第二导电件92相互分离,而可送出一断路信号,以利用于测试电子组件的点测装置停止前述进给动作,遂而施加电流点亮发光二极管晶粒。据此,现有的的用于测试电子组件的点测装置的第一导电件93与第二导电件92间的接触点,因高速点击且通电的次数相当多,长久测试下来,常在电性接触面上产生积碳现象,需要定期拆卸而擦拭其表面,否则将产生接触不良的情形,影响测试准确度。再且,定期拆卸、清洁等常态性保养势必要停机,故将直接影响测试设备的使用率、及效率。另外,弹性片94也将随着使用时间累进,逐渐弹性疲乏,而必须定期更换,同样必须停机保养;且因弹性片94的弹性能力随使用时间变化,容易影响测试精准度。此外,再如图1所示的用于测试电子组件的点测装置,其采用滑针的方式,也即在每个测试的发光二极管晶粒之间,探针91与晶圆或晶粒接触而以滑动的方式移动,再加上现有的的探针92具有一特定弯折角度。据此,不仅探针92会磨耗,且晶圆或晶粒也会产生刮痕(针痕);而且,长久使用下来,随着探针92的磨耗越来越严重,因为探针92斜角的关系,将导致针痕越趋扩大,严重影响质量。
技术实现思路
本专利技术的主要目的是在提供一种用于测试电子组件的点测装置,俾能完全避免现有的用于测试电子组件的点测装置于电性接触接点间因积碳现象所导致的各种情况,且也可显著减少探针的磨耗、以及针痕的形成。为达成上述目的,本专利技术一种用于测试电子组件的点测装置,主要包括一固定架、一活动座、一感应开关、一探针夹持座、以及一控制器。其中,固定架包括一升降导杆;活动座开设有一直立通孔,活动座由直立通孔套设于固定架的升降导杆,并可相对升降滑移;感应开关设置于固定架与活动座之间;探针夹持座耦接于活动座,且探针夹持座用于固持一探针;控制器电性连接感应开关,且控制器根据感应开关来控制施加电流、或电性信号于探针。承上而论,本专利技术由升降导杆的导引,可使活动座升降滑移;并且,通过感应开关的设置,可感测探针所回馈的反作用力,并藉此作为控制器判断是否施加电流、或电性信号的依据。据此,本专利技术可完全免除现有的用于测试电子组件的点测装置因杠杆原理所造成的积碳问题,故可提升测试准确度、及使用寿命,而且无需定期清洁、保养,更可提高使用率、及效率。较佳的是,本专利技术的感应开关可为一压力传感器;故当压力传感器所感测到的压力达一特定值时,控制器控制施加电流、或电性信号于探针。换言之,本专利技术可藉由压力传感器来感测测探针所回馈的反作用力,进而判断针压是否恰当;当达适当针压时,控制器便施加电流、或电性信号于探针,促使半导体晶粒进行检测或发光。然而,本专利技术也非以压力传感器为限,其它诸如极限开关、应变规、光电耦合器等可感测或量测压力、应变或位移等参数的感测装置均可运用于本专利技术。再者,本专利技术的固定架可为一 U型固定架,其包括一底璧、一第一侧壁、及一第二侧壁,而第一侧壁、及第二侧壁分别连接于底璧的相对应二侧端;且升降导杆的二端分别固设于U型固定架的第一侧壁、及第二侧壁。据此,活动座可藉由升降导杆的导引,而可升降移位于U型固定架的第一侧壁与第二侧壁之间。另外,本专利技术可更包括一定位滚轮,其可组设于活动座上并抵靠于U型固定架的底璧;而定位滚轮随着活动座升降而滚动。此外,定位滚轮可包括一具特定宽度的环周面;而定位滚轮以环周面抵靠于U型固定架的底璧。详言之,当探针下压至晶圆或晶粒的端面时,探针夹持座易有微量左右偏摆的现象产生,故而本专利技术便以活动座上的定位滚轮来避免此偏摆现象;其中,定位滚轮的环周面完全抵靠接合于U型固定架的底璧,故当活动座作动时,定位滚轮将仅允许上下升降位移,而水平的偏摆位移则由定位滚轮的环周面所抑制。然而,本专利技术用于抑制活动座水平的偏摆位移的机制并非仅限于定位滚轮,亦可通过其它方式来抑制,例如将升降导杆与直立通孔设为如矩型、H型、半圆形、几何多边行或其它特殊型态等,抑或可增设另一升降导杆等方式,均可有效抑制活动座水平偏摆。再且,本专利技术可更包括一升降驱动器,其电性连接控制器,并耦接固定架;而控制器控制升降驱动器来驱动固定架升降作动。据此,本专利技术可由升降驱动器来对固定架、活动座、及探针夹持座进行升降,以便利用探针来进行测高、及点测。另外,本专利技术可更包括一三轴位移调整座,而升降驱动器可组设于三轴位移调整座上,也即可由三轴位移调整座来对升降驱动器进行位置调整,进而对固定架、活动座、及探针夹持座上的探针进行位置的校准。较佳的是,本专利技术的探针可为一呈90度的直式探针。详言之,因本专利技术采用直式探针而非传统的斜式探针,故探针的磨耗方式非为斜角情况,所以整个磨耗表面不会越行扩大,而且针痕也为固定大小,不会因斜角而扩大晶圆或晶粒上的针痕。此外,本专利技术可更包括一弹性组件,而弹性组件介于固定架与活动座之间,并促使活动座可升降复位。换言之,本专利技术的弹性组件不仅可提供活动座升降复位的功效,更可提供适当的针压,以避免因针压过大导致晶圆或晶粒表面严重的针痕、或严重的针损,或者因针压过小导致探针与晶粒接点接触不良,进而影响点测结果。又,本专利技术的探针夹持座可更包括至少一导电体,其系电性连接于控制器与探针之间。详言之,控制器可由探针夹持座上所设置的导电体对探针施加电流、或电性信号,以改善现有的用于测试电子组件的点测装置采用杠杆接触式所产生的积碳问题。【附图说明】图1为现有的用于测试电子组件的点测装置的使用状态侧视图。图2为本专利技术一较佳实施例的立体图。图3为本专利技术一较佳实施例另一视角的立体图。图4为本专利技术一较佳实施例的侧视图。图5为本专利技术一较佳实施例的局部分解图。图6为本专利技术一较佳实施例的系统架构图。符号说明:(现有的)90 悬臂件91 探针92 第二导电件93 第一导电件9本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种用于测试电子组件的点测装置,其特征在于,包括:一固定架,其包括一升降导杆;一活动座,其开设有一直立通孔,该活动座通过该直立通孔套设于该固定架的该升降导杆,并可相对升降滑移;一感应开关,其设置于该固定架与该活动座之间;一探针夹持座,其是耦接于该活动座,该探针夹持座是用于固持一探针;以及一控制器,其电性连接该感应开关,该控制器根据该感应开关来控制施加一电流、或一电性信号于该探针。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:吴淑如白智亮
申请(专利权)人:致茂电子苏州有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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