用于建立虚拟拴系的方法、装置及系统制造方法及图纸

本发明专利技术涉及用于建立虚拟拴系的方法、装置及系统。一种用于建立移动设备与半导体处理工具之间的虚拟拴系的方法，该方法包括：通过移动设备而获得与半导体处理工具相关联的唯一密钥；基于由移动设备获得的唯一密钥而建立移动设备与半导体处理工具之间的唯一配对；响应于成功地建立唯一配对，认证移动设备的用户，以便访问半导体处理工具；响应于成功地认证用户，在半导体处理工具上执行资源仲裁，资源仲裁包括基于授予用户的访问级别而保留与半导体处理工具相关联的一个或更多个资源；在一段时间内对移动设备的活动水平进行监测；以及将活动水平与预定的活动水平阈值比较。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术总体上涉及半导体处理领域，更具体地涉及用于建立虚拟拴系的方法、装置及系统。
技术介绍
在制作半导体设备的期间，由移动设备通过无线网络而控制半导体装备(即用于制造半导体设备的被称为“工具”的处理室)是可行的。然而，远程地控制半导体处理工具造成当前技术未解决的一些安全风险。
技术实现思路
根据一个实施例，用于建立移动设备与半导体处理工具之间的虚拟拴系(tether)的方法，其包括:通过移动设备而获得与半导体处理工具相关联的唯一密钥；基于由移动设备获得的唯一密钥而建立移动设备与半导体处理工具之间的唯一配对；响应于成功地建立移动设备与半导体处理工具之间的唯一配对，认证移动设备的用户，以便访问半导体处理工具；响应于成功地认证用户，在半导体处理工具上执行资源仲裁，资源仲裁包括基于授予用户的访问级别而保留与半导体处理工具相关联的一个或更多个资源；在一段时间内对移动设备的活动水平(level)进行监测；以及将活动水平与预定的活动水平阈值比较。根据另一实施例，虚拟地拴系至移动设备的半导体处理工具包括:存储器设备，其存储与半导体处理工具相关联的唯一密钥；发送器，其配置成将唯一密钥发送至移动设备，其中，基于由半导体处理工具发送的唯一密钥而在移动设备与半导体处理工具之间建立唯一配对，并且，响应于成功地建立移动设备与半导体处理工具之间的唯一配对，认证移动设备的用户，以便访问半导体处理工具；以及处理器，其配置成响应于成功地认证用户，执行资源仲裁，资源仲裁包括基于授予用户的访问级别而保留与半导体处理工具相关联的一个或更多个资源，其中，在一段时间内对移动设备的活动水平进行监测，并且，将活动水平与预定的活动水平阈值比较。又一实施例针对用于建立移动设备与半导体处理工具之间的虚拟拴系的系统，该系统包括:半导体处理工具，其包括配置成将与半导体处理工具相关联的唯一密钥发送至移动设备的发送器；和移动设备，其配置成:基于由移动设备获得的唯一密钥而建立移动设备与半导体处理工具之间的唯一配对；并且，响应于成功地建立移动设备与半导体处理工具之间的唯一配对，认证移动设备的用户，以便访问半导体处理工具。半导体处理工具配置成，响应于对用户的成功的认证，执行资源仲裁，该资源仲裁包括基于授予用户的访问级别而保留与半导体处理工具相关联的一个或更多个资源。移动设备配置成在一段时间内对移动设备的活动水平进行监测；并且，移动设备配置成将活动水平与预定的活动水平阈值比较。现在，将经由示范性的实施例而描述用于建立移动设备与半导体处理工具之间的虚拟拴系的方法、设备以及系统的具体的实施例的这些及其他示范性的特征和优点，这些及其他示范性的特征和优点不限于示范性的实施例。【附图说明】在结合附图来阅读时，通过示范性的实施例的以下的详细描述，本公开的范围最好理解。在附图中包括下述图:图1图示根据示范性的实施例而可以采用的系统架构。图2图示在示范性的实施例中使用的半导体处理工具。图3图示在示范性的实施例中使用的移动设备。图4A-4B包含图示实施例的示范性的方法的流程图。图5A-5B包含图示实施例的示范性的方法的流程图。根据在下文中提供的详细描述，本公开的适用性的更多的领域将变得显而易见。应当理解，示范性的实施例的详细描述仅旨在图示的目的，因此，不一定旨在限制本公开的范围。【具体实施方式】本公开针对用于建立如图1中所示出的移动设备3与半导体处理工具I之间的虚拟拴系的方法、装置及系统。在非限制性的实施例中，移动设备3可以是例如平板电脑、智能手机、膝上型电脑、任何移动计算设备等。移动设备3用于通过移动设备3与半导体处理工具I之间的无线通信而控制半导体处理工具I的运行。例如，移动设备3能够开启或关闭半导体处理工具1，控制半导体处理工具I来执行在制造半导体设备中所涉及的各种任务和/或过程，等等。移动设备3与半导体处理工具I之间的虚拟拴系使得能有利地给使用或紧邻半导体处理工具I的人提供更高的安全性，并且，防止对半导体处理工具I的潜在的误用和损伤。例如，半导体处理设施(生产设施)能够包括具有用于制造半导体设备的集成处理室(或工具)的各种处理线，并且，各半导体处理工具I由诸如平板电脑之类的相关联的移动设备3控制，如果两个平板电脑混淆，则可能存在危险的情形。例如，如果两个工程师正在对分开的半导体处理工具上执行维护，该分开的半导体处理工具通过外表相同的平板电脑进行控制，该相同的平板电脑经由W1-Fi连接而连接至相应的半导体处理工具，并且，两个工程师都由于某种原因而离开工作区并将平板电脑放置在紧邻另一个平板电脑的范围内，那么，各工程师可能在返回时未察觉地检索错误的平板电脑。如果工程师检索错误的平板电脑，并且，如果工程师中的一个将手放置于在半导体工业中通常被称为“工具”的第一处理室中，以在维护操作期间安装或清洗部件，并且，另一个工程师启动同一处理室的机械系统，考虑到他正在控制第二处理室的部件，可能对在第一处理室上工作的工程师造成严重的伤害。能够通过在平板电脑与相应的半导体处理工具之间建立的虚拟拴系而避免该情形，该虚拟拴系如在下文中所详细地描述的进行控制。物理拴系将是将移动设备3系至使用该移动设备3来控制的半导体处理工具I的一根绳子、电线、链子等。相比之下，虚拟拴系将移动设备3电子地配合并链接至使用该移动设备3来控制的半导体处理工具I。虚拟拴系帮助防止意外事故，消除关于由移动设备3控制哪件半导体处理工具I方面的混淆，并且，确保移动设备3拴系至正确的那件半导体处理工具I。在示范性的实施例中，建立移动设备3与半导体处理工具I之间的虚拟拴系的过程涉及移动设备3使用机载硬件设备来执行以便将本身拴系至半导体处理工具I的一系列步骤。该过程能够是手动过程、半自动化过程或自动化过程。在示范性的实施例中，建立移动设备3与半导体处理工具I之间的虚拟拴系的过程涉及以下步骤中的一些或全部:1)握手步骤；2)登录步骤；3)资源仲裁步骤；4)活动检测步骤；以及5)注销步骤。在移动设备3和半导体处理工具I已经加入公共W1-Fi或其他无线通信网络之后，执行这些步骤。在示范性的实施例中，握手步骤是发生在移动设备3与半导体处理工具I之间的握手，并且如在图4A的步骤SlOl中所示出的，包括通过移动设备3而获得与半导体处理工具I相关联的唯一密钥5。在示范性的实施例中，从半导体处理工具I接收唯一密钥5。例如，如在图1中所示出，唯一密钥5能够存储或存在于半导体处理工具I中。如在图4A的步骤S103中所示出的，一旦由移动设备3接收唯一密钥5，就基于由移动设备3获得的唯一密钥5而在移动设备3与半导体处理工具I之间建立唯一配对。在示范性的实施例中，移动设备3中所包含的硬件设备(照相机、近场通信读取器等)用于从半导体处理工具I检索唯一密钥5。接下来，将讨论示范性的唯一密钥交换方法。在示范性的实施例中，基于以下通信之一而实现唯一密钥5的获得:近场通信、射频识别通信、蓝牙通信以及W1-Fi通信。在示范性的实施例中，连接至移动设备3的内置或外部照相机对显示在半导体处理工具的显示屏(例如，主用户界面等)上的快速响应代码(QR代码)进行扫描并解码。照相机所扫描到的QR代码包含半导体处理工具I的唯一密钥5。QR代码是包含关于物件的信息的机器可本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于建立移动设备与半导体处理工具之间的虚拟拴系的方法，所述方法包括：通过移动设备而获得与所述半导体处理工具相关联的唯一密钥；基于由所述移动设备获得的所述唯一密钥而建立所述移动设备与所述半导体处理工具之间的唯一配对；响应于成功地建立所述移动设备与所述半导体处理工具之间的所述唯一配对，认证所述移动设备的用户，以便访问所述半导体处理工具；响应于成功地认证所述用户，在所述半导体处理工具上执行资源仲裁，该资源仲裁包括基于授予所述用户的访问级别而保留与所述半导体处理工具相关联的一个或更多个资源；在一段时间内对所述移动设备的活动水平进行监测；以及将所述活动水平与预定的活动水平阈值比较。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：克里斯·托尔格里姆松，查德·威特曼，保罗·巴林蒂内，文森特·王，黄忠河，陈树华，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：美国;US