陶瓷基氧化钒纳米棒结构室温NO2传感器的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种陶瓷基氧化钒纳米棒结构室温NO2传感器的制备方法，包括陶瓷基片的清洗、称量V2O5粉末、单一气相传输法制备陶瓷基氧化钒纳米棒、制备陶瓷基氧化钒纳米棒气敏传感器元件的步骤，本发明专利技术中所用的陶瓷基底表面粗糙，且成本低，易于大面积制备氧化钒纳米棒。陶瓷基氧化钒纳米棒气敏传感器元件，结构简单，制备成本低省时且工序简便，可实现室温工作。进而制作出一种可在室温条件下检测NO2气体且具有高灵敏度、快速响应恢复时间、可重复测试的气敏传感器元件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种气敏传感器元件制作方法，具体涉及一种适用于室温工作的检测N02气体的陶瓷基氧化钒纳米棒结构气敏。
技术介绍
人类日常生活和生产活动与周围的环境紧密相连，例如在矿区、化工企业、家庭等方面，气氛的变化对人类的生产工作和身体都有极大的影响。近年来，酸雨、温室效应、臭氧层破坏、易燃易爆有毒有害气体的存在，都成了严重的人类健康问题，其中氮氧化物(NOx)气体是导致酸雨和光化学烟雾的主要原因，研究和开发用于氮氧化物(NOx)气体检测的传感器结构意义重大。随着人类环保意识的增强，人们对NO2气体传感器的性能要求也逐渐提高，如:灵敏度、响应恢复时间、工作温度，气体浓度等。总之，今后气体传感器将向着高灵敏度、响应恢复时间快、室温工作、低浓度传感、可重复检测等方向发展。目前，结构简单的NO2气体传感器为了增加表面化学活性以提高灵敏度，工作温度普遍高于室温，长时间在高温条件下工作不仅会极大地增加传感器的功耗，同时会致使传感器的稳定性变差。然而目前可在室温下工作的NO2气敏传感器多为复合结构，制作方法成本高耗时且复杂。所以研究出一种结构简单，制备成本低又工序简便，可于室温工作的N本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种陶瓷基氧化钒纳米棒结构室温NO2传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)陶瓷基片的清洗：将陶瓷片基底分别在丙酮和乙醇中超声清洗5～20min，以除去陶瓷基片表面的油污、有机物杂质和表面氧化层，清洗完后取出陶瓷基片并用吸尔球吹去基片表面的液体，吸完液体之后放于滤纸上并于60～80℃的真空干燥箱中干燥5‑10min备用；(2)称量V2O5粉末：称量V2O5粉末备用；(3)单一气相传输法制备陶瓷基氧化钒纳米棒：将步骤(2)的V2O5粉末蒸发源均匀铺于步骤(1)的陶瓷基片上，并整体放入石英管中，然后在盛放V2O5粉末陶瓷基片的旁边氩气流方向放置一片步骤(1)的陶瓷基片，将石英管整体放入可...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：梁继然，李文娇，刘俊峰，杨然，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：天津;12