一种化学气相沉积法制备镍带材的方法技术

技术编号:13119330 阅读:30 留言:0更新日期:2016-04-06 09:25
本发明专利技术公开了一种化学气相沉积法制备镍带材的方法,使用热解炉对带状镍基材进行加热,将液态羰基镍经汽化器汽化,气态羰基镍与CO气体混合后通入热解炉中,气态羰基镍在带状镍基材表面生成镍和CO气体,镍沉积在带状镍基材表面,即得到镍带材。本发明专利技术的化学气相沉积法制备镍带材的方法,具有工艺周期短的优点,操作简单,且能耗低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种制备镍带材的方法,具体涉及。
技术介绍
纯金属镍主要用于制备微电子工业溅射靶材及离子镀膜、制造高纯试剂、标样、以及高级合金,广泛应用于电子、化工、军工、航空、航天等领域。目前国内主要的制备方法是以电解镍做主要原料,加入必要的辅助材料,进行冶炼、锻造、乳制等过程。工艺流程为电解镍经过真空感应炉冶炼提纯、浇注、扒皮、加热锻造、方坯、乳制、退火、酸洗等,存在着工艺流程长、操作复杂、技术要求高、能耗高缺点。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题,本专利技术提供,此方法工艺周期短,且能耗低。上述目的是通过下述方案实现的: ,其特征在于,在该方法中,使用热解炉对带状镍基材进行加热;将液态羰基镍经汽化器汽化,气态羰基镍与C0气体混合后通入热解炉中,气态羰基镍在带状镍基材表面生成镍和C0气体,镍沉积在带状镍基材表面,即得到镍带材。根据上述的制备镍带材的方法,其特征在于,所述热解炉的带状镍基材的入料口和出料口处设有辊轴,同时,所述热解炉的底部和顶部设置有红外加热装置。根据上述的制备镍带材的方法,其特征在于,带状镍基材的加热温度为140°C?300°C ο根据上述的制备镍带材的方法,其特征在于,所述气态羰基镍与CO气体混合的质量比为1:1?4。根据上述的制备镍带材的方法,其特征在于,在制备镍带材的过程中,控制热解炉内的压力为1?lOkPa。根据上述的制备镍带材的方法,其特征在于,镍沉积在带状镍基材表面,经72?120小时后,即得到镍带材。根据上述的制备镍带材的方法,其特征在于,反应完成后的C0气体由所述热解炉底部排出并进行处理。本专利技术的有益效果: 本专利技术的化学气相沉积法制备镍带材的方法,具有工艺周期短的优点,操作简单,且能耗低。【具体实施方式】本专利技术用化学气相沉积法制备镍带材,首先使用热解炉对带状镍基材进行加热,然后将液态羰基镍经汽化器进行汽化,气态羰基镍与CO气体混合后通入热解炉中,气态羰基镍在带状镍基材表面生成镍和C0气体,镍沉积在带状镍基材表面,即得到镍带材。反应完成后的C0气体由热解炉底部排出并进行收集和处理。其中,在制备镍带材的过程中,对带状镍基材加热至140°c?300°C,气态羰基镍与⑶气体混合的质量比为1:1?4,控制热解炉内的压力为1?lOkPa,制备镍带材的反应时间为72?120小时。在本专利技术的化学气相沉积法制备镍带材使用的热解炉中,带状镍基材的入料口和出料口处设有辊轴,使带状镍基材运动,同时,热解炉的底部和顶部设置有红外加热装置,用于对带状镍基材进行加热。下面用具体实施例对本专利技术进行进一步说明。实施例1 启动热解炉,使带状镍基材加热到200°C,将液态羰基镍经汽化器进行汽化,将质量流量为1900g/min的羰基镍蒸气和质量流量为7600g /min—氧化碳气体通入混合槽,使羰基镍蒸气和一氧化碳气体以质量比1:4的配比通入热解炉。控制热解炉压力3KPa,经过72小时后,得到长度2.4米直径约800毫米的镍带材。实施例2 启动热解炉,使带状镍基材加热到200°C,将液态羰基镍经汽化器进行汽化,将质量流量为1900g /min的羰基镍蒸气和质量流量为7600g/min—氧化碳气体通入混合槽,使羰基镍蒸气和一氧化碳气体以质量比1:4的配比通入热解炉。控制热解炉压力3KPa,经过96小时后,得到长度2.4米直径约1000毫米的镍带材。实施例3 启动热解炉,使带状镍基材加热到200°C,将液态羰基镍经汽化器进行汽化,将质量流量为1900g/min的羰基镍蒸气和质量流量为7600g/min—氧化碳气体通入混合槽,使羰基镍蒸气和一氧化碳气体以质量比1:4的配比通入热解炉。控制热解炉压力3KPa,经过120小时后,得到长度2.4米直径约1200毫米的镍带材。实施例4 启动热解炉,使带状镍基材加热到140°C,将液态羰基镍经汽化器进行汽化,将羰基镍蒸气和一氧化碳气体以质量比1:1的配比混合后通入热解炉。控制热解炉压力lOKPa,经过72小时后,即得到镍带材。实施例5 启动热解炉,使带状镍基材加热到300°C,将液态羰基镍经汽化器进行汽化,将羰基镍蒸气和一氧化碳气体以质量比1:4的配比混合后通入热解炉。控制热解炉压力lKPa,经过120小时后,即得到镍带材。【主权项】1.,其特征在于,在该方法中,使用热解炉对带状镍基材进行加热;将液态羰基镍经汽化器汽化,气态羰基镍与C0气体混合后通入热解炉中,气态羰基镍在带状镍基材表面生成镍和C0气体,镍沉积在带状镍基材表面,即得到镍带材。2.根据权利要求1所述的制备镍带材的方法,其特征在于,所述热解炉的带状镍基材的入料口和出料口处设有辊轴,同时,所述热解炉的底部和顶部设置有红外加热装置。3.根据权利要求1所述的制备镍带材的方法,其特征在于,带状镍基材的加热温度为140°C ?300°C。4.根据权利要求1所述的制备镍带材的方法,其特征在于,所述气态羰基镍与CO气体混合的质量比为1:1?4。5.根据权利要求1所述的制备镍带材的方法,其特征在于,在制备镍带材的过程中,控制热解炉内的压力为1?1 OkPa。6.根据权利要求1所述的制备镍带材的方法,其特征在于,镍沉积在带状镍基材表面,经72?120小时后,即得到镍带材。7.根据权利要求1所述的制备镍带材的方法,其特征在于,反应完成后的C0气体由所述热解炉底部排出并进行处理。【专利摘要】本专利技术公开了,使用热解炉对带状镍基材进行加热,将液态羰基镍经汽化器汽化,气态羰基镍与CO气体混合后通入热解炉中,气态羰基镍在带状镍基材表面生成镍和CO气体,镍沉积在带状镍基材表面,即得到镍带材。本专利技术的化学气相沉积法制备镍带材的方法,具有工艺周期短的优点,操作简单,且能耗低。【IPC分类】C23C16/16【公开号】CN105463400【申请号】CN201510848713【专利技术人】杨志强, 王芳镇, 肖冬明, 禹松涛, 李登瑞, 冀文利, 王大窝, 陈旭军, 白玉婷, 陈菊华, 宋晓红 【申请人】金川集团股份有限公司【公开日】2016年4月6日【申请日】2015年11月30日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学气相沉积法制备镍带材的方法,其特征在于,在该方法中,使用热解炉对带状镍基材进行加热;将液态羰基镍经汽化器汽化,气态羰基镍与CO气体混合后通入热解炉中,气态羰基镍在带状镍基材表面生成镍和CO气体,镍沉积在带状镍基材表面,即得到镍带材。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:杨志强王芳镇肖冬明禹松涛李登瑞冀文利王大窝陈旭军白玉婷陈菊华宋晓红
申请(专利权)人:金川集团股份有限公司
类型:发明
国别省市:甘肃;62

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