基板处理装置、基板处理方法以及基板处理系统制造方法及图纸

第二基板处理装置的第二控制装置判断基板的处理开始预想时刻是否在处理开始期限以前。如果处理开始预想时刻在处理开始期限以前，则第二控制装置使第二基板处理装置执行起初的第一计划以及第二计划。另一方面，在处理开始预想时刻在处理开始期限之后的情况下，第二控制装置以处理开始预想时刻变为处理开始期限以前的方式变更起初的第一计划以及第二计划，使第二基板处理装置执行变更后的第一计划以及第二计划。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对基板进行处理的基板处理装置、基板处理方法以及基板处理系统。作为成为处理对象的基板，包括例如半导体晶片、液晶显示装置用基板、等离子体显示器用基板、FED(FieldEmissionDisplay：场发射显示器)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太阳电池用基板等。
技术介绍
在半导体装置和液晶显示装置等制造工序中，对半导体晶片和液晶显示装置用玻璃基板等的基板进行包含清洗处理、热处理、成膜处理、蚀刻处理、抗蚀剂涂敷处理、曝光处理、以及显影处理中的2个以上的多个工序。在专利文献1中公开了进行成膜处理的成膜处理装置、清洗通过成膜处理装置进行成膜处理后的基板的清洗装置、在成膜处理装置和清洗装置之间交接基板的中间交接部、将容纳多张基板的基板搬送用盒向成膜处理装置搬送的盒搬送装置。由成膜处理装置处理过的基板经由中间交接部搬送到清洗装置，并由清洗装置清洗。清洗装置具有放置基板搬送用盒的搬入搬出工作台。清洗装置对从中间交接部搬入的基板进行清洗，并对从清洗装置的搬入搬出工作台上的盒搬出的基板进行清洗。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平10-321575号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题如专利文献1所记载那样，为了提高基板的品质，想要缩短在某个基板处理装置结束基板的处理至在其他基板处理装置开始基板的处理的时间。例如，在专利文献1的结构中考虑有如下情况：在从盒搬出的基板的搬送或处理在清洗装置执行时，追加基板从中间交接部搬入到清洗装置。在该情况下，由于基板搬送机构和清洗单元等的清洗装置的资源被用于从盒搬出的基板，所以导致追加基板的处理开始时刻超过处理开始期限，使基板的品质下降。因此，本专利技术的一个目的在于，能够在处理开始期限以前开始基板的处理的基板处理装置、基板处理方法以及基板处理系统。用于解决问题的手段用于实现所述目的的本专利技术的一实施方式提供一种基板处理装置，与中间装置连接，该中间装置在对基板进行处理的第一基板处理装置的外部直接支撑由所述第一基板处理装置处理过的基板的状态下，搬送该基板，该基板处理装置包括：多个第二加载口，分别保持能够容纳多张基板的多个运送器，直接搬入口，接受从所述中间装置搬入的基板，多个第二处理单元，对从所述多个第二加载口以及所述直接搬入口中的至少一方搬送来的基板进行处理，第二搬送单元，在所述多个第二加载口、所述直接搬入口和所述多个第二处理单元之间搬送基板，第二控制装置，对所述基板处理装置进行控制。所述第二控制装置执行：第一步骤，作成第一计划，该第一计划包括第一搬入工序、第一处理工序和第一搬出工序，在所述第一搬入工序中，使所述第二搬送单元将基板从所述多个第二加载口向所述多个第二处理单元搬送，在所述第一处理工序中，使所述多个第二处理单元对搬送到所述多个第二处理单元的基板进行处理，在所述第一搬出工序中，使所述第二搬送单元将由所述多个第二处理单元处理过的基板从所述多个第二处理单元向所述多个第二加载口搬送；第二步骤，作成第二计划，该第二计划包括第二搬入工序、第二处理工序、以及第二搬出工序，所述第二搬入工序、所述第二处理工序、以及所述第二搬出工序中的至少一个与所述第一搬入工序、第一处理工序、以及第一搬出工序中的至少一个同时执行，在所述第二搬入工序中，使所述第二搬送单元将由所述第一基板处理装置处理过的基板从所述直接搬入口向所述多个第二处理单元搬送，在所述第二处理工序，使所述多个第二处理单元对搬送到所述多个第二处理单元的基板进行处理，在所述第二搬出工序中，使所述第二搬送单元将由所述多个第二处理单元处理过的基板从所述多个第二处理单元向所述多个第二加载口搬送；第三步骤，判断所述第二计划所计划的基板的处理开始预想时刻是否在应该由所述基板处理装置对由所述第一基板处理装置处理过的基板进行处理的处理开始期限以前；第四步骤，在所述第三步骤中所述处理开始预想时刻在所述处理开始期限之后的情况下，以所述处理开始预想时刻变为所述处理开始期限以前的方式变更所述第一计划以及第二计划，使所述基板处理装置执行变更后的所述第一计划以及第二计划；第五步骤，在所述第三步骤中所述处理开始预想时刻在所述处理开始期限以前的情况下，不变更所述第一计划以及第二计划而使所述基板处理装置执行所述第一计划以及第二计划。根据该结构，第二控制装置以运送器内的基板从第二加载口搬送到第二处理单元，由第二处理单元处理过的基板从第二处理单元搬送到第二加载口的方式作成第一计划。进而，第二控制装置以由第一基板处理装置处理过的基板从直接搬入口搬送到第二处理单元，由第二处理单元处理过的基板从第二处理单元搬送到第二加载口的方式作成第二计划。第二控制装置以第二计划所包含的至少一个工序与第一计划所包含的至少一工序同时执行的方式作成第二计划。第二控制装置在作成第二计划后，判断第二计划所计划的基板的处理开始预想时刻是否在应该由基板处理装置对由第一基板处理装置处理过的基板进行处理的处理开始期限以前。如果处理开始预想时刻在处理开始期限以前，则第二控制装置使基板处理装置执行起初的第一计划以及第二计划(在第一步骤以及第二步骤作成的第一计划以及第二计划)。另一方面，如果处理开始预想时刻在处理开始期限之后的情况下，第二控制装置以处理开始预想时刻变为处理开始期限以前的方式变更起初的第一计划以及第二计划，使基板处理装置执行变更后的第一计划以及第二计划。由此，能够在处理开始期限以前开始第二计划所计划的基板的处理，能够防止基板的品质下降。所述第二步骤可以是在由所述第一基板处理装置处理过的基板到达所述中间装置后作成所述第二计划的步骤。根据该结构，在由第一基板处理装置处理过的基板到达中间装置后作成第二计划。第二计划所计划的基板的处理开始预想时刻是在基板处理装置开始基板的处理的预想时刻。也就是说，搬送机械手等的装置实施某个动作实际所需的时间和认为实施该动作所需的预想时间存在差，因此难以预想实际开始处理的准确的时间。特别是，当基板W的搬送距离长时，不确定主要原因增加，实际所需的时间和预想时间之差变大，处理开始预想时刻的准确度降低。因此，在基板W到中间装置到达后、即在基板W接近第二基板处理装置，基板W的搬送距离变短后作成第二计划，从而能够提高处理开始预想时刻的精度。由此，由于能够将更准本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板处理装置，与中间装置连接，该中间装置在对基板进行处理的第一基板处理装置的外部直接支撑由所述第一基板处理装置处理过的基板的状态下，搬送该基板，其特征在于，该基板处理装置包括：多个第二加载口，分别保持能够容纳多张基板的多个运送器，直接搬入口，接受从所述中间装置搬入的基板，多个第二处理单元，对从所述多个第二加载口以及所述直接搬入口中的至少一方搬送来的基板进行处理，第二搬送单元，在所述多个第二加载口、所述直接搬入口和所述多个第二处理单元之间搬送基板，第二控制装置，对所述基板处理装置进行控制；所述第二控制装置执行：第一步骤，作成第一计划，该第一计划包括第一搬入工序、第一处理工序和第一搬出工序，在所述第一搬入工序中，使所述第二搬送单元将基板从所述多个第二加载口向所述多个第二处理单元搬送，在所述第一处理工序中，使所述多个第二处理单元对搬送到所述多个第二处理单元的基板进行处理，在所述第一搬出工序中，使所述第二搬送单元将由所述多个第二处理单元处理过的基板从所述多个第二处理单元向所述多个第二加载口搬送；第二步骤，作成第二计划，该第二计划包括第二搬入工序、第二处理工序、以及第二搬出工序，所述第二搬入工序、所述第二处理工序、以及所述第二搬出工序中的至少一个与所述第一搬入工序、第一处理工序、以及第一搬出工序中的至少一个同时执行，在所述第二搬入工序中，使所述第二搬送单元将由所述第一基板处理装置处理过的基板从所述直接搬入口向所述多个第二处理单元搬送，在所述第二处理工序，使所述多个第二处理单元对搬送到所述多个第二处理单元的基板进行处理，在所述第二搬出工序中，使所述第二搬送单元将由所述多个第二处理单元处理过的基板从所述多个第二处理单元向所述多个第二加载口搬送；第三步骤，判断所述第二计划所计划的基板的处理开始预想时刻是否在应该由所述基板处理装置对由所述第一基板处理装置处理过的基板进行处理的处理开始期限以前；第四步骤，在所述第三步骤中所述处理开始预想时刻在所述处理开始期限之后的情况下，以所述处理开始预想时刻变为所述处理开始期限以前的方式变更所述第一计划以及第二计划，使所述基板处理装置执行变更后的所述第一计划以及第二计划；第五步骤，在所述第三步骤中所述处理开始预想时刻在所述处理开始期限以前的情况下，不变更所述第一计划以及第二计划而使所述基板处理装置执行所述第一计划以及第二计划。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.08.15 JP 2013-1689521.一种基板处理装置，与中间装置连接，该中间装置在对基板进行处
理的第一基板处理装置的外部直接支撑由所述第一基板处理装置处理过的
基板的状态下，搬送该基板，其特征在于，
该基板处理装置包括：
多个第二加载口，分别保持能够容纳多张基板的多个运送器，
直接搬入口，接受从所述中间装置搬入的基板，
多个第二处理单元，对从所述多个第二加载口以及所述直接搬入口中的
至少一方搬送来的基板进行处理，
第二搬送单元，在所述多个第二加载口、所述直接搬入口和所述多个第
二处理单元之间搬送基板，
第二控制装置，对所述基板处理装置进行控制；
所述第二控制装置执行：
第一步骤，作成第一计划，该第一计划包括第一搬入工序、第一处理工
序和第一搬出工序，在所述第一搬入工序中，使所述第二搬送单元将基板从
所述多个第二加载口向所述多个第二处理单元搬送，在所述第一处理工序
中，使所述多个第二处理单元对搬送到所述多个第二处理单元的基板进行处
理，在所述第一搬出工序中，使所述第二搬送单元将由所述多个第二处理单
元处理过的基板从所述多个第二处理单元向所述多个第二加载口搬送；
第二步骤，作成第二计划，该第二计划包括第二搬入工序、第二处理工
序、以及第二搬出工序，所述第二搬入工序、所述第二处理工序、以及所述
第二搬出工序中的至少一个与所述第一搬入工序、第一处理工序、以及第一
搬出工序中的至少一个同时执行，在所述第二搬入工序中，使所述第二搬送
单元将由所述第一基板处理装置处理过的基板从所述直接搬入口向所述多
个第二处理单元搬送，在所述第二处理工序，使所述多个第二处理单元对搬
送到所述多个第二处理单元的基板进行处理，在所述第二搬出工序中，使所
述第二搬送单元将由所述多个第二处理单元处理过的基板从所述多个第二
处理单元向所述多个第二加载口搬送；
第三步骤，判断所述第二计划所计划的基板的处理开始预想时刻是否在
应该由所述基板处理装置对由所述第一基板处理装置处理过的基板进行处

\t理的处理开始期限以前；
第四步骤，在所述第三步骤中所述处理开始预想时刻在所述处理开始期
限之后的情况下，以所述处理开始预想时刻变为所述处理开始期限以前的方
式变更所述第一计划以及第二计划，使所述基板处理装置执行变更后的所述
第一计划以及第二计划；
第五步骤，在所述第三步骤中所述处理开始预想时刻在所述处理开始期
限以前的情况下，不变更所述第一计划以及第二计划而使所述基板处理装置
执行所述第一计划以及第二计划。
2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
所述第二步骤是在由所述第一基板处理装置处理过的基板到达所述中
间装置后作成所述第二计划的步骤。
3.如权利要求1或2所述的基板处理装置，其特征在于，
所述基板处理装置还包括使基板退避的退避单元，
所述第四步骤是如下步骤，即，在所述第三步骤中所述处理开始预想时
刻在所述处理开始期限之后的情况下，以基板从所述多个第二加载口经由所
述退避单元搬送到所述多个第二处理单元的方式变更所述第一计划，并且以
将从所述直接搬入口搬入的基板搬入到预定以变更前的所述第一计划对基
板进行处理的所述第二处理单元的方式变更所述第二计划，由此，以所述处
理开始预想时刻变为所述处理开始期限以前的方式使所述处理开始预想时
刻提前，使所述基板处理装置执行变更后的所述第一计划以及第二计划。
4.如权利要求1～3中任一项所述的基板处理装置，其特征在于，
所述第二控制装置还执行第六步骤，根据检查单元的检查结果设定基板
处理条件，该检查单元在由所述第一基板处理装置处理过的基板搬入所述基
板处理装置之前检查该基板，
所述第二步骤是以在所述第二处理工序中以所述基板处理条件对基板
进行处理的方式作成所述第二计划的步骤。
5.如权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于，
所述第六步骤是根据在所述第一基板处理装置以及中间装置中的一方
设置的所述检查单元的检查结果来设定所述基板处理条件的步骤。
6.一种基板处理方法，由基板处理装置执行，该基板处理装置与中间

\t装置连接，该中间装置在对基板进行处理的第一基...

【专利技术属性】
技术研发人员：高木克明，佐野诚一郎，内田雄三，山中智史，
申请(专利权)人：株式会社思可林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP