一种全自动数控稳定热场系统装置制造方法及图纸

技术编号:13103431 阅读:77 留言:0更新日期:2016-03-31 10:45
本实用新型专利技术公开了一种全自动数控稳定热场系统装置,其特征在于:包括控制器,用于安置坩埚的炉体,设置在炉体上部的上隔热屏,以及安装在上隔热屏上用于控制上隔热屏升降的第一调节装置,所述控制器与第一调节装置相连接,用于根据炉体内晶体的重量变化控制上隔热屏的升降。本实用新型专利技术通过控制器对炉体内晶体重量变化进行实时监测,并驱动第一调节装置带动上隔热屏进行升降,实现了对炉体内垂直温度梯度的有效调整,大大降低了退火难度,与此同时降低了退火周期和晶体热应力,使得蓝宝石单晶的报废率得到大幅度降低。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及蓝宝石制造领域,尤其涉及一种全自动数控稳定热场系统装置
技术介绍
目前通用的热场系统是一次定型,对于热场的调整也仅仅限于晶体出炉之后的维护中,然而实际上晶体在不同的生长阶段,其对于热场的梯度需求各不相同,特别是长晶过程和退火过程的不同,现有热场的工作模式严重限制了工艺人员对于晶体生长过程的调节,不利于晶体生长、退火过程的有效调节与控制。如中国专利申请号为201420050091.5公开了一种方形蓝宝石单晶炉热场结构,包括上隔热屏、侧隔热屏、下隔热屏、坩祸盖、以及由金属钨制作的方形坩祸、方形托盘、圆形支柱,直角铜导电板与钨棒连接而成的方形加热体结构。虽然上述专利具有保温效果好、温场稳定的优点,但是该热场结构不能根据具体晶体的生长情况对热场温度进行实时调节。
技术实现思路
为克服上述问题,本技术提供一种全自动数控稳定热场系统装置,解决现有装置不能根据具体晶体的生长情况对热场温度进行实时调节的问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种全自动数控稳定热场系统装置,其包括控制器,用于安置坩祸的炉体,设置在炉体上部的上隔热屏,以及安装在上隔热屏上用于控制上隔热屏升降的第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种全自动数控稳定热场系统装置,其特征在于:包括控制器,用于安置坩埚的炉体,设置在炉体上部的上隔热屏,以及安装在上隔热屏上用于控制上隔热屏升降的第一调节装置,所述控制器与第一调节装置相连接,用于根据炉体内晶体的重量变化控制上隔热屏的升降。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张会选李庆跃李凯徐峰
申请(专利权)人:黄山市东晶光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:安徽;34

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