【技术实现步骤摘要】
本专利技术主要涉及硅片切割液回收利用装置。
技术介绍
在硅片切割生产过程中,作为金属丝切割的负责耗材,硅片切割液并不可少,且价格较贵,使用量大。因此针对切割液的回收再利用以及使用维护的改进,能有效降低硅片加工的生产成本。
技术实现思路
专利技术目的:针对上述现有存在的问题和不足,本专利技术的目的是提供一种筛选溢流的硅片切割液初选回收槽,能有效对切割液进行实时在线维护,以及对接近报废切割液进行聚乙二醇的回收再利用。技术方案:为实现上述专利技术目的,本专利技术采用以下技术方案:一种筛选溢流的硅片切割液初选回收槽,包括槽体和初选装置,所述初选装置设在槽体的入口处,所述槽体内由溢流隔板分割成沉降槽和溢流槽,溢流槽的底部设有切割液出口 ;所述初选装置为截面是矩形的长条形,包括下壳体、上壳体和设在中间上下壳体中间的转轴,所述下壳体的底部设有粗液出口,所述上壳体设有与转轴平行相切的塑胶滚轮,上壳体还设有切割液进口和杂质颗粒出口,且该杂质颗粒出口的前端设有与转轴搭接的舌头。作为优选,所述溢流槽内液面上方空间连接有抽真空设备。有益效果:与现有技术相比,本专利技术结构简单,能对切割液进行初次筛选,过滤较大颗粒,为后续切割液的回收提供支持,实现了切割液的在线实时维护。【附图说明】图1为本专利技术所述回收槽的结构示意图; 图2为本专利技术所述初选装置的结构示意图; 图3为本专利技术所述初选装置的截面结构示意图。其中,槽体1、沉降槽2、溢流槽3、切割液进口 4、溢流隔板5、切割液出口 6、上壳体7、下壳体8、转轴9、粗液出口 10、橡胶滚轮11、杂质颗粒出口 12、 ...
【技术保护点】
一种筛选溢流的硅片切割液初选回收槽,其特征在于:包括槽体和初选装置,所述初选装置设在槽体的入口处,所述槽体内由溢流隔板分割成沉降槽和溢流槽,溢流槽的底部设有切割液出口;所述初选装置为截面是矩形的长条形,包括下壳体、上壳体和设在中间上下壳体中间的转轴,所述下壳体的底部设有粗液出口,所述上壳体设有与转轴平行相切的塑胶滚轮,上壳体还设有切割液进口和杂质颗粒出口,且该杂质颗粒出口的前端设有与转轴搭接的舌头。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:朱琳,
申请(专利权)人:扬州市志高建筑防水材料有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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