放射线图像转换面板和放射线图像检测器制造技术

本发明专利技术的目的在于获得一种放射线图像转换面板，其能够较高地保持用作闪烁体面板时的亮度和清晰度，并且还能够充分地确保在膜厚方向施加按压时的强度。本发明专利技术涉及的放射线图像转换面板具有支承体和形成于该支承体上的闪烁体层，该闪烁体层包含多个含有荧光体的柱状晶体，且该多个柱状晶体以根部彼此相互独立的方式存在。

【技术实现步骤摘要】
放射线图像转换面板和放射线图像检测器
本专利技术涉及形成放射线图像时使用的放射线图像转换面板和放射线图像检测器。
技术介绍
以往，如X射线图像这样的放射线图像在医疗领域被广泛用于病症的诊断。特别是基于增感纸-膜系的放射线图像在长期发展中实现了高灵敏化和高画质化，结果作为同时具有高可靠性和优异性价比的摄像系统，至今在世界范围的医疗领域使用。然而，这些图像信息是所谓的模拟图像信息，无法进行如现在不断发展的数字图像信息那样的自由的图像处理、瞬时的传送。近年来，出现了以计算机X线摄影(computedradiography：CR)、平板型的放射线探测器(flatpaneldetector：FPD)等为代表的数字方式的放射线图像检测装置。这些放射线图像检测装置能够直接得到数字的放射线图像，能将图像直接显示在利用阴极管的面板、液晶面板等图像显示装置，因此不需要在照片膜上形成图像。其结果，这些数字方式的X射线图像检测装置减少了利用银盐照相方式形成图像的必要性，大幅提高了在医院、诊疗所的诊断操作的便利性。作为与X射线图像相关的数字技术之一的计算机X线摄影(CR)现在已经在医疗领域应用。然而，由CR得到的X射线图像与利用银盐照相方式等的屏·膜系统所得的图像相比清晰度不充分且空间分辨率也不充分，其画质等级达不到屏·膜系统的画质等级。因此，作为更新型的数字X射线图像技术，开发出例如使用薄膜晶体管(TFT)的平板X射线检测装置(Flatpaneldetector，FPD)(例如，参照非专利文献1、2)。对于上述FPD而言，在其原理上，为了将X射线转换成可见光，使用了具有由X射线荧光体制作的荧光体(闪烁体)层的闪烁体面板，该X射线荧光体具有将照射的X射线转换成可见光而发光的特性，但在使用低射线量的X射线源的X射线摄影中，为了提高由闪烁体面板检测的信号与噪声之比(SN比)，必须使用发光效率(X射线向可见光的转换率)高的闪烁体面板。通常闪烁体面板的发光效率由闪烁体层(荧光体层)的厚度、荧光体的X射线吸收系数决定，但荧光体层的厚度越厚，由X射线照射在荧光体层内产生的发射光在闪烁体层内越容易发生散射，介由闪烁体面板所得的X射线图像的清晰度越低。因此，如果设定X射线图像的画质所需的清晰度，自然要设定闪烁体面板中的荧光体层的膜厚的限度。另外，从得到具有高亮度和优异的清晰度的闪烁体面板来看，构成荧光体层的荧光体的形状也很重要。多数闪烁体面板采用具有柱状晶体形状的荧光体作为构成闪烁体层的荧光体，通常具有将多个这样的柱状晶体配置在支承体等上的构成。在此，构成闪烁体层的柱状晶体为了能够将其中产生的荧光在与支承体等垂直的方向高效释放出去，各自具有与支承体等垂直延伸的形状。通过采用这样的配置，闪烁体面板维持了亮度和清晰度，并且也维持了在与支承体等垂直的方向(以下，有时称为“膜厚方向”)的强度。在此，进行了各种着眼于构成闪烁体层的荧光体的晶体形状的研究、尝试。例如，专利文献1以获得具有高亮度和优异的清晰度的闪烁体面板为目的，公开了在基板上具有荧光体层的放射线转换面板，该荧光体层含有柱状晶体，该柱状晶体含有荧光体母材并具有特定的形状。在此，专利文献1的放射线转换面板具有由第1荧光体层和第2荧光体层构成的荧光体层作为荧光体层，该第1荧光体层由具有特定的膜厚的荧光体母材构成，该第2荧光体层含有荧光体母材和活化剂。而且，专利文献1中发现如果构成荧光体层的荧光体的柱状晶体中距基板侧10μm的高度的晶体直径与最表面的晶体直径满足一定的比率则清晰度优异。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开2010/032503号小册子非专利文献非专利文献1：PhysicsToday,1997年11月号24页的JohnRowlands论文“AmorphousSemiconductorUsherinDigitalX-rayImaging”非专利文献2：SPIE的1997年32卷2页的LavvyE.Antonuk的论文“DevelopmentofaHighResolutionactiveMatrix,Flat－PanelImagerwithEnhancedFillFactor”
技术实现思路
对于放射线图像转换面板而言，不仅需要确保亮度和清晰度，还需要注意在膜厚方向施加按压时的强度。在此，基于现有技术的放射线图像转换面板中，构成闪烁体层的荧光体的柱状晶体其根部以相互连接的方式存在，例如，如图1(b)所示，对于具有在支承体91形成荧光体的柱状晶体920而成的结构的放射线图像转换面板90而言，闪烁体层92中具有与支承体91相接的各柱状晶体920的根部相互连接的结构。然而，这样的放射线图像转换面板存在作为闪烁体面板使用时，在膜厚方向施加按压时的强度仍然不充分这样的问题。应予说明，专利文献1中，没有进行关于在膜厚方向施加按压时的强度的研究。因此，本专利技术的目的在于获得能够较高地保持用作闪烁体面板时的亮度和清晰度且还能够充分确保在膜厚方向施加按压时的强度的放射线图像转换面板。本专利技术人等发现在将闪烁体层形成于支承体或光电转换元件面板上的放射线图像面板或放射线图像检测器中，通过采用由根部彼此相互独立的多个柱状晶体构成的闪烁体层作为该闪烁体层，能够保持高亮度和高清晰，并且还能耐受来自膜厚方向的按压，从而完成了本专利技术。为了实现上述目的中的至少一个，作为本专利技术的第1方式，举出以下的放射线图像转换面板：一种放射线图像转换面板，具有支承体和形成于该支承体上的闪烁体层，该闪烁体层包含多个含有荧光体的柱状晶体，且该多个柱状晶体以根部彼此相互独立的方式存在。另外，作为本专利技术的第2方式，可举出放射线图像检测器。在此，作为本专利技术的第1放射线图像检测器，可举出具有上述放射线图像转换面板和光电转换元件面板的放射线图像检测器。另外，作为本专利技术的第2放射线图像检测器，可举出以下的放射线图像检测器，具有光电转换元件面板和形成于该光电转换元件面板上的闪烁体层，该闪烁体层包含多个含有荧光体的柱状晶体，且该多个柱状晶体以根部彼此相互独立的方式存在。根据本专利技术，能够获得保持高亮度和高清晰且可耐受来自膜厚方向的按压的耐久性高的放射线图像转换面板和放射线图像检测器。附图说明图1是表示本专利技术的放射线图像转换面板(a)和现有的放射线图像转换面板(b)的基本构成的示意图。图2是表示本专利技术的放射线图像转换面板的例子的简图。图3是表示将本专利技术的放射线图像转换面板与光电转换元件面板组合而成的第1放射线图像检测器的例子的简图。图4是表示本专利技术的第2放射线图像检测器的基本构成的示意图。图5是表示本专利技术的第2放射线图像检测器的例子的简图。图6是表示本专利技术中使用的例示的蒸镀装置的一个构成的简图。图7是表示本专利技术中使用的例示的蒸镀装置的另一个构成的简图。符号说明10···本专利技术涉及的放射线图像转换面板90···现有的放射线图像转换面板11、91···支承体12、12’、92···闪烁体层120、120’、920···柱状晶体121、121’···荧光体层122、122’···基底层13、13’···反射层20···光电转换元件面板30···第1放射线图像检测器40···第2放射线图像检测器50···蒸镀装置51···真空容器52···真空泵53···蒸镀用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种放射线图像转换面板，具有支承体和形成于该支承体上的闪烁体层，该闪烁体层包含多个含有荧光体的柱状晶体，并且该多个柱状晶体以根部彼此相互独立的方式存在。

【技术特征摘要】
2013.05.30 JP 2013-1140631.一种放射线图像转换面板，具有支承体和形成于该支承体上的闪烁体层，该闪烁体层包含多个含有荧光体的柱状晶体，并且该多个柱状晶体以根部彼此相互独立的方式存在，该根部与该支承体直接相接，或者隔着含有树脂的层与该支承体相接，并且以所述支承体存在的面为基准，高度1μm位置处的所述柱状晶体的平均晶体直径a与高度3μm位置处的所述柱状晶体的平均晶体直径b满足1<(b/a)≤3的关系，且晶体直径b为3μm以下。2.根据权利要求1所述的放射线图像转换面板，其中，所述闪烁体层的最外侧的所述柱状晶体的平均晶体直径c为10μm以下，且所述闪烁体层的厚度为100～1000μm。3.根据权利要求1所述的放射线图像转换面板，其中，所述闪烁体层由基底层和荧光体层构成，该基底层和该荧光体层依次层叠在所述支承体上。4.根据权利要求3所述的放射线图像转换面板，其中，所述基底层的厚度为3～50μm。5.根据权利要求1所述的放射线图像转换面板，其中，所述闪烁体层具有所述柱状晶体的晶体直径不连续变化的部位。6.根据权利要求1所述的放射线图像转换面板，其中，所述闪烁体层由利用气相沉积法形成的柱状晶体构成。7.根据权利要求1所述的放射线图像转换面板，其中，所述含有树脂的层是选自反射层和保护层中的任一层。8.一种放射线图像检测器...

【专利技术属性】
技术研发人员：永田康史，前田景子，松本武藏，
申请(专利权)人：柯尼卡美能达株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP