一种基于DMD的扫描式光刻机灰度图像曝光方法技术
【技术实现步骤摘要】
一种基于DMD的扫描式光刻机灰度图像曝光方法
本专利技术属于无掩模光刻
，更为具体地讲，涉及一种基于DMD的扫描式光刻机灰度图像曝光方法。
技术介绍
3D光刻技术是近年来光刻领域研究的一个热点，由于需要制作出具有连续表面微结构的复杂器件，3D光刻一般以具有一定灰阶的灰度掩模板为基础，并且灰度等级越高，器件表面的微结构就越平滑。具有灰度的掩模板制作非常复杂，成本也相当昂贵，基于DMD的数字无掩模光刻技术具有以其低成本、高性能的特点也逐渐被应用到3D光刻技术的研究。基于DMD的3D光刻技术的基础是使用DMD进行灰度图像的曝光，实现用DMD来代替传统的灰度掩模。扫描式DMD曝光采用工件台的运动与图像的滚动显示同步的方式实现大面积曝光，这与传统的步进投影曝光不同，其投影曝光与工件台运动是相结合的。除此之外，由于每个曝光位置是通过多个DMD像素微镜的重叠曝光，因此，可以有效地减小DMD整个幅面的照明不均匀对曝光质量产生的影响，大大改善了曝光的均匀性。在扫描式曝光工艺中，对于每一个扫描步长而言，DMD都需要滚动刷新一帧灰度曝光图像，这使得DMD曝光图像的数据量非常大，现...
【技术保护点】
一种基于DMD的扫描式光刻机灰度图像曝光方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)、载入待加工灰度图像，由灰度扫描带图像预处理模块对载入的灰度图像进行分割处理；(1.1)、扩展待加工灰度图像设待加工灰度图像为一幅分辨率为m×n的N位灰度图像，灰度图像中坐标为(x,y)的像素点对应的像素灰度值为Gray
【技术特征摘要】
1.一种基于DMD的扫描式光刻机灰度图像曝光方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)、载入待加工灰度图像，由灰度扫描带图像预处理模块对载入的灰度图像进行分割处理；(1.1)、扩展待加工灰度图像设待加工灰度图像为一幅分辨率为m×n的N位灰度图像，灰度图像中坐标为(x,y)的像素点对应的像素灰度值为Gray0(x,y)；设DMD的分辨率为r×c，其中，r、c分别DMD中微镜阵列的行数和列数，且m＞r,n＞c；按照如下公式对待加工灰度图像进行扩展：其中，Gray(x,y)表示扩展后的灰度图像中坐标为(x,y)的像素点对应的像素灰度值；(1.2)、按公式(2)对扩展后的灰度图像进行分割，得到个大小为(m+2r)×c的灰度扫描带图像；其中，Grayi(x,y)代表第i个灰度扫描带图像，是n/c向取整；(1.3)、判断最后一个灰度扫描带图像的大小是否为(m+2r)×c，如果大小是，则不处理；如果大小不是，则按照公式(3)进行扩展；(1.4)、将每个灰度扫描带图像拆分成N个位平面；第i个灰度扫描带图像拆分成第j个位平面的计算公式为：Gray(i,j)(x,y)＝Logical(Grayi(x,y),j)；j＝0:N-1(4)其中，Gray(i,j)(x,y)表示第i个灰度扫描带图像的第j个位平面的图像数据，Logical(Grayi(x,y),j)表示第i个灰度扫描带图像Grayi(x,y)在第j位的逻辑值；同理，按照公式(4)，拆分出第i个灰度扫描带图像的其余N-1个位平面，以及其余灰度扫描带图像的N个位平面；(1.5)、将拆分后的每个灰度扫描带图像按照从位平面0到位平面N-1的顺序依次将每个灰度扫描带图像通过通信接口发送到扫描带图像存储模块；(2)、扫描带图像存储模块按照每个灰度扫描带图像对接收的位平面进行存储；设D0表示灰度图像数据在存储器中存储的基地址，D1表示连续存储c比特的图像数据所占用的内存地址数；则第i个灰度扫描带图像的第j个位平面在扫描带图像存储模块中的存储方法为：ADDR(i,j,x,y)＝D0+[8(m+2r)(i-1)+j(m+2r)+x]D1(5)其中，ADDR(i,j,x,y)表示第i个灰度扫描带图像的第j个位平面的像素点(x,y)所属行在内存中存储的起始地址,j＝0:N-1,x＝0:m+2r-1，每一行灰度扫描带图像数据从行起始地址开始连续存储；同理，按照公式(5)，存储第i个灰度扫描带图像的其余N-1个位平面，以及其余灰度扫描带图像的N个位平面，完成所有灰度扫描带图像的位平面存储；(3)、灰度曝光图像处理模块读取存储的灰度扫描带图像，并进行DMD实时灰度曝光图像处理，获得灰度曝光图像的各个位平面子帧；(3.1)、灰度曝光图像处理模块接收到工作台同步触发信号后，读取存储的第i个灰度扫...
【专利技术属性】
技术研发人员：彭超，邹见效，何建，池文明，李艳，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川,51
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