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本发明公开了一种基于DMD的扫描式光刻机灰度图像曝光方法，通过DMD控制器完成灰度曝光图像的分割和拼接，从而高速生成DMD灰度调制实时曝光图像，并根据曝光图像对DMD进行基于二元脉冲宽度的灰度调制，尽量缩短调制基准时间，提高DMD灰度曝光帧...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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