可搬型旋转装置及成膜装置制造方法及图纸

提供能够通过简单的作业实现借助于行星齿轮旋转的基板成膜的可搬型旋转装置及成膜装置。可搬型旋转装置(11)由如下部分构成：旋转拱顶(21)，其通过设置于真空蒸镀装置(1)的伺服马达(M)进行旋转；基板支架(12)，其以能够旋转的方式被支承在旋转拱顶(21)上，被成膜基板(14)载置于该基板支架(12)；内框(11a)，其经公转齿轮用轴承而被安装在旋转拱顶(21)上；外框(24)，其配设在内框(11a)的外侧，形成为与基板支架(12)的外周侧啮合；以及连结臂(41)，其将内框(11a)和外框(24)连结起来。旋转拱顶(21)以行星齿轮机构的公转轴线(R1)为中心进行旋转，基板支架(12)由旋转拱顶(21)保持在公转轴线(R1)的周围并被支承成能够以行星齿轮机构的自转轴线(R2)为中心进行旋转。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】可搬型旋转装置及成膜装置
本专利技术涉及可搬型旋转装置及成膜装置，特别是涉及具备行星齿轮机构并被安装于成膜装置的可搬型旋转装置及具备该可搬型旋转装置的成膜装置。
技术介绍
在真空成膜装置中，有的具备行星齿轮机构作为形成均衡化的薄膜的结构。该真空成膜装置是如下的装置：被成膜基板被安置在构成行星齿轮机构的多个行星齿轮上，在借助于行星齿轮机构的旋转状态下使成膜材料蒸镀在被成膜基板上，从而能够得到均衡化的成膜基板。作为以往的行星旋转机构之一，有的具备：进行公转的旋转台；行星齿轮，其经轴承而可自转地被保持于旋转台，在该行星齿轮的外周侧形成有多个齿形；以及固定齿轮，其以与行星齿轮的多个齿形啮合的方式被设置在旋转台的外侧。当借助于马达的旋转动力使该旋转台公转时，行星齿轮与旋转台一同公转的同时通过与固定齿轮啮合而进行自转。例如，在专利文献1中公开了一种偏压溅射装置，该偏压溅射装置具备行星齿轮机构，所述行星齿轮机构由如下部分构成：作为旋转台的公转部件；作为行星齿轮的自转支架，其经轴承而被保持在该公转部件上；以及作为固定齿轮的环状传递部件，其配设在该自转支架的外周侧并与之啮合。行星齿轮机构中除了这样地将固定齿轮设置在旋转台的外侧的结构以外，也有的由将固定齿轮设置在比旋转台靠内侧的结构构成，但通常在外周侧设置固定齿轮(内齿)更适合于成膜材料的均衡化。这是因为，在旋转台公转规定数的情况下，与固定齿轮啮合的行星齿轮的自转次数变多。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2009-154196号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题以往，用于行星齿轮机构的固定齿轮利用容器的内壁面、或者搬运旋转台的搬运机构的框架而被固定。如专利文献1中记载的那样，在固定齿轮被固定于容器的内壁面的情况下，由于需要将固定齿轮、被成膜基板及其装载夹具直接地相对于容器的内壁面进行装卸，因此生产率和维护性低。在固定齿轮被固定于搬运机构的框架的情况下，能够连带着搬运机构取出到装置外来装卸被成膜基板。但是，由于需要可搬移搬运机构的台车等另外的设备，因此花费成本。并且，若连带着搬运机构取出到装置外，则被暴露于大气的对象物变多，被吸入到装置内的气体增加，因此不适合真空排气。此外，作为成膜对象的被成膜基板的成膜面多较大地形成有凹凸，为了得到均衡化的成膜，需要相对于成膜材料朝向被成膜基板的入射方向将载置被成膜基板的行星齿轮倾斜。因此，以往，将作为行星齿轮的正齿轮与由齿条构成的固定齿轮(内齿)斜着啮合而使正齿轮旋转。在该情况下，齿轮彼此斜着啮合，两齿轮间的间隙变大而不是正齿轮的正规的啮合，因此，造成了产生微振动、接触应力增加、动力的传递效率降低等问题。并且，很难斜着形成内齿、并且将固定齿轮和正齿轮制造成具备规定的强度，制造效率低。本专利技术正是鉴于上述课题而完成的，本专利技术的目的在于，提供能够通过简单的作业实现借助于行星齿轮旋转的基板成膜的可搬型旋转装置及具备可搬型旋转装置的成膜装置。本专利技术的另一目的在于，抑制对真空排气的影响。此外，本专利技术的另一目的在于，在倾斜地安装有行星齿轮部分的状态下防止微振动的产生、接触应力的增加以及动力的传递效率的降低。此外，本专利技术的另一目的在于，在倾斜地安装有行星齿轮部分的状态下保持啮合部分的规定的强度。用于解决课题的手段可通过如下方式解决上述课题，根据本专利技术的可搬型旋转装置，其具备行星齿轮机构，被安装于对基板进行成膜的成膜装置，其中，所述可搬型旋转装置由如下部分构成：旋转体，其通过设置于上述成膜装置的驱动部进行旋转；基板支架，其以能够旋转的方式被支承在该旋转体上，上述基板被载置于该基板支架；内框，其经轴承而被安装在上述旋转体上；外框，其配设在该内框的外侧，形成为与上述基板支架的外周侧啮合；以及臂，其将上述内框和上述外框连结起来，上述旋转体以作为上述行星齿轮机构的公转轴线的第一旋转轴线为中心进行旋转，上述基板支架由上述旋转体保持在上述第一旋转轴线的周围，并被支承成能够以作为上述行星齿轮机构的自转轴线的第二旋转轴线为中心进行旋转。这样，可搬型旋转装置具备：旋转体，其通过驱动部进行旋转；基板支架，其以能够旋转的方式被支承于该旋转体，基板被载置于该基板支架；内框，其经轴承而被安装在旋转体上；外框，其形成为与基板支架的外周侧啮合；以及臂，其将内框和外框连结起来，由于通过该可搬型旋转装置实现了行星齿轮机构，因此，通过将可搬型旋转装置导入到成膜装置，从而无需大幅度的改造就能够容易地实现借助于行星齿轮旋转的基板成膜。此外，在将现有的可搬型旋转装置替换成具备行星齿轮机构的可搬型旋转装置的作业中，无需用于固定壁面的夹具及另外的设备就能够抑制对真空排气的影响。此外，优选的是，上述基板支架具有筒状的支架主体和形成于该支架主体的外周侧的链轮部件，上述第二旋转轴线以相对于上述第一旋转轴线斜着朝向的方式相对于上述第一旋转轴线倾斜配设，在上述外框的内周侧固定有与上述链轮部件啮合的滚链，该滚链相对于上述第一旋转轴线倾斜地被安装于上述外框。根据上述结构，通过采用使形成于基板支架的链轮部件与固定于外框的挠性高的滚链啮合的结构，从而能够使基板支架与外框适当地斜着啮合。因此，能够相对于公转轴线而倾斜地配设外周侧具有链轮部件的基板支架，即使在被载置于基板支架的基板上存在凹凸的情况下，也能够使形成于基板的薄膜适当地均衡化。此外，根据这样的结构，与形成于基板支架的外周侧的正齿轮与形成于外框的内周侧的齿条斜着啮合的结构相比，由于能够缩小间隔，因此能够抑制微振动的产生，并且，由于容易保持彼此的接触面积，因此能够抑制与旋转力的传递相关的损耗。特别是，根据使滚链与链轮部件啮合的结构，能够保持啮合部分的规定的强度。也可以是如下的结构：上述支架主体的侧面具备第一突出部、或者从一个方向朝另一方向弯曲的形状的第一槽部，上述链轮部件与上述支架主体分体形成，在上述链轮部件的侧面形成有从上述一个方向朝上述另一方向弯曲的形状的、对上述第一突出部进行引导的第二槽部、或者被上述第一槽部引导的第二突出部，上述支架主体和上述链轮部件被卡定在上述第一突出部沿上述一个方向穿过上述第二槽部并沿上述另一方向穿入的位置、或者上述第二突出部沿上述一个方向穿过上述第一槽部并沿上述另一方向穿入的位置。根据上述结构，利用第一槽部或第二槽部引导支架主体向链轮部件的插入，并且支架主体和链轮部件被卡定在以与插入方向不同的方向移动的位置，因此能够适当地避免支架主体与链轮部件分离。此外，优选的是，具备：至少一个中框，其设置在上述内框与上述外框之间，并与上述臂连结；和其它基板支架，其形成为与该中框的侧部啮合，并以能够旋转的方式被支承在上述旋转体上，上述基板被载置于该其它基板支架，该其它基板支架由上述旋转体保持在上述第一旋转轴线的周围，并被支承成能够以作为上述行星齿轮机构的其它自转轴线的第三旋转轴线为中心进行旋转。根据上述结构，通过具备：中框，其与臂连接；和其它基板支架，其与该中框的内周侧啮合，从而能够对大量的基板实施借助于行星齿轮机构的均衡的成膜处理。此外，可通过如下方式解决上述课题，根据本专利技术的成膜装置，其具备：上述可搬型旋转装置；上述驱动部，其驱动上述旋转体旋转；以及成膜机构，其对被载置于上述基板支架的上述基板进行成膜。根据具备上述结构的成膜装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可搬型旋转装置，其具备行星齿轮机构，被安装于对基板进行成膜的成膜装置，上述可搬型旋转装置的特征在于，该可搬型旋转装置由如下部分构成：旋转体，其通过设置于上述成膜装置的驱动部进行旋转；基板支架，其以能够旋转的方式被支承在该旋转体上，上述基板被载置于该基板支架；内框，其经轴承而被安装在上述旋转体上；外框，其配设在该内框的外侧，形成为与上述基板支架的外周侧啮合；以及臂，其将上述内框和上述外框连结起来，上述旋转体以作为上述行星齿轮机构的公转轴线的第一旋转轴线为中心进行旋转，上述基板支架由上述旋转体保持在上述第一旋转轴线的周围，并被支承成能够以作为上述行星齿轮机构的自转轴线的第二旋转轴线为中心进行旋转。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.06.03 JP 2014-1150981.一种可搬型旋转装置，其具备行星齿轮机构，被安装于对基板进行成膜的成膜装置，上述可搬型旋转装置的特征在于，该可搬型旋转装置由如下部分构成：旋转体，其通过设置于上述成膜装置的驱动部进行旋转；基板支架，其以能够旋转的方式被支承在该旋转体上，上述基板被载置于该基板支架；内框，其经轴承而被安装在上述旋转体上；外框，其配设在该内框的外侧，形成为与上述基板支架的外周侧啮合；以及臂，其将上述内框和上述外框连结起来，上述旋转体以作为上述行星齿轮机构的公转轴线的第一旋转轴线为中心进行旋转，上述基板支架由上述旋转体保持在上述第一旋转轴线的周围，并被支承成能够以作为上述行星齿轮机构的自转轴线的第二旋转轴线为中心进行旋转。2.根据权利要求1所述的可搬型旋转装置，其特征在于，上述基板支架具有筒状的支架主体和形成于该支架主体的外周侧的链轮部件，上述第二旋转轴线以相对于上述第一旋转轴线斜着朝向的方式相对于上述公转轴线倾斜配设，在上述外框的内周侧固定有与上述链轮部件啮合的滚链，该滚链相对于上述第一旋转轴线倾斜地被安装于上述外框。3.根据权利要求2所述的可搬型旋转装置，其特征在于，上述支架主体的侧面具备第一突出部或者从一个方向朝另一方向弯曲的形状的第一槽部，上述链轮部件与上述支架...

【专利技术属性】
技术研发人员：石井孝宣，千叶幸喜，佐藤康弘，
申请(专利权)人：株式会社新柯隆，
类型：发明
国别省市：日本;JP