电子器件、电子设备和移动体制造技术

提供电子器件、电子设备和移动体。电子器件抑制振动片的振动特性下降且实现小型化，电子设备和移动体具有该电子器件。振子(电子器件)(1)具有：具有振动臂(28、29、30)的振动片(2)；支承振动片(2)且俯视时呈矩形的基部(3)；以及设置在振动片(2)的与基部(3)相反侧的盖体(7)，基部(3)的长边(302)和短边(303)延伸的方向与振动臂(28、29、30)延伸的方向相交。在设振动臂(28、29、30)与(Y)轴方向所成的角度为θ时，角度θ超过0°且小于90°。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子器件、电子设备和移动体。
技术介绍
作为振荡器、陀螺仪传感器等电子器件，已知有具备具有多个振动臂的音叉式振子的电子器件。例如，专利文献1中记载的振子具有形成有振动臂的单晶硅基板、基准电极、压电体、驱动电极和检测电极。在该振子中，在基准电极与驱动电极之间施加电压，由此使压电体伸缩，使振动臂沿单晶硅基板的厚度方向振动。在这样的状态下，在向振动臂的长边方向施加角速度时，会在与振动臂的振动方向垂直的方向上产生科里奥利力。通过使因该科里奥利力而在压电体中产生的电荷作为信号从检测电极输出，能够检测所施加的角速度。近年来，针对这样的电子器件，强烈要求小型化。但是，随着小型化的发展，振子的振动特性有可能变差。专利文献1:日本特开2005-241382号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种抑制振动片的振动特性下降且实现小型化的电子器件以及具有该电子器件的电子设备和移动体。本专利技术是为了解决上述的问题的至少一部分而完成的，可作为以下的应用例来实现。本应用例的电子器件的特征在于具有:振动片，其具有振动臂；以及基部，其支承所述振动片，在俯视时，所述基部的边延伸的方向本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子器件，其特征在于，该电子器件具有：振动片，其具有振动臂；以及基部，其支承所述振动片，在俯视时，所述基部的边延伸的方向与所述振动臂延伸的方向相交。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山崎隆，石井昌宏，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP