以高稳定性高速度而不引起滞咬现象进行拾取和配置操作的拾取、转移和配置对象的拾取和配置设备。此设备有一负压源,并包括检测由施加该负压源产生的负压来拾取对象过程中的吸取条件的第一压力检测器,检测由释放该负压来将对象放到预定位置上过程中的吸取释放条件的第二压力检测器,和在由第一压力检测器接收到吸取检测信号或由第二压力检测器接收到吸取释放检测信号后控制拾取和配置设备的整个运行以前进到下一过程的控制器。(*该技术在2017年保护过期,可自由使用*)
【技术实现步骤摘要】
本专利技术是关于为转移对象的拾取和配置设备,较具体说是关于用于转移例如半导体装置等对象依靠打开和关闭一负压源来进行吸取或吸取释放的拾取和配置设备。为转运对象的拾取和配置设备的某些应用要求精确而迅速地转移对象以便能提高整个系统的运行效率。这在被应用于与一半导体测试系统相结合的测试处理机中的用于传送对象的拾取和配置设备的情况下就是如此。这种配合半导体系统的测试处理机中欲加以转移的测试对象为半导体IC装置。另一个例子是芯片装配线,它在印刷电路板等的预定位置上面配置各种芯片式的电子部件。本专利技术是关于具有利用例如真空的负压力所产生的吸取力来吸引和释放欲加转移的对象的吸取机构的拾取和配置设备。这些拾取和配置设备要求具有高传送速度和低滞咬率的高可靠性来提高效率以完善整个的生产率。为达到这些目标,在利用吸取方法转移对象的拾取和配置设备中,对各吸取盘设置压力检测装置检测吸引情况。这由检测吸引压力来确保拾取(吸取)操作和促使吸取(拾取操作)时间或吸取释放(配置操作)时间降低。现参照图5说明这样的拾取和配置设备中的结构示例。此例通过来自压力检测器4 1的检测信号控制吸取和吸取释放操作。此例中还将多个欲被拾取和配置设备转移的被试装置(DUT)排列在一水平料盘上。图5中,此具有吸取机构的吸取和配置设备由吸取盘30、盘支撑32、转移驱动装置80、真空软管38、压力检测器41、负压开关45、负压源50、和吸取控制器70组成。吸取盘30具有与DUT(被试装置)90接触的盘端31,和在中心处为通过其传送负压到DUT90的通孔75。吸取盘30是一能以由负压产生的吸取力拾取和放置DUT的圆形部件。图6(a)~6(c)表示吸取盘30的示例。吸取盘30例如形成为图6(a)的弹性橡皮盘,或者图6(b)的设置有金属环面层的弹性橡皮盘,或者如图6(c)所示的带金属管的弹性橡皮盘。直空软管38连接到吸取盘30的顶部将负压通过孔75导引到盘端31。负压开关45被连接到例如真孔软管38的另一端以进行吸取力的开/关操作。此吸取盘30可由转移驱动装置80通过支撑32在三个方向自由定位。例如吸取盘30由转移驱动装置80在垂直方向(Z)驱动以作上、下运动,而在(X-Y)方向驱动以作左、右或前、后移动。这样的驱动装置在技术上,例如机械臂技术中是公知的,因而这里不作进一步说明。压力检测器41检测预定的压力点以判断拾取和配置操作和启动负压源的吸取力的下一开关操作。这些欲检测的压力点随真空软管38的长度、DUT90的表面与吸取盘30间的接触情况、或其他因素而改变。来自压力检测器41的检测信号指明压力点并被提供到吸取控制器7。作为负压源50一例,通常可采用一喷射真空泵根据由将高压空气释放进大气中所引起的气流的速度来产生负压。压力检测器41、负压开关45和负压源50可被容纳在一个组件中以便使整体尺寸小型化。图4中表示真空软管38中的负压相对于拾取操作(吸取周期)和配置操作(吸取释放周期)的曲线。图4(a)为在吸取期间真空软管中的负压曲线。软管38中的负压在特性曲线C1a和C1b之间波移。造成这种波动的主要因素是真空软管38的管道长度、吸取盘30与DUT90之间的空间和不规则性,以及老化变质。结果,到达预定的吸引压力点P1所需的时间T1a和T1b也如图4(a)中所示地分散。图4(b)为表示吸取释放期间真空软管38中的负压特性曲线的示例。在此例中也由于上述有关图4(a)中的类似因素仍然表现为负压在特性曲线C2a与C2b之间的分散性。考虑到上述的压力分散性,下面说明拾取料盘100上的DUT90的吸取过程。在此例中,假定在压力检测器41中设置能确实可靠地维持吸取DUT90的负压值的吸引压力点P1。在吸取周期的起始,吸取盘30的端部被转移驱动装置80定位以便吸取盘30稍许压在DUT90上。吸取控制器70使负压开关45接通以将负压导入真空软管38。这种情况在图3中说明,图中表示吸取周期内的压力变化。在图3左边所示的吸取周期中,一当压力检测器41检测到吸取压力P1,即以保持压力P1来结束吸取过程。DUT90被保持在吸盘的端部而拾取和配置设备前进到下一操作,例如将DUT90传送到测试处理机上的指定位置。在此吸取过程中,DUT90不间断地被可靠地保持在吸取盘30的顶部。下面说明为将DUT90释放到预定的位置上的吸取释放操作。图3的右侧表明吸取释放周期内的压力变化。在DUT90被传送到预定位置,例如图5的托盘100上的一位置,吸取控制器70断开负压开关45以将大气压导入真空软管38来降低负压。由于电压检测器41如上述被设置有吸取压力点P1,当软管38中的负压被降到压力点P1时产生检测信号,虽然DUT90仍然被吸住在吸取盘30的顶部。这样,设置一由来自压力检测器41的检测信号启动的定时器。此定时器被设定一被假定为确实地释放DUT90的合适的时间长度。在吸取控制器70接收到此定时器的信号之后,吸取释放过程结束而开始下一过程。此定时器的定时长度的确定考虑到为成功释放DUT的负压的分散性和成功地进行释放操作的运行范围。因而定时器中的时间长于释放DUT中的任何预期情形。结果,在释放DUT90的实际时刻与由定时器所规定的时间长度之间产生差异,导致时间的浪费。另一方面,如将时间长度设定得较短,有可能发生滞咬现象而使转移可靠性恶化。因此,本专利技术的目的就在于制造一种采用吸取力的能高速高效率地拾取和配置电子装置的拾取和配置设备。本专利技术的另一目的是提供一种以高速度不致引起任何电子装置的滞咬现象的利用吸取力拾取电子装置和以释放此吸取力来配置装置的拾取和配置设备。本专利技术的再一目的是提供一种具有互相分开的独立检测设备中负压的预定压力点的吸引压力检测器和吸引释放压力检测器的拾取和配置设备。本专利技术的又一目的是提供一具有检测由软件预定或修改的吸取点和吸取释放放点的压力检测器和模/数变换器的拾取和配置设备。本专利技术还有一目的是提供一具有相互分开的吸取压力检测器和吸取释放压力检测器以及至少一确定拾取和配置设备的结束定时以进入设备下一操作的定时器的拾取和配置设备。按本专利技术的第一个方面,为拾取和配置对象进行吸取和吸取释放操作的用于转移对象的具有负压源的拾取和配置设备包含为在应用负压检取对象的过程中检测吸取条件的第一压力检测器;为在由释放此负压于预定位置配置对象的过程中检测吸取释放条件的第二压力检测器;和在由第一压力检测器接收到吸取检测信号或由第二压力检测器接收到吸取释放检测信号后前进到下一过程而对拾取和配置设备的整个运行进行控制的控制器。由于上述构成而能实现吸取期间内的可靠的拾取操作和吸取释放期间的可靠的释放操作而不致产生对象的任何滞咬现象。按本专利技术的另一个方面,由控制吸取力来拾取和配置对象的拾取和配置设备包含产生为拾取或释放对象的吸取力的负压源;设置有负压源通过软管与对象接触以便利用负压源产生的吸取力来拾取和配置对象的吸取盘;为打开软管中的通道给吸取盘提供吸取力或关闭此通道阻止向吸取盘提供吸取力的压力开关;为检测拾取对象过程中软管中的第一预定负压的第一压力检测器;为检测将对象置于预定位置的吸取释放过程中软管中的第二预定负压的第二压力检测器;和在由第一压力检测器接收到吸取检测信号或由第二压力检测器接收到吸取释放检测信本文档来自技高网...
【技术保护点】
一拾取和配置设备,具有为转移对象和为拾取和配置对象进行吸取和吸取释放操作的负压源,其包括:用于检测由施加负压来拾取所述对象的过程中的吸取条件的第一压力检测器;用于检测由释放所述负压来将所述对象配置在预定位置的过程中的吸取释放条件的第 二压力检测器;和在由所述第一压力检测器接收到吸取检测信号或由所述第二压力检测器接收到吸取释放检测信号对拾取和配置设备的整个运行加以控制以进到下一过程的控制器。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:菅野幸男,
申请(专利权)人:株式会社鼎新,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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