一种用于硅片直径测量的固定工装，夹持侧壁与夹持板配合将测量硅片直径的螺旋测微仪夹紧固定，硅片固定板具有一与夹持板连接的座板和设置有硅片安装槽的承载板，座板通过设置在其上的高度调节槽内的调节螺栓与夹持板滑动固定，以通过调整调节螺栓位于高度调节槽内的位置，调整承载板的高度，从而使承载板上硅片安装槽中待测硅片的圆心处于螺旋测微仪测砧和测微螺杆连线上。本实用新型专利技术通过将螺旋测微仪固定，立起来放置，测量时操作便捷，效率高，同时固定硅片的硅片支架可以准确的将硅片定位，保证测量的位置刚好就是硅片的直径，很好的解决了在测量过程中由于测量人员直径测量位置的误差而产生的测量结果的误差。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及到半导体行业中硅片加工领域，具体的说是一种用于硅片直径测量的固定工装。
技术介绍
切片后对硅片边缘进行滚圆加工，使边缘形成一定形状，以提高硅片的机械强度和可加工性，同时将硅片直径磨到一定的尺寸，满足客户的要求。硅片经倒角后需检测直径是否满足客户规范的要求，测量直径通常使用螺旋测微仪，螺旋测微仪测量大直径硅片的直径时，操作不方便，测量时通过测砧和测微螺杆两点卡住硅片进行测量，需要多次测量找测量位置，效率低，可能会出现卡的不是圆周最大的位置，即测量的不是硅片的直径，比直径要小，另外可能存在测量时硅片放不平或斜，这些都会引入测量误差，这个误差远远高于测量工具的精度，是影响测量结果的主要因素。如果测量结果误差较大，会对测量结果产生误判或错判，造成不合格品流入客户。
技术实现思路
为解决现有技术中硅片直径测量时操作不方便、定位不准确产生的误差，本技术提供了一种用于硅片直径测量的固定工装，通过将螺旋测微仪和待测硅片同时固定在该工装上，从事实现了定位的准确性，也方便了测量。本技术为解决上述技术问题采用的技术方案为:一种用于硅片直径测量的固定工装，包括基座、夹持板和硅片固定板，其中，基座的一侧倾斜设置有夹持侧壁，夹持侧壁与夹持板配合将测量硅片直径的螺旋测微仪夹紧固定；所述硅片固定板具有一与夹持板连接的座板和设置有硅片安装槽的承载板，座板上设置有条形的高度调节槽，座板通过设置在高度调节槽内的调节螺栓与夹持板滑动固定，以通过调整调节螺栓位于高度调节槽内的位置，调整承载板的高度，以使承载板上硅片安装槽中待测硅片的圆心处于螺旋测微仪测砧和测微螺杆连线上。所述夹持侧壁向基座的中部位置倾斜，夹持板和座板均与夹持侧壁平行设置，且座板和承载板之间设有连接板，以使承载板上硅片安装槽的位置处于基座的上方。所述硅片安装槽的侧壁为阶梯状结构，从而使硅片安装槽形成自上而下叠加分布的三个直径分别与6英寸、5英寸和4英寸硅片直径相同的圆形槽。有益效果:本技术通过将螺旋测微仪固定，立起来放置，测量时操作便捷，效率高，同时固定硅片的硅片支架可以准确的将硅片定位，保证测量的位置刚好就是硅片的直径，很好的解决了在测量过程中由于测量人员直径测量位置的误差而产生的测量结果的误差。【附图说明】图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的左视图；附图标记:1、基座，101、夹持侧壁，2、夹持板，3、硅片固定板，301、座板，302、承载板，303、硅片安装槽，304、高度调节槽，305、调节螺栓，306、连接板。【具体实施方式】如图所示，一种用于硅片直径测量的固定工装，包括基座1、夹持板2和硅片固定板3，其中，基座I的一侧倾斜设置有夹持侧壁101，夹持侧壁101与夹持板2配合将测量硅片直径的螺旋测微仪夹紧固定；所述硅片固定板3具有一与夹持板2连接的座板301和设置有硅片安装槽303的承载板302，座板301上设置有条形的高度调节槽304，座板301通过设置在高度调节槽304内的调节螺栓305与夹持板2滑动固定，以通过调整调节螺栓305位于高度调节槽304内的位置，调整承载板302的高度，以使承载板302上硅片安装槽303中待测硅片的圆心处于螺旋测微仪测砧和测微螺杆连线上。以上为本技术的基本实施方式，可在以上基础上做进一步的改进和限定:如，所述夹持侧壁101向基座I的中部位置倾斜，夹持板2和座板301均与夹持侧壁101平行设置，且座板301和承载板302之间设有连接板306，以使承载板302上硅片安装槽303的位置处于基座I的上方；又如，所述硅片安装槽303的侧壁为阶梯状结构，从而使硅片安装槽303形成自上而下叠加分布的三个直径分别与6英寸、5英寸和4英寸娃片直径相同的圆形槽。本技术中，将螺旋测微仪放置在夹持侧壁101与夹持板2之间，然后通过螺栓或螺丝两者连接固定，螺旋测微仪立起来放置，松动调节螺栓305，硅片固定板3的座板301沿着夹持板2上下移动，从而调节硅片固定板3的高度，使硅片固定板3上硅片安装槽303中待测硅片的圆心处于螺旋测微仪测砧和测微螺杆连线上，然后拧紧调节螺栓305，将硅片固定板3固定，再将硅片放置在硅片固定板3上承载板302的硅片安装槽303中进行测量。【主权项】1.一种用于硅片直径测量的固定工装，其特征在于:包括基座(I)、夹持板(2)和硅片固定板(3 )，其中，基座(I)的一侧倾斜设置有夹持侧壁(101)，夹持侧壁(101)与夹持板(2 )配合将测量硅片直径的螺旋测微仪夹紧固定；所述硅片固定板(3)具有一与夹持板(2)连接的座板(301)和设置有硅片安装槽(303)的承载板(302)，座板(301)上设置有条形的高度调节槽(304)，座板(301)通过设置在高度调节槽(304)内的调节螺栓(305)与夹持板(2)滑动固定，以通过调整调节螺栓(305)位于高度调节槽(304)内的位置，调整承载板(302)的高度，以使承载板(302)上硅片安装槽(303)中待测硅片的圆心处于螺旋测微仪测砧和测微螺杆连线上。2.根据权利要求1所述的一种用于硅片直径测量的固定工装，其特征在于:所述夹持侧壁(101)向基座(I)的中部位置倾斜，夹持板(2 )和座板(301)均与夹持侧壁(101)平行设置，且座板(301)和承载板(302)之间设有连接板(306)，以使承载板(302)上硅片安装槽(303)的位置处于基座(I)的上方。3.根据权利要求1所述的一种用于硅片直径测量的固定工装，其特征在于:所述硅片安装槽(303)的侧壁为阶梯状结构，从而使硅片安装槽(303)形成自上而下叠加分布的三个直径分别与6英寸、5英寸和4英寸硅片直径相同的圆形槽。【专利摘要】一种用于硅片直径测量的固定工装，夹持侧壁与夹持板配合将测量硅片直径的螺旋测微仪夹紧固定，硅片固定板具有一与夹持板连接的座板和设置有硅片安装槽的承载板，座板通过设置在其上的高度调节槽内的调节螺栓与夹持板滑动固定，以通过调整调节螺栓位于高度调节槽内的位置，调整承载板的高度，从而使承载板上硅片安装槽中待测硅片的圆心处于螺旋测微仪测砧和测微螺杆连线上。本技术通过将螺旋测微仪固定，立起来放置，测量时操作便捷，效率高，同时固定硅片的硅片支架可以准确的将硅片定位，保证测量的位置刚好就是硅片的直径，很好的解决了在测量过程中由于测量人员直径测量位置的误差而产生的测量结果的误差。【IPC分类】H01L21/66【公开号】CN204857671【申请号】CN201520609218【专利技术人】田素霞, 苗利刚, 寇文杰, 陈卫群, 杨波, 王海君 【申请人】麦斯克电子材料有限公司【公开日】2015年12月9日【申请日】2015年8月14日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于硅片直径测量的固定工装，其特征在于：包括基座（1）、夹持板（2）和硅片固定板（3），其中，基座（1）的一侧倾斜设置有夹持侧壁（101），夹持侧壁（101）与夹持板（2）配合将测量硅片直径的螺旋测微仪夹紧固定；所述硅片固定板（3）具有一与夹持板（2）连接的座板（301）和设置有硅片安装槽（303）的承载板（302），座板（301）上设置有条形的高度调节槽（304），座板（301）通过设置在高度调节槽（304）内的调节螺栓（305）与夹持板（2）滑动固定，以通过调整调节螺栓（305）位于高度调节槽（304）内的位置，调整承载板（302）的高度，以使承载板（302）上硅片安装槽（303）中待测硅片的圆心处于螺旋测微仪测砧和测微螺杆连线上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：田素霞，苗利刚，寇文杰，陈卫群，杨波，王海君，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41
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