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一种用于硅片直径测量的固定工装制造技术
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下载一种用于硅片直径测量的固定工装的技术资料
文档序号:12493518
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一种用于硅片直径测量的固定工装,夹持侧壁与夹持板配合将测量硅片直径的螺旋测微仪夹紧固定,硅片固定板具有一与夹持板连接的座板和设置有硅片安装槽的承载板,座板通过设置在其上的高度调节槽内的调节螺栓与夹持板滑动固定,以通过调整调节螺栓位于高度调节...
该专利属于麦斯克电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过麦斯克电子材料有限公司授权不得商用。
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