本发明专利技术提供分析装置和校正方法，在分析装置中使用反映了实际测量状况的恰当的校正用数据进行校正。所述分析装置(100)包括照射部(51)、捕集过滤器(1)、校正用基体材料(BS，SS)、检测部(53)以及成分分析部(95)。照射部(51)照射通过激发颗粒状物质(P)而产生荧光X射线的激发X射线(X1)。捕集过滤器(1)捕集颗粒状物质(P)。校正用基体材料(BS，SS)在执行校正时与捕集过滤器一起(1)配置在测量区域(A)。检测部(53)能检测来自测量区域(A)的X射线(X2)。此外检测部(53)在执行校正时检测校正X射线。成分分析部(95)在执行校正时使用校正X射线生成校正用数据。此外成分分析部(95)在执行成分分析时，根据校正用数据和检测部(53)检测的X射线(X2)的测量值进行成分分析。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及进行颗粒状物质分析的分析装置和进行所述分析装置的装置校正的校正方法。
技术介绍
近年来，将掌握PM2.5的状况作为目的，开发了分析大气中的PM2.5的浓度和PM2.5所含的元素的装置。认为如果分析PM2.5所含的元素，则能够推断出所述PM2.5的发生源。例如，专利文献I中公开了一种对构成大气中的漂浮颗粒状物质的元素种类进行连续且自动分析的测量装置。在该测量装置中，使用X射线分析仪，通过荧光元素分析进行漂浮颗粒状物质所含的元素的元素分析。现有技术文献专利文献1:日本专利公开公报特开2008-261712号在所述的测量装置中，向处于被捕集到过滤器中的状态的颗粒状物质照射激发X射线。因此，来自颗粒状物质的荧光X射线受到过滤器的影响。此外，进行测量装置的校正时，在取下过滤器的状态下取得校正用数据。可是，如果使用如上所述的未受到过滤器影响的校正用数据对使用来自被过滤器捕集到的物质的荧光X射线进行元素分析的装置进行校正，则不能准确地进行装置的校正。
技术实现思路
本专利技术的目的在于在使用荧光X射线进行成分分析的分析装置中，使用反映了实际测量状况的恰当的校正用数据进行校正。以下，说明作为用于解决问题的方案的多个方式。根据必要可以任意组合所述的方式。本专利技术的一个方式的分析装置，其根据从颗粒状物质产生的荧光X射线进行所述颗粒状物质的成分分析，所述分析装置包括:照射部，照射激发X射线，所述激发X射线激发所述颗粒状物质使所述颗粒状物质产生荧光X射线；捕集过滤器，用于捕集所述颗粒状物质；校正用基体材料，在执行校正时与所述捕集过滤器一起配置在所述激发X射线照射的测量区域；检测部，能检测来自所述测量区域的X射线，执行所述校正时检测通过向所述捕集过滤器和所述校正用基体材料照射所述激发X射线而产生的校正X射线；以及成分分析部，执行所述校正时使用所述校正X射线生成校正用数据，执行所述成分分析时根据所述校正用数据和所述检测部检测的X射线的测量值进行所述成分分析。由此，能够使用反映了实际测量状况的恰当的校正用数据进行分析装置的校正。优选的是，所述捕集过滤器具有:捕集层，捕集所述颗粒状物质；以及加强层，加强所述捕集层。由此，即使将捕集过滤器减薄也能加大强度，能够确保用于以更高精度进行校正所必要的X射线强度。优选的是，所述校正用基体材料具有基体材料以及层叠于所述基体材料的校正用试样，所述成分分析部将通过向所述校正用试样照射所述激发X射线而产生的基准荧光X射线作为所述校正X射线，生成针对各测量对象元素的量程校正用数据。由此，能够使用包含了捕集过滤器的影响的恰当的量程校正用数据，恰当地进行针对测量对象元素的量程校正。本专利技术的其他方式的校正方法，其是分析装置的校正方法，所述分析装置根据通过向被捕集过滤器捕集到的颗粒状物质照射激发X射线而产生的荧光X射线进行所述颗粒状物质的成分分析，所述校正方法包含以下步骤:将校正用基体材料与所述捕集过滤器一起配置的步骤；向一起配置有所述捕集过滤器和所述校正用基体材料的测量区域照射所述激发X射线的步骤；检测通过向所述捕集过滤器和/或所述校正用基体材料照射所述激发X射线而产生的校正X射线的步骤；以及从所述校正X射线生成校正用数据的步骤。由此，能够使用恰当的校正用数据进行分析装置的校正。在使用荧光X射线进行成分分析的分析装置中，能够使用反映了实际测量状况的恰当的校正用数据进行校正。【附图说明】图1是表示分析装置的结构的图。图2是表示控制部的结构的图。图3是表示校正方法的流程图。图4是表示在捕集过滤器的主平面上设置了校正用基体材料的状态的图，图4的(a)为背景校正时，图4的(b)为量程校正时。图5是表不校正X射线分布图的一个例子的图。图6是表示包含基准荧光X射线的校正X射线分布图的一个例子的图。图7是表示元素D的校正曲线的图。图8是表示包含来自颗粒状物质的荧光X射线的、X射线分布图的一个例子的图。附图标记说明100分析装置I捕集过滤器11捕集层13加强层3取样部31抽吸部31a 第一开口部33抽吸栗37 取样口38 β射线照射部39 β射线检测部5分析部51照射部53检测部7过滤器移动部7a送出卷筒7b卷取卷筒9控制部91过滤器控制部92取样控制部93照射控制部94 X射线计数部95成分分析部96颗粒质量浓度计算部A测量区域D元素P颗粒状物质BS背景校正用基体材料SS量程校正用基体材料CS校正用试样MS基体材料Xl激发X射线X2 X 射线【具体实施方式】1.第一实施方式(I)分析装置的整体构成使用图1说明第一实施方式的分析装置100的结构。图1是表示分析装置的结构的图。分析装置100根据通过向颗粒状物质P(后述)照射激发X射线Xl(后述)而从颗粒状物质P产生的荧光X射线，进行颗粒状物质P的成分分析。分析装置100具备捕集过滤器1、取样部3、分析部5、过滤器移动部7以及控制部9。捕集过滤器I捕集采集到的大气所含的颗粒状物质P。捕集过滤器I具有捕集层11，捕集层11具有能捕获颗粒状物质P的孔。作为捕集层11的材料，例如可以使用氟系树脂(例如四氟乙烯树脂(PTFE))等。捕集层11的厚度被调整为:激发X射线和荧光X射线等X射线在捕集层11中的吸收成为规定量以下。在本实施方式中，捕集层11的厚度例如为3?35 μ??左右。如图1所示，捕集过滤器I的捕集层11的主平面上还具有加强层13，加强层13用于加强捕集层11。由此，即使将捕集层11 (即捕集过滤器I)的厚度减薄，也能够使捕集过滤器I的强度加大到能承受通过采样部3对包含颗粒状物质P的大气进行取样时的抽吸力的程度。作为加强层13，选择能流通气体、几乎不含成为测量对象元素的元素、且具有足够强度的材料。作为这种材料，例如可以采用聚乙烯、聚丙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、尼龙、聚酯、聚酰胺等的无纺布。特别是由聚丙烯和聚酯制成的无纺布，由于不含在荧光X射线分析中成为噪声的杂质且具有足够的强度，所以能进行更高精度的测量。此外，由于无纺布是将纤维间适度结合并形成布状而制成的，所以是多孔性的、且内部包含很多空隙。因此，通过采用无纺布作为加强层13，即使厚度薄也能够提高捕集过滤器I的拉伸强度。其结果，能够使捕集过滤器I具有被调整为X射线的吸收成为规定量以下的厚度。作为具有捕集层11和加强层13的捕集过滤器I整体的厚度的平均值被调整为100?200 μ m左右。在本实施方式中，捕集过滤器I的厚度为140 μ m(平均值)。取样部3对设置有分析装置100的周围的大气进行取样，并将采集到的大气向捕集过滤器I喷吹。例如，取样部3利用抽吸栗33的抽吸力，把通过抽吸栗33的抽吸从取样口 37抽吸的大气向捕集过滤当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种分析装置，其根据从颗粒状物质产生的荧光X射线进行所述颗粒状物质的成分分析，所述分析装置的特征在于，所述分析装置包括：照射部，照射激发X射线，所述激发X射线激发所述颗粒状物质使所述颗粒状物质产生荧光X射线；捕集过滤器，用于捕集所述颗粒状物质；校正用基体材料，在执行校正时与所述捕集过滤器一起配置在所述激发X射线照射的测量区域；检测部，能检测来自所述测量区域的X射线，执行所述校正时检测通过向所述捕集过滤器和所述校正用基体材料照射所述激发X射线而产生的校正X射线；以及成分分析部，执行所述校正时使用所述校正X射线生成校正用数据，执行所述成分分析时根据所述校正用数据和所述检测部检测的X射线的测量值进行所述成分分析。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：水野裕介，青山朋树，
申请(专利权)人：株式会社堀场制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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