【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及透射x射线检查装置和透射x射线检查方法。
技术介绍
1、以往，作为检查试样中的异物的系统，如专利文献1所示，存在使用透射x射线检查装置的系统。该透射x射线检查装置向试样照射来自x射线发生器的x射线，并检测透射该试样后的透射x射线，来检查异物。
2、但是，由于来自x射线发生器的x射线边扩展边向试样照射，所以向试样照射的x射线强度弱，其结果是透射试样的透射x射线的强度也变弱。因此，透射x射线检测器的检测灵敏度降低。另外，为了提高透射x射线检测器的检测灵敏度，也可以考虑延长计数时间以便增大累积剂量，但是导致对试样一个一个地进行异物检查的时间变长。
3、专利文献1：日本特开2018-141736号公报
技术实现思路
1、因此，本专利技术是鉴于上述问题而完成的，本专利技术的主要课题在于在透射x射线检查装置中提高试样中的异物的检测灵敏度。
2、即，本专利技术的透射x射线检查装置包括：x射线源，发出包含彼此不同的多个能量范围的x射线；光学元件，从所述x射线分光成一个能量范围的x射线并且朝向试样聚光；以及透射x射线检测部，检测透射所述试样后的透射x射线。
3、如果是这样的结构，则由于从包含彼此不同的多个能量范围的x射线分光成一个能量范围的x射线并且朝向试样聚光，所以能够提高向试样照射的一个能量范围的x射线的强度，能够增大透射x射线的浓淡(对比度)。其结果，在透射x射线检查装置中能够提高试样中的异物的检测灵敏度。此外，通过提高向试样照射的
4、为了高效地检查由输送机构输送的试样，优选的是，所述光学元件是将所述一个能量范围的x射线线状聚光的弯曲分光元件。
5、此外优选的是，所述透射x射线检测部是与所述线状聚光后的x射线对应设置的线传感器。在此，为了不遗漏地检测向试样照射的x射线而提高检测精度，优选的是，所述线传感器的像素宽度与所述线状聚光后的x射线的宽度大致相同。
6、此外优选的是，本专利技术的透射x射线检查装置与输送所述试样的输送机构一起使用，所述光学元件和所述透射x射线检测部配置成夹着由所述输送机构输送的所述试样。在此优选的是，线状聚光后的x射线的长边方向和线传感器的长边方向是与输送机构的输送方向正交的方向。
7、如果是该结构，则在由输送机构输送试样的系统中，能够提高向被输送的试样照射的一个能量范围的x射线的强度。其结果，不延长计数时间就能够增大透射x射线检测部的累积剂量，即使比以往更高速地进行输送，也能够增大透射x射线的浓淡(对比度)。其结果，能够实现试样的异物检查的高速化。
8、为了提高成为检测对象的异物的检测灵敏度，优选的是，所述光学元件用于分光成与所述试样中的成为检测对象的异物的x射线吸收边相比高能量范围的x射线。在此，异物的x射线吸收边的概念例如包含k吸收边或l1吸收边、l2吸收边或l3吸收边，根据异物选择x射线吸收边，据此选择光学元件。例如在异物为铜的情况下，可以选择k吸收边。
9、为了提高向试样照射的x射线的强度，优选的是，包括从所述x射线分光成相同能量范围的x射线并且朝向试样聚光的两个光学元件。
10、如果是该结构，则不延长计数时间就能够增大透射x射线检测部的累积剂量，即使比以往更高速地进行输送，也能够增大透射x射线的浓淡(对比度)。其结果，能够实现试样的异物检查的高精度化、高速化。
11、为了提高一种异物的检测灵敏度、或者能够检测多种异物，优选的是，本专利技术的透射x射线检查装置具有多种所述光学元件，多种所述光学元件用于分光成彼此不同的能量范围的x射线。
12、作为用于提高一种异物的检测灵敏度的具体实施方式，优选的是，具有两种所述光学元件，两种中的一方的所述光学元件用于分光成与所述试样中的成为检测对象的异物的x射线吸收边相比高能量范围的x射线，两种中的另一方的所述光学元件用于分光成与所述x射线吸收边相比低能量范围的x射线。
13、在此优选的是，多种所述光学元件将来自一个所述x射线源的x射线分光成彼此不同的能量范围的x射线。如果是该结构，则无需与多种光学元件分别对应地设置多个x射线源，能够使装置小型化。
14、在使用多种光学元件分光成彼此不同的能量范围的x射线的结构中，作为透射x射线检测部的具体实施方式，优选的是，所述透射x射线检测部具有多个透射x射线检测器，所述多个透射x射线检测器用于生成与所述彼此不同的能量范围的x射线分别对应的多个透射x射线图像。
15、为了提高异物的检测精度，优选的是，本专利技术的透射x射线检查装置还包括图像处理部，所述图像处理部对分别使用所述多个透射x射线检测器而生成的透射x射线图像进行处理，所述图像处理部使用与所述彼此不同的能量范围的x射线分别对应的多个透射x射线图像进行差分处理，检测所述试样中的异物。
16、为了让使用者容易查看检测到的异物，优选的是，本专利技术的透射x射线检查装置还包括显示控制部，所述显示控制部使所述透射x射线图像显示于显示器，所述显示控制部对由所述图像处理部检测到的所述异物附上颜色进行显示。
17、作为用于检查彼此不同的第一异物和第二异物的具体实施方式，优选的是，所述光学元件具有：第一光学元件，分光成与所述第一异物的x射线吸收边相比低能量范围的第一x射线；第二光学元件，分光成与所述第一异物的x射线吸收边相比高能量范围且与所述第二异物的x射线吸收边相比低能量范围的第二x射线；以及第三光学元件，分光成与所述第二异物的x射线吸收边相比高能量范围的第三x射线，所述图像处理部使用照射所述第一x射线得到的第一透射x射线图像、照射所述第二x射线得到的第二透射x射线图像、以及照射所述第三x射线得到的第三透射x射线图像进行差分处理，检测所述第一异物和第二异物。
18、在配置有多种光学元件的情况下，与x射线源及透射x射线检测部的位置关系按照每种光学元件而不同，因此导致向试样照射的x射线强度不同。因此，优选的是，本专利技术的透射x射线检查装置还包括修正部，所述修正部修正从多种所述光学元件分别向所述试样照射的x射线强度的不同。
19、此外，本专利技术的透射x射线检查方法的特征在于，利用光学元件将从x射线源发出的包含彼此不同的多个能量范围的x射线分光成一个能量范围的x射线并且朝向试样聚光，利用透射x射线检测部检测透射所述试样后的透射x射线。
20、根据以上说明的本专利技术，在透射x射线检查装置中能够提高试样中的异物的检测灵敏度。
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1.一种透射X射线检查装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的透射X射线检查装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的透射X射线检查装置，其特征在于，
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的透射X射线检查装置，其特征在于，
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的透射X射线检查装置，其特征在于，
6.根据权利要求1至5中任意一项所述的透射X射线检查装置，其特征在于，
7.根据权利要求1至6中任意一项所述的透射X射线检查装置，其特征在于，
8.根据权利要求7所述的透射X射线检查装置，其特征在于，
9.根据权利要求7或8所述的透射X射线检查装置，其特征在于，
10.根据权利要求7至9中任意一项所述的透射X射线检查装置，其特征在于，
11.根据权利要求10所述的透射X射线检查装置，其特征在于，
12.根据权利要求11所述的透射X射线检查装置，其特征在于，
13.根据权利要求9或10所述的透射X射线检查装置，其特征在于，
1
15.一种透射X射线检查方法，其特征在于，
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种透射x射线检查装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的透射x射线检查装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的透射x射线检查装置，其特征在于，
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的透射x射线检查装置，其特征在于，
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的透射x射线检查装置，其特征在于，
6.根据权利要求1至5中任意一项所述的透射x射线检查装置，其特征在于，
7.根据权利要求1至6中任意一项所述的透射x射线检查装置，其特征在于，
8.根据权利要求7所述的透...
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