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分析装置和校正方法制造方法及图纸
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文档序号:12408987
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本发明提供分析装置和校正方法,在分析装置中使用反映了实际测量状况的恰当的校正用数据进行校正。所述分析装置(100)包括照射部(51)、捕集过滤器(1)、校正用基体材料(BS,SS)、检测部(53)以及成分分析部(95)。照射部(51)照射通...
该专利属于株式会社堀场制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社堀场制作所授权不得商用。
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