【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种晶舟倾斜自动感应并修正装置,其特征在于,所述感应装置包括:水平仪,所述水平仪与所述晶舟固定连接,用以检测所述晶舟是否倾斜;处理模块,与所述水平仪连接,用以接收所述水平仪反馈的信号,并根据所述信号判断所述晶舟是否倾斜;控制器,与所述处理模块连接;机械手,分别与所述控制器和所述晶舟连接;其中,所述控制器根据所述处理模块的判断结果决定是否控制所述机械手将倾斜晶舟修正至水平位置。
【技术特征摘要】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。