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晶舟倾斜自动感应并修正装置制造方法及图纸

技术编号:12361367 阅读:110 留言:0更新日期:2015-11-21 20:32
本实用新型专利技术提供了一种晶舟倾斜自动感应并修正装置,通过增设感应装置来对晶舟的水平状态进行实时检测,如果晶舟一旦产生倾斜,感应装置的传感器就会将晶舟倾斜的信号传送至控制端,控制端接收到晶舟倾斜的信号时,发送指令控制信号灯发出提醒信息提醒技术人员晶舟已经产生倾斜,需尽快对晶舟做出调整。本实用新型专利技术可实时有效对晶舟的倾斜状态继续检测,避免倾斜的晶舟内的晶片造成破片,撞片,叠片,进而导致晶片报废。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种晶舟倾斜自动感应并修正装置,其特征在于,所述感应装置包括:水平仪,所述水平仪与所述晶舟固定连接,用以检测所述晶舟是否倾斜;处理模块,与所述水平仪连接,用以接收所述水平仪反馈的信号,并根据所述信号判断所述晶舟是否倾斜;控制器,与所述处理模块连接;机械手,分别与所述控制器和所述晶舟连接;其中,所述控制器根据所述处理模块的判断结果决定是否控制所述机械手将倾斜晶舟修正至水平位置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈祗源
申请(专利权)人:陈祗源
类型:新型
国别省市:云南;53

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