热辅助磁头检查装置(1)具备：磁头磁场检测系统(36、37)，其根据悬臂(10)的位移量测定热辅助磁头(11)所产生的磁场；近场光检测系统(20)，其根据在悬臂位置产生的散射光测定热辅助磁头(11)所产生的近场光；光学系统工作台(2)，其搭载近场光检测系统，在二维方向上移动；以及图像显示部，其通过照相机(35)拍摄悬臂和热辅助磁头的位置关系来进行显示。在更换了悬臂时，控制部(4)参照图像显示部计算悬臂的更换造成的位置偏离量，使光学系统工作台(2)移动计算出的位置偏离量。由此，在测定由热辅助磁头产生的磁场和近场光的情况下，即使在更换悬臂时产生位置偏离也会自动地对其进行调整。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种能够检查热辅助磁头所产生的近场光的产生状态的。
技术介绍
近年来，为了测定薄膜磁头的产生磁场形状并检查磁的有效磁轨宽度等，使用组装了具有原子尺度的高分辨率的磁力显微镜等的磁头检查装置。在磁力显微镜中具有安装了磁场检测用磁性探针的悬臂，使其在磁头上进行扫描移动，检测探针的位移量，由此来测定磁场形状。在专利文献I中公开了一种技术，将晶片上形成的多个磁头元件连接的长形条状态的薄膜磁头作为对象，通过焊接垫将记录信号输入到各个磁头元件，通过上述悬臂测定从各个磁头元件产生的磁场的样子。另一方面，作为要求飞跃性的高容量化的下一代硬盘的新技术，提出了一种基于热辅助的磁记录方式。通过导入将近场光作为热源的热辅助方式的磁头，还能够实现20nm左右的窄磁轨宽度记录。例如在专利文献2中公开了以提高近场光的产生效率为目的的热辅助记录磁头的结构。这里作为近场光产生部，使用一种具有导电性的结构体，该结构体具有与在波导中传输的入射光的偏振方向垂直的方向的宽度朝向产生近场光的顶点部逐渐变小的截面形状，并且成为在入射光的行进方向上朝向产生近场光的顶点部宽度逐渐变小或者阶段性变小的形状。在热辅助磁头中，为了检查其有效磁轨宽度，需要测定从磁头产生的近场光的强度分布等。例如在专利文献3中，作为检测近场光的技术公开了一种近场光评价装置，其使扫描型的探针接近近场光产生元件，通过使近场光散射来区别近场光和其他的光从而进行检测。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2009-230845号公报专利文献2:日本特开2011-146097号公报专利文献3:日本特开2006-38774号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题根据专利文献I和专利文献3所记载的技术，虽然对于热辅助磁头产生的磁场和近场光能够分别单独地测定，但没有特别考虑将两者的测定位置关联起来进行测定。在热辅助磁头的测定中，需要在近场光产生区域通过悬臂的前端部的探针来检测产生的散射光，必须使磁场与近场光的测定位置一致。例如不可避免在更换悬臂时等悬臂的安装位置发生偏离，测定出的磁场与近场光的位置关系产生偏离，测定精度可能会发生恶化。本专利技术的目的在于提供一种，在测定热辅助磁头产生的磁场和近场光时，即使在更换悬臂时发生位置偏离也会自动地对其进行调整。用于解决课题的手段本专利技术的热辅助磁头检查装置具备:XY工作台，载置热辅助磁头并将其在二维方向上进行扫描；悬臂，在前端具有磁性探针并通过预定频率被激励；Ζ工作台，将悬臂保持在距离热辅助磁头的表面的预定高度；磁头磁场检测系统，根据悬臂的位移量测定热辅助磁头产生的磁场；近场光检测系统，根据在悬臂位置产生的散射光测定热辅助磁头产生的近场光；光学系统工作台，搭载近场光检测系统并使其在二维方向上移动；图像显示部，通过照相机拍摄悬臂和热辅助磁头的位置关系来进行显示；以及控制部，控制XY工作台和光学系统工作台使得热辅助磁头和悬臂以及近场光检测系统成为预定的位置关系，在更换了悬臂时，控制部参照图像显示部计算悬臂的更换造成的位置偏离量，使光学系统工作台移动计算出的位置偏离量。专利技术的效果根据本专利技术，在测定热辅助磁头产生的磁场和近场光时，即使在更换悬臂时发生位置偏离也会自动地对其进行调整，作业效率得到提高。【附图说明】图1是表示热辅助磁头检查装置的一个实施例的概要结构图(平面图)。图2是表示热辅助磁头检查装置的一个实施例的概要结构图(侧面图)。图3是表示悬臂更换时的对位用画面的图。图4是表示悬臂更换时的工作台位置调整的流程图。图5是表示磁头更换时的对位用画面的图。图6是表示磁头更换时的工作台位置调整的流程图。【具体实施方式】以下，使用附图来说明本专利技术的实施例。实施例1图1和图2是表示本专利技术的热辅助磁头检查装置的一个实施例的概要结构图，图1是平面图(XY面图)，图2是侧面图(XZ面图)。使图2的光学系统工作台2的部分与图1一样为平面图。热辅助磁头检查装置I (以下简单地称为磁头检查装置)将扫描型探针显微镜作为基础，具备光学系统工作台2和测定系统工作台3以及控制各个工作台的控制部4，检查热辅助磁头11 (以下简单称为磁头)产生的近场光的发光状态以及磁场的分布。首先，说明测定系统工作台3的结构。测定系统工作台3具有XY工作台31、Y工作台32以及Z工作台33，作为检查对象的磁头11被保持在Y工作台32上的载置台30上。使磁头11为从长形条状态切出为磁头单体的滑块状态。另外，本实施例中，也可以是从晶片切出为磁头单体之前的长形条状态。磁头11中内置激光元件，产生热辅助用近场光。探针单元12对检查对象的磁头11提供用于产生磁场和近场光的电力。使悬臂10扫描磁头11的表面(盘对置面)来检测磁头11产生的磁场和近场光。X工作台31和Y工作台32通过压电元件使磁头11的载置台30在二维XY方向移动。Z工作台33保持悬臂10，通过压电元件使悬臂10在Z方向上移动。通过调整Z工作台33来进行调整，以使在悬臂10的前端形成的磁性探针(以下简单称为探针)位于距离磁头11的表面的预定高度(相当于磁头浮起高度)。另外，根据从悬臂10得到的后述的位移信号的大小进行悬臂10的高度调整。在悬臂10的Z方向上方设置用于进行磁头11针对悬臂10的定位的上照相机35。控制部4由PC和监视器构成，根据上照相机35拍摄到的磁头11的图像，经由测定系统工作台驱动控制电路42控制X工作台31、Y工作台32，从而进行调整以使磁头11来到预定的位置。如果磁头11的定位调整结束，则根据控制部4的指令从探针单元12向磁头11的电极进行供电。悬臂10通过安装在Z工作台33上的激振部34，以预定的频率并以预定的振幅进行振动。如果受到来自磁头11的磁场，则在悬臂10的探针产生引力或斥力的磁力，悬臂10的Z方向的位移量发生变化。磁头磁场检测系统根据悬臂10的振动状态(位移量)检测磁头11所产生的磁场形状。关于悬臂10的位移量，使从激光光源36射出的激光照射悬臂10，通过位移传感器37检测在悬臂19进行反射的光。将来自位移传感器37的输出信号经由未图示的差动放大器、DC转换器、反馈控制器等发送给控制部4，求出磁场形状。接着，说明光学系统工作台2的结构。光学系统工作台2搭载近场光检测系统20，测定磁头11所产生的近场光。光学系统工作台2通过光学系统工作台驱动控制电路41使近场光检测系统20在二维XY方向上移动。近场光检测系统20具有:成像镜头系统23，其具备物镜、半反射镜、LED光源以及成像镜头；带针孔镜22，其在中央部形成了针孔；以及光检测器21，其检测通过了带针孔镜22的针孔的光。还具备中继镜头系统24，其使通过带针孔镜22反射的光学图像进行成像；横向照相机25，其检测通过中继镜头24进行成像的光学图像。如果悬臂10的探针进入磁头11的近场光的产生区域，则产生近场光的散射光。该产生的散射光中的入射到成像镜头系统23中的散射光在成像镜头的成像面上形成悬臂10的探针的散射光图像。探针表面的散射光图像通过带针孔镜22的针孔并通过光检测器21进行检测。这样，能够测定由磁头11产生的近场光的强度。另一方面，从成像镜头系统23的LED光源射出的光透过物镜对悬臂10的探针和磁头11进行照明。将该照明光所照射的区域的图像本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种热辅助磁头检查装置，其检查热辅助磁头产生的磁场和近场光，其特征在于，具备：XY工作台，载置上述热辅助磁头并将其在二维方向上进行扫描；悬臂，在前端具有磁性探针并通过预定频率被激励；Z工作台，将上述悬臂保持在距离上述热辅助磁头的表面的预定高度；磁头磁场检测系统，根据上述悬臂的位移量测定上述热辅助磁头产生的磁场；近场光检测系统，根据在上述悬臂位置产生的散射光测定上述热辅助磁头产生的近场光；光学系统工作台，搭载上述近场光检测系统并使其在二维方向上移动；图像显示部，通过照相机拍摄上述悬臂和上述热辅助磁头的位置关系来进行显示；以及控制部，控制上述XY工作台和上述光学系统工作台，以使上述热辅助磁头和上述悬臂以及上述近场光检测系统成为预定的位置关系，在更换了上述悬臂时，上述控制部参照上述图像显示部计算上述悬臂的更换造成的位置偏离量，使上述光学系统工作台移动计算出的位置偏离量。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：石井慎次郎，村上真一郎，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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