灵敏度检查系统和灵敏度检查方法技术方案

灵敏度检查系统2000是检查静电电容传感器10的灵敏度的系统，该静电电容传感器10检测多个方向的每一个的加速度。输出获取单元2020基于来自倾斜地进入检查状态的静电电容传感器10的第一和第二方向的每一个的电容来获取输出。第一转换单元2040和第二转换单元2060的每一个通过使用基于当参考加速度被施加时的电容的值的静电电容传感器10的输出的理论值与基于当在检查状态中施加加速度时的电容的值的静电电容传感器10的输出的理论值之间的比值，将在第一和第二方向中的自身一个方向的静电电容传感器10的输出的值转换为经转换输出的值，该经转换输出的值等于当施加了参考加速度时的输出的值。此举减少了用于调节静电电容传感器10的灵敏度所需的成本。

【技术实现步骤摘要】
【专利说明】
技术介绍
1.
本专利技术涉及检查用于检测加速度的静电电容传感器的灵敏度的灵敏度检查系统， 且涉及灵敏度检查方法。 2.
技术介绍
对于检测加速度的加速度检测设备，例如，在JP-A-2006-153754中描述了设置为 电容类型的设备（下文称为静电电容传感器）。该静电电容传感器具有排布在可移动电极 附近的固定电极，来检测固定电极和可移动电极之间的电容变化，藉此检测加速度。 -般而言，由于制造各部件时引起的各部件之间的特性差异，在所制造的加速度 检测设备的输出之间展现出散乱。因此，为了消除输出中的这种散乱，在运输前执行对于每 一个加速度检测设备的灵敏度调节。在JP-A-2006-153754、JP-A-9-251031、2006/16671A、 JP-A-2004-093552、和JP-A-8-240611的每一个中描述了对于这样的加速度检测设备的灵 敏度调节有关的现有技术。JP-A-2006-153754和JP-A-9-251031的每一个公开了通过使用 摇晃器来调节加速度检测设备的灵敏度。国际公开No. 2006/16671、JP-A-2004-093552本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种灵敏度检查系统，用于检查静电电容传感器的灵敏度，包括：传感器单元，包括可移动电极、至少一个第一固定电极、以及第二固定电极，所述至少一个第一固定电极排布成从被视为与所述可移动电极相对的方向的第一方向与所述可移动电极相对，且所述第二固定电极排布成从包括在一平面内的第二方向与所述可移动电极相对，其中所述平面的方向不同于包括所述第一方向的平面的方向；检测单元，检测所述可移动电极和所述第一固定电极之间的第一电容以及所述可移动电极和所述第二固定电极之间的第二电容；和修正单元，用于修正由所述检测单元检测到的检测结果且输出经修正的结果，所述灵敏度检查系统包括：输出获取单元，用于从倾斜地进入检查状态的所述静...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：柿沼实，中村悟，
申请(专利权)人：富士电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP