【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种单晶炉用托杆,具体涉及一种单晶炉用三节式托杆。技术背景对硅单晶生产企业来说,提高硅材料利用率,降低单位能耗,提高生产效率,降低生产成本一直是企业追求的目标。因此,热场系统设计和热场内关键元件的选材和使用备受关注。众所周知,单晶炉托杆是用来支撑坩埚托、坩埚以及全部硅料的重量;单晶炉托杆还起到传递坩埚升降,坩埚旋转等运动的作用。在单晶生产过程中,托杆处于高温热场中,因现有单晶炉的托杆几乎是实心石墨杆,有一部分热量会沿托杆的轴向快速传导,最终会被冷却水带走,这样能耗会偏高。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是,克服现有技术存在的上述缺陷,提供一种可以降低托杆轴向热传导、起到节能降耗作用的单晶炉用三节式托杆。本技术解决其技术问题采用的技术方案是:一种单晶炉用三节式托杆,包括托杆上节、托杆中节和托杆下节,所述托杆上节、托杆中节和托杆下节按从上至下顺序装配连接,所述托杆中节由保温材料制成。进一步,为了防止所述托杆中节分别与托杆上节、托杆下节产生相对转动,在托杆中节分别与托杆上节、托杆下节的连接处采用螺纹连接或在连接处位置的圆周方向采用螺栓固定。进一步,所述螺栓的数量优选2~4个。所述螺栓由炭-炭复合材料或等静压石墨制成。进一步,制作所述托杆中节的保温材料为炭-炭复合材料或二氧化锆陶瓷材料,以保证高温状态下托杆中节的强度及稳定性。进一步,所述炭-炭复合材料的密度优选≥1.0g/cm3。进一步,所述托杆上节和托杆下节优选等静压石墨制成。本技术与现有技术 ...
【技术保护点】
一种单晶炉用三节式托杆,其特征在于,包括托杆上节(1)、托杆中节(2)和托杆下节(3),所述托杆上节(1)、托杆中节(2)和托杆下节(3)按从上至下顺序装配连接,所述托杆中节(2)由保温材料制成。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用三节式托杆,其特征在于,包括托杆上节(1)、托杆中节(2)和托杆下节(3),所述托杆上节(1)、托杆中节(2)和托杆下节(3)按从上至下顺序装配连接,所述托杆中节(2)由保温材料制成。
2.根据权利要求1所述的单晶炉用三节式托杆,其特征在于:所述托杆中节(2)与托杆上节(1)、托杆下节(3)的连接处分别采用螺纹连接或在连接处位置的圆周方向采用螺栓(4)固定。
3.根据权利要求2所述的单晶炉用三节式托杆,其特征在于:所述托杆中节(2)与托杆上节(1)、托杆下节(3)的连接处位置的圆周方向采用螺栓(4)的数量为2~4个。
4.根据权利要求1-3任一权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员:崔金,戴开瑛,张治军,许鹏,
申请(专利权)人:湖南南方搏云新材料有限责任公司,
类型:新型
国别省市:湖南;43
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。