本实用新型专利技术涉及单晶制备领域，公开了一种单晶炉二次加料装置，其包括保护筒、硅料筒、传料筒、分齿器和传动轴，所述硅料筒固定设于所述保护筒中，所述传料筒套设在所述硅料筒外，所述传料筒的外壁沿其轴向设有两排齿条，所述保护筒上设有手轮，所述手轮的连接轴穿过所述保护筒，所述连接轴上设有与所述齿条啮合的齿轮，所述硅料筒的下端敞口，所述分齿器设于所述硅料筒的下端敞口处，用于挡住所述敞口，所述传动轴水平依次穿过所述保护筒、传料筒和硅料筒的筒壁与所述分齿器的中心轴连接，所述传料筒与所述传动轴的连接处两侧分别设有竖向长孔。本实用新型专利技术能够实现顺利落料、而且落料速度快，也能够实现非定量加料、且不污染硅料。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶制备
，特别是涉及一种单晶炉二次加料装置。
技术介绍
目前，单晶炉二次加料技术尚不成熟，二次加料装置是制约该技术广泛应用的瓶颈。主流单晶炉二次加料装置在加料过程中会出现卡壳(硅料与拉杆夹住)、污染(拉杆底部受高温氧化污染硅料)和需定量加料等问题。
技术实现思路
(一 )要解决的技术问题本技术要解决的技术问题是如何克服现有二次加料装置存在卡料、污染硅料、落料速度慢和只能定量加料等不足。( 二)技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供一种单晶炉二次加料装置，其包括保护筒、硅料筒、传料筒、分齿器和传动轴，所述硅料筒固定设于所述保护筒中，所述传料筒套设在所述硅料筒外，所述传料筒的外壁沿其轴向设有两排齿条，所述保护筒上设有手轮，所述手轮的连接轴穿过所述保护筒，所述连接轴上设有与所述齿条啮合的齿轮，所述硅料筒的下端敞口，所述分齿器设于所述硅料筒的下端敞口处，用于挡住所述敞口，所述传动轴水平依次穿过所述保护筒、传料筒和硅料筒的筒壁与所述分齿器的中心轴连接，所述传料筒与所述传动轴的连接处两侧分别设有竖向长孔。进一步地，所述竖向长孔关于所述两排齿条所对应的传料筒的轴线对称设置。其中，所述分齿器包括中心轴和多个齿片，所述多个齿片分设于所述中心轴的外圆周，所述中心轴的长度与所述硅料筒的内径相匹配。其中，所述分齿器为球形分齿器。其中，所述传动轴位于所述保护筒外侧的两端均设有控制手柄。其中，所述保护筒的上端设有上盖，所述上盖上设有提手。其中，所述硅料筒与所述保护筒同轴设置，所述硅料筒的上端与所述保护筒的上端焊接连接。(三)有益效果与现有技术相比，本技术具有以下优点:本技术提供的一种单晶炉二次加料装置，其包括保护筒、硅料筒、传料筒、分齿器和传动轴，所述硅料筒固定设于所述保护筒中，所述传料筒套设在所述硅料筒外，所述传料筒的外壁沿其轴向设有两排齿条，所述硅料筒上位于所述两排齿条之间设有手轮，所述手轮上设有与所述齿条啮合的齿轮；所述硅料筒在落料时，传料筒通过转动手轮下落，传料筒底部没有金属底盖，可以减少金属在高温下对硅料的污染，在重力的作用下，硅料沿着传料筒实现单晶炉的二次加料，落料速度快；所述硅料筒的下端敞口，克服了传统加料装置底部金属会污染娃料的缺点，可以降低一.次加料的污染概率，提尚单晶娃棒的广品质量；所述分齿器设于所述硅料筒的下端敞口处，通过控制分齿器的旋转，可以实现硅料的不同数量(非定量)的添加，解决了传统二次加料结构中的卡料现象和定量加料等不足，提高了二次加料的成功率。【附图说明】图1为本技术一种单晶炉二次加料装置的结构示意图；图2为本技术装料时的示意图；图3为本技术落料时的示意图。图中:1:提手；2:上盖；3:硅料筒；4:保护筒；5:齿条；6:传料筒；7:手轮；8:分齿器；9:控制手柄；10:传动轴；11:隔尚阀室。【具体实施方式】下面结合附图和实施例，对本技术的【具体实施方式】作进一步详细描述。以下实例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底” “内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”、“多根”、“多组”的含义是两个或两个以上。如图1-3所示，为本技术提供的一种单晶炉二次加料装置，其包括保护筒4、硅料筒3、传料筒6、分齿器8和传动轴10，所述硅料筒3固定设于所述保护筒4中，所述传料筒6套设在所述硅料筒3外，所述传料筒6的外壁沿其轴向设有两排齿条5，所述齿条5可以采用焊接在所述传料筒6的外壁，所述保护筒4上设有手轮7，所述手轮的连接轴穿过所述保护筒4，所述连接轴上设有与所述齿条5啮合的齿轮，通过转动手轮7带动所述齿轮转动，进而所述齿轮带动齿条5上下移动，实现所述传料筒6沿所述硅料筒3上升或下落，所述硅料筒3的下端敞口，所述分齿器8设于所述硅料筒3的下端敞口处，作为挡板挡住所述敞口处，所述分齿器8优选为球形分齿器，所述传动轴10水平依次穿过所述保护筒4、传料筒6和硅料筒3的筒壁与所述分齿器8的中心轴连接，所述传动轴10位于所述保护筒4外侧的两端均可以设有控制手柄9，通过转动其中一个控制手柄9带动所述分齿器8转动，通过其上的齿形带动硅料顺着传料筒6落入石英坩祸内，从而实现单晶炉硅料的添加；为了便于所述传料筒6的上下移动，所述传料筒6与所述传动轴10的连接处两侧分别设有竖向长孔，所述竖向长孔关于所述两排齿条5所对应的传料筒6的轴线对称设置，以便于所述齿条5上下移动，带动传料筒6沿所述竖向长孔上下移动。当往单晶炉内的石英坩祸内加料时，保护筒4的底部端口与隔离阀室11相吻合，进行抽空、充保护气体等工艺，打开单晶炉的翻板阀，旋转手轮7使传料筒6下降至隔离阀室内，通过旋转控制手柄9而带动分齿器8旋转，分齿器8通过其上的齿形带动硅料顺着传料筒6落入石英坩祸内，从而实现单晶炉硅料的添加。进一步地，所述分齿器8包括中心轴和多个齿片，所述多个齿片分设于所述中心轴的外圆周，所述中心轴的长度与所述硅料筒3的内径相匹配，在分齿器8不转动时，所述齿片将所述硅料筒3的底部封闭，通过控制分齿器8的旋转，可以实现硅料的不同数量(非定量)的添加。其中，所述保护筒4的上端设有上盖2，所述上盖2上设有提手1，当装料时，打开上盖2，分齿器8和硅料筒3组成一个上端开口、下端闭合的半封闭容器，可以直接从开口处加料。为了方便安装，所述硅料筒3与所述保护筒4同轴设置，为了保证连接可靠，所述硅料筒3的上端与所述保护筒4的上端焊接连接。该加料装置直接利用单晶炉副室进行改进设计，加料时直接将加料装置与隔离阀室相吻合，改变了以往加料装置进入单晶炉副室进行加料的方式。由以上实施例可以看出，本技术结构紧凑，解决了传统二次加料结构中的卡料现象和定量加料等不足点，提高了二次加料的成功率。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。【主权项】1.一种单晶炉二次加料装置，其特征在于，包括保护筒、硅料筒、传料筒、分齿器和传动轴，所述硅料筒固定设于所述保护筒中，所述传料筒套设在所述硅料筒外，所述传料筒的外壁沿其轴向设有两排齿条，所述保护筒上设有手轮，所述手轮的连接轴穿过所述保护筒，所述连接轴上设有与所述齿条啮合的齿轮，所述硅料筒的下端敞口，所述分齿器设于所述硅料筒的下端敞口处，用于挡住所述敞口，所述传动轴水平依次穿过所述保护筒、传料筒和硅料筒的筒壁与所述分齿器的中心轴连接，所述传料筒与所述传动轴的连接处两侧分别设有竖向长孔。2.如权利要求1所述的单晶炉二次加料装置，其特征在于，所述竖向长孔关于所述两排齿条所对应的传料筒的轴线对称设置。3.如权利要求1所述的单晶炉二次加料装置，其特征在于，所述分齿器包括中心轴本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种单晶炉二次加料装置，其特征在于，包括保护筒、硅料筒、传料筒、分齿器和传动轴，所述硅料筒固定设于所述保护筒中，所述传料筒套设在所述硅料筒外，所述传料筒的外壁沿其轴向设有两排齿条，所述保护筒上设有手轮，所述手轮的连接轴穿过所述保护筒，所述连接轴上设有与所述齿条啮合的齿轮，所述硅料筒的下端敞口，所述分齿器设于所述硅料筒的下端敞口处，用于挡住所述敞口，所述传动轴水平依次穿过所述保护筒、传料筒和硅料筒的筒壁与所述分齿器的中心轴连接，所述传料筒与所述传动轴的连接处两侧分别设有竖向长孔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王新海，张永军，马瑾，
申请(专利权)人：陕西国防工业职业技术学院，
类型：新型
国别省市：陕西;61
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