X射线照射源制造技术

X射线照射源(2)中，X射线管(21)的筐体(51)的壁部中，由包含碱的玻璃形成的相对壁部(51b)与包含产生施加于灯丝(52)的负的高电压的高压产生模块(22)的电源部的高电压区域(VH)相对地配置。通过这样的结构，可抑制在相对壁部(51b)产生电场，从而抑制了碱离子自玻璃析出。因此，可抑制灯丝(52)、或栅极(53)、靶(54)等的不同的电位的电极间的电位关系的变化，可防止无法保持所期望的X射线量等的不良状况的发生，因而可维持稳定的动作。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】X射线照射源
本专利技术涉及一种X射线照射源。
技术介绍
一直以来，开发有以在具有X射线照射窗的筐体内组装入X射线管或高压产生模块等而构成的X射线照射源。例如在专利文献1所记载的工业用X射线产生装置中，升压电路的高电压侧与X射线管的阴极相接近而配置。另外，例如在专利文献2所记载的软X射线产生装置中，在发射极(emitter)的表面设置有由规定的粒径的金刚石颗粒构成的薄膜。在该装置中，X射线管的筐体整体由铝形成，从而成为金属构件位于X射线管的阴极配置面的外侧的结构。在以上那样的X射线照射源中，从匹配与X射线管的供电端子的热膨胀系数的观点出发，考虑将例如碱石灰玻璃等的包含碱的玻璃使用于筐体的底板等。这样的玻璃的热膨胀系数接近于与配置于X射线管内的各种电极或密封材料的热膨胀系数，因此，可形成真空保持性能高的真空筐体。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-49123号公报专利文献2：日本特开2007-305565号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题然而，在将包含碱的玻璃使用于X射线管的筐体的情况下，若由被施加负的高电压的阴极等的高压部、与被施加低电压(或接地电位)的各种控制电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种X射线照射源，其特征在于，包含：X射线管，其包含：阴极，其被施加负的高电压；靶，其通过来自所述阴极的电子的入射而产生X射线；及筐体，其收纳所述阴极与所述靶并且具有使自所述靶产生的所述X射线向外部射出的输出窗；及电源部，其产生施加于所述阴极的所述负的高电压，所述筐体具有：窗用壁部，其设置有所述输出窗；及主体部，其与所述窗用壁部接合而形成收纳所述阴极及所述靶的收纳空间，所述主体部具有相对壁部，该相对壁部与所述窗用壁部相对地配置且由包含碱的玻璃形成，所述电源部具有：高电压产生部，其产生所述负的高电压；及高电压区域，其连接于该高电压产生部并且配置有所述相对壁部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.01.29 JP 2013-0141751.一种X射线照射源，其特征在于，包含：X射线管，其包含：阴极，其被施加负的高电压；靶，其通过来自所述阴极的电子的入射而产生X射线；及筐体，其收纳所述阴极与所述靶并且具有使自所述靶产生的所述X射线向外部射出的输出窗；及电源部，其产生施加于所述阴极的所述负的高电压，所述筐体具有：窗用壁部，其设置有所述输出窗；及主体部，其与所述窗用壁部接合而形成收纳所述阴极及所述靶的收纳空间，所述主体部具有相对壁部，该相对壁部与所述窗用壁部相对地配置且由包含碱的玻璃形成，所述电源部具有：高电压产生部，其产生所述负的高电压；及高电压区域，其连接于该高电压产生部并且配置有所述相对壁部，所述相对壁部与所述高电压区域相对地配置。2.如权利要求1所述的X射线照射源，其特征在于，所述阴极沿着所述相对壁部的内表面延伸，所述高电压区域沿着所述阴极的延伸方向延伸。3.如权利要求1所述的X射线照射源，其特征在于，所述阴极的电子放出部从所述相对壁部分离，在所述电子放出部与所述相对壁部之间，设置有被施加与自所述电源部供给至所述阴极的所述负的高电压相等的负的高电压的背面电极，所述背面电极以与所述阴极相对的方式沿着...

【专利技术属性】
技术研发人员：仲村龙弥，小杉典正，奥村直树，佐藤义孝，松本晃，丸岛吉久，中村和仁，
申请(专利权)人：双叶电子工业株式会社，浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP