衬底传输装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术的题目是衬底传输装置。一种衬底传输装置包含一承载单元、至少一第一支持单元以及至少一第二支持单元。第一支持单元与承载单元连接并凸出承载单元的一侧。第二支持单元与第一支持单元连接并凸出第一支持单元的二侧。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种传输装置，特别涉及一种衬底传输装置。
技术介绍
在半导体制造或衬底加工制造中，常需要使用一衬底传输装置来传输衬底，以使衬底能到达所需的地点进行所需制造。而在衬底传输装置支持衬底的过程中，衬底难免会受到重力的影响而产生弯曲(bending)，因此衬底传输装置所提供给衬底的支持效果相当程度地影响制造的质量以及产品的良率。另外，由于现在的平面电子装置，例如显示装置、触控装置等等，都要求轻薄化，以致于电子装置内所使用的衬底也需要相当的薄形化。而传统的衬底传输装置在支持这些薄化的衬底时，由于无法对薄化衬底的弯曲量提供合适的支持效果，以致影响制造的进行以及广品的良率。因此，如何提供一种衬底传输装置，能高效率的应用于这些薄化衬底而能提供合适的支持效果以应对薄化衬底的弯曲量，进而提升制造质量及产品良率，实为当前重要课题之一。
技术实现思路
有鉴于上述课题，本技术的目的在于提供一种衬底传输装置，其具有创新的结构设计而能高效率的应用于这些薄化衬底并提供合适的支持效果以应对薄化衬底的弯曲量，进而提升制造质量及产品良率。为达上述目的，本技术的一种衬底传输装置包含一承载单元、至少一第一支持单元以及至少一第二支持单元。第一支持单元与承载单元连接并凸出承载单元的一侧。第二支持单元与第一支持单元连接并凸出第一支持单元的二侧。在一实施例中，第二支持单元凸出第一支持单元的二侧的二长度相等或不相等。在一实施例中，第二支持单元具有一长度调整结构，第二支持单元藉由长度调整结构改变凸出第一支持单元的二侧的二长度。在一实施例中，长度调整结构包含一轨道件以及对应所述轨道件的一滑行件。在一实施例中，上述轨道件为平板状，且滑行件为倒U形状。在一实施例中，长度调整结构包含一第一锁合件及一第二锁合件，第二锁合件具有多个锁合孔以供第一锁合件选择地锁合。在一实施例中，所述锁合孔为相互连通形成的长条孔。在一实施例中，第二支持单元于第一支持单元的位置为可调。在一实施例中，第一支持单元穿设第二支持单元。在一实施例中，衬底传输装置更包含多个衬底支持组件。衬底支持组件与第二支持单元连接并凸出第二支持单元的一侧。承上所述，本技术的一种衬底传输装置更设置至少一第二支持单元，其与第一支持单元连接并凸出第一支持单元的二侧。当衬底由衬底传输装置所支持时，第二支持单元凸出第一支持单元的二侧而能扩大支持范围，进而提供充足的支持效果以应对薄化衬底的弯曲量，进而提升制造质量及产品良率。【附图说明】图1为本技术一实施例的一衬底传输装置的示意图。图2为本技术一实施例的第二支持单元的分解示意图。图3为本技术另一实施例的第二支持单元的分解示意图。图4为本技术另一实施例的第二支持单元的分解示意图。图5及图6为本技术一实施例的衬底传输装置应用于一衬底的侧视不意图。【具体实施方式】以下将参照相关附图，说明依本技术较佳实施例的一种衬底传输装置，其中相同的组件将以相同的参照符号加以说明。图1为本技术一实施例的一衬底传输装置I的不意图。如图1所不，衬底传输装置I包含一承载单元11、至少一第一支持单元12以及至少一第二支持单元13。本实施例的衬底传输装置I可应用于支持一衬底，衬底例如为一玻璃衬底，并可例如应用于半导体制造或其它衬底加工制造，于此并不限制。承载单元11用以支持第一支持单元12。本实施例不限制承载单元11的形状及材质。第一支持单元12与承载单元11连接并凸出承载单元11的一侧。另外在其它实施例中，多个第一支持单元12可与承载单元11连接并凸出承载单元11的相对二侧。于此，第一支持单元12以长条状为例，但本技术不限于此。在本实施例中，第一支持单元12与承载单元11为二个独立的构件并相互连接，但在其它实施例中，第一支持单元12与承载单元11可为一体成型的构造。第二支持单元13与第一支持单元12连接并凸出第一支持单元12的二侧。于此，第二支持单元13凸出第一支持单元12的二侧的二长度可相等或不相等(以下会再进一步说明)。另外，衬底传输装置I可更包含多个衬底支持组件14，其与第二支持单元13连接并凸出第二支持单元13的一侧。在本实施例中，第一支持单元12与设置于第二支持单元13上的衬底支持组件14皆用以支持衬底。在其它实施例中，亦可仅有衬底支持组件14用以支持衬底。另外，在其它实施例中，衬底支持组件14与第二支持单元13可为一体成型的构造。本实施例的衬底支持组件14为棒状，但本技术不限于此，其亦可例如为其它形状，例如板状。另外，衬底支持组件14的高度为可调，藉此提升其应用性。例如衬底支持组件14具有一伸缩结构而使其高度为可调。本实施例的第二支持单元13可有多种变化态样，以下举例说明之。图2为本技术一实施例的第二支持单元13a的分解示意图。如图2所示，第二支持单元13a具有一长度调整结构LAl，第二支持单元13a藉由长度调整结构LAl改变凸出第一支持单元12 (请参考图1)的二侧的二长度。于此，长度调整结构LAl包含一第一锁合件131及一第二锁合件132，第二锁合件132具有多个锁合孔133以供第一锁合件131选择地锁合。在本实施例中，第二锁合件132以具有六排锁合孔133且各排锁合孔133具有二个锁合孔133为例作说明。而第一锁合件131的二侧各具有二锁合孔136可与第二锁合件132的锁合孔133对应锁合。如此，第一锁合件131与第二锁合件132可有三种不同的当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衬底传输装置，其特征在于，包含：一承载单元；至少一第一支持单元，其与所述承载单元连接并凸出所述承载单元的一侧；以及至少一第二支持单元，其与所述第一支持单元连接并凸出所述第一支持单元的二侧。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李志伟，温立宇，徐敏员，
申请(专利权)人：南京瀚宇彩欣科技有限责任公司，瀚宇彩晶股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32