一种晶体三维定向仪制造技术

一种晶体三维定向仪，包括机台和定向机构，机台上端口处设置有机台盖板，定向机构位于机台盖板的上端面上；定向机构包括横梁、两个立柱、过渡板、X射线发生器、X射线接收器，两个立柱的下端与机台盖板固定连接，两个立柱的上端与横梁固定连接，横梁上有固定部件，两个立柱上有导轨，过渡板上固定设置有顶针，X射线发生器和X射线接收器设置在过渡板上，过渡板上有导轨副，导轨与导轨副滑动配合，两个立柱之间有工作台，过渡板上有减速机，减速机的输入轴与手轮连接，减速机的输出端与卷扬轮连接，钢丝绳的一端固定于固定部件上，分别绕过过渡板提升轮、横梁上的第一、二导向轮后，缠绕在卷扬轮上并固定。本实用新型专利技术结构简单、定向测量精度高。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于应用X射线衍射领域，涉及单晶硅、蓝宝石等大直径晶体材料的三维定向用定向仪，特别涉及一种晶体三维定向仪。
技术介绍
生长出来的单晶硅、蓝宝石晶棒在加工出各种规格晶片前，先要将晶坨进行定向，定向后利用掏棒机掏出晶棒；然后在经晶体定向机定向后，利用磨削设备将晶棒柱面加工出参考边(A向)，并按测定角度值将晶棒粘结在料板上，进行晶体晶棒粘接，晶坨及晶棒定向需要有相配套的可将两次定向采用一套设备完成的晶体三维定向仪。晶坨及晶棒柱面参考边粘结定向精度的高低，直接影响晶体切片质量好坏。传统的晶坨及晶棒柱面参考边(A向)粘结定向分别采用通用型的二维X射线定向仪，精度不能保证，其原因在于晶坨及晶棒面的X射线反射能力非常弱，其测角精度只能在±45"至±1'之间，利用精度仅为±15"，更难以保证晶坨及晶棒柱面的参考边(A向)的粘结定向精度，掏棒机掏棒及粘结后精度通常也只能达到土P左右，严重影响了蓝宝石晶棒的切片精度，导致晶体切片制品的不合格品比例很大，满足不了生产晶体切片制品精度日益提高的需要。
技术实现思路
本技术的目的，是提供一种晶体三维定向仪，本装置结构简单、使用方便、测量精确。采用的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶体三维定向仪，包括机台（2）和定向机构，机台（2）上端口处设置有机台盖板（3），定向机构位于机台盖板（3）的上端面上，其特征在于：定向机构包括横梁（8）、两个立柱（11）、过渡板（7）、X射线发生器（5）、X射线接收器（4）、钢丝绳（9）和工作台（20），两个立柱（11）竖直设置，两个立柱（11）的下端与机台盖板（3）的上端面固定连接，两个立柱（11）的上端与横梁（8）固定连接，横梁（8）上的设定位置上分别设置有第一导向轮（10）和第二导向轮（12），横梁（8）的下端面设置有固定部件（21），两个立柱（11）上分别开设有导轨，过渡板（7）水平设置，过渡板（7）上固定设置有顶针（17），顶...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：甄伟，赵松彬，陈远帆，
申请(专利权)人：丹东新东方晶体仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21