等离子体产生装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种等离子体产生装置，可制作大规模且对应各种面形状的装置，并且可使装置寿命长寿命化及节省能源化。等离子体产生装置(1-1)具备电介质层(3)、形成于电介质层(3)内的第1及第2电极(4),(5)、交流电源(6)、第1金属层(7)。电介质层(3)是由聚酰亚胺树脂的高分子树脂层(31),(32)而成。电极(4),(5)为横向并列配置于电介质层(3)内。第1金属层(7)是由具有杀菌作用的金属所形成，且其表面具有多个孔(71)。第1金属层(7)为架设于高分子树脂层(32)的支撑部(33),(34)上，与电极(4),(5)整体面对面，并且于与高分子树脂层(32)之间分隔出间隙S。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】等离子体产生装置
本专利技术涉及一种等离子体产生装置，其为使用通过电介质阻挡放电所产生的等离子体，而可进行杀菌处理、表面改质处理、除臭处理及洗净处理等。
技术介绍
电介质阻挡放电可通过将交流电压经由电介质施加于电极间，在气体中产生放电，并通过该等离子体而进行杀菌处理、表面改质处理、除臭处理及洗净处理等。就此种电介质阻挡放电的一个方式而言，具有:将2个梳状或2个平板状的电极横向并列设置于1个电介质内，于这些2个电极间施加交流电压，以使之放电的面放电方式的技术(例如，参照专利文献1及专利文献2等)。在使用如此的电介质阻挡放电的等离子体产生装置中，一般是于电介质层使用陶瓷，以高电压进行放电。[現有技术文献][专利文献]专利文献1：日本特开2006-331664号公报专利文献2：日本特开2009-064993号公报
技术实现思路
(专利技术所欲解决的问题)然而，所述以往的等离子体产生装置中具有如下的问题。在所述以往的等离子体产生装置中，是使用陶瓷作为电介质层，故于电介质层无可挠性。故，很难以大规模制作所期望的面形状的等离子体产生装置。因此，将需要大处理面积的等离子体产生装置作成所期望的形状，必须排列设置多个小型放电装置。结果，有等离子体产生装置的配线变多且烦杂，制作作业耗费时间劳力，制造成本变高的问题。此外，因施加高电压而使之放电，故在节省能源的层面上也有问题。对于此，可提出一种以高耐热且高介电率的高分子树脂形成面放电方式的等离子体产生装置所用的电介质层的技术。高分子树脂可挠性高且可以薄膜状形成电介质层，故容易以所期望的形状制作需要大处理面积的等离子体产生装置。又，在电介质表面连续进行电介质阻挡放电，安定且广区域地产生等离子体，必须将高电压的交流电压施加于2个电极间。然而，高分子树脂相较于陶瓷，对于电压的耐久性弱，于电介质层使用高分子树脂的等离子体产生装置中，其寿命短。并且，在须要接近高分子树脂的绝缘破坏电压的放电电压的等离子体产生装置中，无法使用高分子树脂作为电介质层。因此，通过将可挠性优异的高分子树脂使用于电介质层，可制作大规模且应付各种面形状的等离子体产生装置，但因必须施加高电压，故在装置寿命的方面、或节省能源的方面产生问题。本专利技术是为了解决所述问题而成者，目的在于提供一种等离子体产生装置，其可制作大规模且应付各种面形状的装置，同时可使装置寿命长寿命化及节省能源化。(解决问题的手段)为了解决所述问题，权利要求1的专利技术为一种等离子体产生装置，其具备电介质层、并列设置于该电介质层内的第1及第2电极、用以对这些第1及第2电极施加特定电压的电源；将所述电介质层以高耐热且高介电率的高分子树脂形成，使第1金属层以从该电介质层表面仅隔开特定距离的状态配置，并且以从表面侧覆盖所述第1及第2电极整体的方式与第1及第2电极面对面的构成。通过如此的构成，使用富有可绕性的高分子树脂，故可形成大面积且具有所期望的形状的电介质层。然后，若通过电源例如将交流电压施加于第1及第2电极，成为第1电极与第2电极具有互为相反的极性的状态。此时，第1金属层以覆盖第1及第2电极整体的方式与第1及第2电极面对面，故当第1电极为正极(或负极)的状态时，第1金属层中与该第1电极面对面的区域成为负极(或正极)的状态。因此，电介质阻挡放电在第1电极的整面与第1金属层的面对面区域之间产生。另一方面，第2电极为负极(或正极)的状态，故第1金属层中与该第2电极面对面的区域成为正极(或负极)的状态。因此，电介质阻挡放电是在第2电极的整面与第1金属层的面对面区域之间产生。因此，电介质阻挡放电在第1及第2电极的几乎整面与第1金属层的几乎整面之间产生，等离子体在第1金属层与电介质层之间的间隙的几乎全部区域产生。使放电在横向并列的第1及第2电极间直接进行的面放电，是为了使等离子体安定且广区域产生，必须要相当的高电压。然而，如上所述，通过使用该专利技术的等离子体产生装置，可以低电压产生安定且广区域的等离子体。结果，通过低电压放电，树脂劣化少，且装置可长寿命化。此外，可以低电压进行驱动，故也可降低能量消耗量。权利要求2的专利技术构成为在根据权利要求1所记载的等离子体产生装置中，将第2金属层以从该电介质层背面仅隔开特定距离的状态配置，并且以从背面侧覆盖所述第1及第2电极整体的方式与第1及第2电极面对面。通过如此的构成，电介质阻挡放电不仅在第1及第2电极的几乎整面与第1金属层的几乎整面之间产生，且在第1及第2电极的几乎整面与第2金属层的几乎整面之间产生，等离子体不仅在第1金属层与电介质层之间的间隙产生，且在第2金属层与电介质层之间的间隙的几乎全部区域产生。权利要求3的专利技术构成为在根据权利要求1或权利要求2所记载的等离子体产生装置中，于金属层设置多个孔，该多个孔是用以使金属层与电介质层的间隙所生的流体流出至金属层的表面侧。通过该构成，可使通过电介质阻挡放电而在金属层与电介质层的间隙产生的臭氧或自由基等流体经由金属层的孔流出至外部。结果，可通过将工件配置于金属层附近，而对该工件进行杀菌处理、表面改质处理、除臭处理及洗净处理。权利要求4的专利技术构成为在根据权利要求3所记载的等离子体产生装置中，将金属层形成为网目(mesh)状。权利要求5的专利技术构成为在根据权利要求1至4中任一项所记载的等离子体产生装置中，以具有杀菌作用的金属形成金属层。通过该构成，从金属层产生具有杀菌性的金属离子，该离子与在金属层与电介质层的间隙所产生的臭氧、自由基等流体混合。结果，可更提高对工件的杀菌效果。权利要求6的专利技术构成为在根据权利要求1至5中任一项所记载的等离子体产生装置中，高分子树脂为聚酰亚胺树脂、氟系树脂或聚硅氧树脂的任何一个。(专利技术效果)如以上的详细说明，若依据该专利技术的等离子体产生装置，不仅可通过使用富有可挠性的高分子树脂，制作具有大面积且所期望形状的电介质层的装置，并且可通过低电压放电，形成装置的长寿命化与节省能源化的优异效果。尤其，若依据权利要求2的专利技术的等离子体产生装置，可在电介质层双面的区域产生等离子体，故具有可使臭氧等广范围地扩散的效果。又，若依据权利要求3及5的专利技术的等离子体产生装置，具有可对工件的有效的杀菌处理等的效果。附图说明图1为该专利技术的第1实施例的等离子体产生装置的透视图。图2为图1的箭头A-A剖面图。图3为等离子体产生装置的分解透视图。图4为表示以实施例的等离子体产生装置所产生的等离子体产生状态的示意剖面图。图5为表示以一般的面放电所产生的等离子体产生状态的示意剖面图。图6为表示流体的流出状态的示意剖面图。图7为表示该专利技术的第2实施例的等离子体产生装置的剖面图。图8为表示该专利技术的第3实施例的等离子体产生装置的透视图。图9为表示该专利技术的第4实施例的等离子体产生装置的剖面图。图10为表示第1及第2电极的变化例的分解透视图。图11为表示金属层的变化例的透视图。其中，附图标记说明如下：1-1～1-4等离子体产生装置3电介质层4、4’第1电极5、5’第2电极6交流电源7、7’、7”第1金属层31、32高分子树脂层33、34、33’、34’支撑部61、62配线70第2金属层71孔G流体P1至P3等离子体S、S’间隙。具体实施方式以下，参照附图而说明本专利技术的最佳形态。(实施例)(实施例1)图1为本专利技术的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种等离子体产生装置，其具备电介质层、并列设置于该电介质层内的第1及第2电极、及用以对这些第1及第2电极施加特定电压的电源，其特征为，以高耐热且高介电率的高分子树脂形成所述电介质层，将第1金属层以从该电介质层的表面仅隔开特定距离的状态配设，并且以从表面侧覆盖所述第1及第2电极整体的方式与第1及第2电极面对面。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.02.04 JP 2013-0199181.一种等离子体产生装置，其具备电介质层、并列设置于该电介质层内的第1及第2电极、及用以对这些第1及第2电极施加特定电压的电源，其特征为，所述电介质层是以高分子树脂层夹住所述第1及第2电极而成，所述高分子树脂层是以高耐热且高介电率的高分子树脂而形成，在所述高分子树脂层的两边缘部形成有支撑部，将第1金属层以从该电介质层的表面仅隔开特定距离的状态以架设于所述支撑部上的方式配设，并且以从表面侧覆盖所述第1及第2电极整体的方式与第1及第2电极面对面。2.根据权利要求1所述的等离子体产...

【专利技术属性】
技术研发人员：小山里美，罗莉，辰巳良昭，
申请(专利权)人：株式会社创意科技，
类型：发明
国别省市：日本;JP