以降低的成本和加强的可靠性制造磁屏蔽件的方法技术

本申请涉及以降低的成本和加强的可靠性制造磁屏蔽件的方法。一种方法提供具有空气支承表面的磁性换能器。该方法包括提供具有多个侧壁的主磁极。提供所述主磁极的步骤包括提供尾锥。已提供尾锥之后的侧屏蔽件。

【技术实现步骤摘要】
【专利说明】相关申请的交叉引用本申请要求于2014年2月28日提交的美国临时专利申请第61/946，583号(代理人案卷号F6892.P)的优先权，在此通过引用以其整体并入本文。
技术介绍
图1示出用于制造常规磁记录磁头的常规方法10。在提供非磁性中间层(诸如，氧化铝)之后，该方法开始。通过步骤12在中间层中形成沟槽。沟槽具有用于形成主磁极所需的位置和置着面积(footprint)。通过步骤14提供籽晶层和高饱和磁化磁极材料。例如，可以在沟槽中沉积非磁性导电籽晶层并且镀覆磁性材料。通过步骤16对磁性材料进行平坦化。因此，基本上形成主磁极。然而，主磁极的顶部基本上是平的。通过步骤18去除邻近在其中将制造屏蔽件的区域中的磁极的一部分中间层。步骤18可以包括提供覆盖主磁极的掩模，并蚀刻露出的中间层。随后可以通过步骤20提供侧屏蔽件。步骤20可以包括对屏蔽件镀覆诸如NiFe的磁性材料。在提供侧屏蔽件之后，通过步骤22制造尾锥(trailing bevel)。步骤22可包括提供从空气支承表面(ABS)凹进的掩模，以及离子铣削/研磨(1n mill)已经制造的换能器的部分。因此，以相对于垂直于ABS的方向的非零角度去除主磁极材料的一部分。此外，(多种)侧屏蔽件材料的一部分也被去除。可以通过步骤24来沉积写间隙或籽晶层。该步骤是在步骤22中已经提供尾锥之后执行的。因此，在主磁极的顶部(尾锥)表面上提供非磁性层。然后通过步骤26提供后屏蔽件。步骤26可包括沉积后屏蔽件的(多种)材料。因此，可以形成包括侧屏蔽件和后屏蔽件的环绕屏蔽件。图2示出使用方法10形成的常规磁记录磁头50的ABS视图。磁记录换能器50可以是垂直磁记录(PMR)磁头。常规磁记录换能器50可以是包括写换能器50和读换能器(未示出)的合并磁头的一部分。可替换地，磁记录磁头可以是只包括写换能器50的写磁头。常规换能器50包括底层52、侧间隙54、主磁极60、侧屏蔽件70、顶(写)间隙80以及可选的顶(后)屏蔽件90。主磁极60存留在底层52上并包括侧壁。底层52可以包括前屏蔽件。常规主磁极60的侧壁在ABS处与向下磁道方向形成某一角度，并且可以在从ABS凹陷的距离处与向下磁道方向形成不同的角度。主磁极60的宽度也可以在从ABS凹陷的方向上改变。侧屏蔽件70通过侧间隙54与主磁极60分隔开。侧屏蔽件70从ABS往回延伸某一距离。如在图2中可以看出，侧屏蔽件70与后屏蔽件90分隔开。因此，即使它们由相同的材料制成，后屏蔽件90和侧屏蔽件70之间也存在接缝。虽然常规磁记录磁头50正常工作，但其具有缺点。具体而言，常规磁记录磁头50可能由于后屏蔽件90和侧屏蔽件70之间的接缝而遭受缺陷。例如，可能不利地影响可靠性和相邻磁道干扰。因此，所需要的是一种改善磁记录磁头的性能的系统和方法。【附图说明】图1是用于制造磁记录磁头的常规方法的流程图。图2示出常规磁记录磁盘驱动器。图3是示出用于制造磁记录换能器的方法的实施例的流程图。图4A-4C示出磁记录磁盘驱动器的示例性实施例的各种视图。图5示出用于提供磁记录换能器的方法的示例性实施例的流程图。图6示出用于提供磁记录换能器的方法的另一示例性实施例的流程图。图7A-7C至图13A-13C示出使用该方法制造的磁记录换能器的示例性实施例的各种视图。【具体实施方式】图3示出用于提供磁记录换能器的方法100的示例性实施例。为简单起见，除非另有规定，一些步骤可以被省略、交织、组合、具有多个子步骤和/或以另一顺序执行。该方法100在提供磁记录磁盘驱动器和换能器的背景中进行描述。然而，该方法100可以用于在基本相同的时间制造多个磁记录换能器。该方法100还在多个特别层的背景中进行描述。这些特定层可以包括多种材料和/或多个子层。该方法100也可以在形成磁记录磁头的其他部分之后开始。例如，方法100可以在读换能器、返回磁极/屏蔽件和/或其它结构已被制造之后开始。该方法100可以在其中将形成主磁极的中间层已被提供之后开始。通过步骤102提供包括尾锥的主磁极。步骤102包括在中间层中形成沟槽。沟槽的位置和外形对应于主磁极。籽晶层(诸如Ru)可以被至少沉积在沟槽中。籽晶层可以是非磁性的并且可以形成换能器的侧间隙的至少一部分。然后可以提供用于主磁极的(多种)材料。例如，高饱和磁化强度磁性材料可以被电镀。主磁极材料可以被平坦化。然后，在主磁极的顶部形成尾锥。例如，从ABS凹进的主磁极的一部分顶部可以被掩模覆盖。然后可以以相对于垂直于ABS的方向的非零角度离子铣削主磁极。在这一过程中主磁极周围的一部分中间层也可以被离子铣削。在形成至少包括尾锥的主磁极之后，通过步骤104提供(多个)侧屏蔽件。在一些实施例中，步骤104可包括在将制造(多个)侧屏蔽件的区域中去除与主磁极相邻的中间层。例如，可以在主磁极上提供间隙层，并且在间隙层上提供掩模。然后可以例如通过湿法蚀刻去除中间层的期望部分。(多个)屏蔽件的籽晶层可以被沉积，并且磁性材料(诸如NiFe)可以被电镀或以其他方式沉积。因此，可以形成环绕屏蔽件。在其它实施例中，可以去除(多种)屏蔽件材料的后部。因此，也可以仅制造侧屏蔽件。使用该方法100，可以制造具有改进性能的磁性换能器。侧屏蔽件和后屏蔽件之间的过渡可以是无界面的。因此，可以改进(多个)屏蔽件的性能。此外，换能器的制造可被简化。图4A-4C示出使用方法100形成的磁盘驱动器和换能器的各种视图。图4A示出包括写换能器220的一部分磁盘驱动器200的示例性实施例的侧视图。图4B和图4C分别示出换能器220的横截面侧(顶点)视图和ABS视图。为了清楚起见，图4A、图4B和图4C并不是成比例的。为简单起见，磁盘驱动器200和换能器220的并非所有部分都被示出。此夕卜，尽管磁盘驱动器200和换能器220是在特定组件的背景中进行描述的，但是也可以使用其他和/或不同的组件。例如，用于驱动和控制该磁盘驱动器200的各部分的电路并未示出。为简单起见，仅示出单个组件202、210、220、222、230和240。然而，可以使用每种组件202、210、220、222、230、240和/或它们的子组件的多数个。磁盘驱动器200可以是垂直磁记录(PMR)磁盘驱动器。然而，在其它实施例中，磁盘驱动器200可以被配置用于其它类型的磁记录，包括(但不限于)热辅助磁记录(HAMR)。磁盘驱动器200包括介质202、滑块210和写换能器220。额外的和/或不同的组件可以被包括在磁盘驱动器200中。尽管图中未示出，但滑块210以及因此换能器220通常附连到悬架(未示出)。换能器220被制造在滑块210上并包括在使用过程中接近介质202的空气支承表面(ABS)。在一般情况下，磁盘驱动器200包括写换能器220和读换能器(未示出)。然而，为了清楚起见，仅示出写换能器220。换能器220包括主磁极230、线圈222、屏蔽件240、侧间隙224和顶间隙226。在其他实施例中，不同的和/或附加的组件可以用在写换能器220中。(多个)线圈222被用于激励主磁极230。在图4A中示出两个线匝222。但是，可以使用其他数量的线匝。应注意到，图4A中仅显示线圈222的一部分。例如，如果线圈222形本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于制造具有空气支承表面位置即ABS位置的磁性换能器的方法，其包括：提供主磁极，所述主磁极具有多个侧壁，提供所述主磁极的步骤包括提供尾锥；在已提供所述尾锥之后提供侧屏蔽件。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：M·余，D·李，LC·王，L·钟，T·潘，
申请(专利权)人：西部数据弗里蒙特公司，
类型：发明
国别省市：美国;US