本发明专利技术提供用于防止粒子进入机电系统EMS显示装置的系统、方法和设备。在一方面中，一种设备包含：板；衬底，其支撑至少一EMS装置；密封件，其接合所述板和所述衬底以在其间界定腔和用于接收流体的至少一端口；以及过滤器，其安置于所述端口与所述EMS装置之间。所述过滤器包含形成于所述衬底的表面和所述板的表面的至少一者上的元件，从而界定间隙，所述间隙经设定大小以容许所述所接收的流体通过且抑制所述流体中所载送的非流体粒子进入所述EMS装置。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
[OOOU 本专利技术设及机电系统（EM巧和装置，且更特定来说，本专利技术设及防止粒子进入EMS 显示装置。
技术介绍
[000引机电系统（EM巧包含具有电和机械元件、致动器、感测器、传感器、光学组件（例如 镜和光学膜）和电子装置的装置。可依各种尺度（其包含（但不限于）微尺度和纳米尺 度）制造EMS装置或元件。例如，微机电系统（MEM巧装置可包含具有在约1微米到数百微 米或更大范围内的大小的结构。纳机电系统（NEM巧装置可包含小于1微米的大小（其包 含（例如）小于数百纳米的大小）的结构。可使用沉积、蚀刻、光刻和/或其它微机械加工 过程（其蚀除衬底和/或经沉积材料层的部分，或添加若干层W形成电装置和机电装置） 来产生机电元件。并入有MEMS光调制器的装置可包含数百、数千或在一些情况中数百万个移动元 件。当一装置中的移动元件失效时，所述装置最终无法适当运行。移动元件失效的一个原 因是静摩擦。在一些装置中，元件的每一移动给静摩擦提供机会W使元件的一或多者失效。 通过使所有部件浸入工作流体（也称为流体）中且将所述流体密封于MEMS单元的流体空 间或间隙内而促进此移动且减少静摩擦。所述流体通常为长期具有低摩擦系数、低粘度和 最小降级效应的流体。识别数千或数百万个移动元件的各种失效原因且降低失效率可增加 装置寿命。尽管此流体可有助于减少摩擦W增加装置寿命，但所述流体也会产生问题。例如， 脏流体可引入沉积于装置的移动部件内的粒子W及其它问题。因而，仍需要改进可移动EMS装置的寿命的系统和方法。
技术实现思路
本专利技术的系统、方法和装置各具有若干创新方面，其中的单一者不单独负责本文 中所揭示的所要属性。本专利技术中所描述的标的物的一创新方面可实施于一种设备中，所述设备包含；板； 衬底，其支撑至少一机电系统（EMS)装置；密封件，其接合所述板和所述衬底W在其间界定 腔和用于接收流体的至少一端口；W及过滤器，其安置于所述端口与所述EMS装置之间且 具有形成于所述衬底的表面和所述板的表面的至少一者上的元件，所述元件界定间隙，所 述间隙经设定大小W容许所述所接收的流体通过且抑制所述流体中所载送的非流体粒子 进入所述EMS装置。[000引在一些实施方案中，所述元件可包含形成于衬底上的多个相邻柱，且所述柱经横 向隔开W提供所界定的间隙。在一些实施方案中，所述元件可包含一体地形成于衬底的表 面和板的表面的至少一者上W形成障壁的一部分的间隔件。所述元件可包含至少两个壁， 其经隔开W形成通道W抵着至少一壁而导引所接收流体的流。 在一些实施方案中，所述元件可包含形成于板上的第一壁和形成于衬底上的第二 壁。所述第一壁与所述第二壁之间的间隔可界定间隙。在一些实施方案中，所述元件包含 形成于板上的第一壁和形成于衬底上的第二壁，且所述第一壁和所述第二壁形成W至少一 端口为中屯、的同屯、壁。 本专利技术中所描述的标的物的另一创新方面可实施于一种制造填充流体装置的方 法中，所述方法包含：提供板；提供衬底，其中所述衬底具有机电系统（EM巧装置，且其中所 述板和所述衬底的至少一者包含过滤器，且通过在所述衬底的表面和所述板的表面的至少 一者上提供一体形成的过滤器元件，且将所述过滤器元件定位于所述衬底或所述板的外围 边缘附近，且使所述过滤器元件间隔W界定经设定大小W抑制碎屑通过所述过滤器元件的 间隙而形成所述过滤器。在一些实施方案中，碎屑可包含任何非流体粒子。 在一些实施方案中，形成过滤器元件可包含；在衬底上形成多个柱。在一些实施方 案中，形成过滤器元件可包含；在板的表面上一体地形成间隔件。所述间隔件接触衬底和形 成于衬底上的至少一间隔件的至少一者。形成所述间隔件可包含；形成至少两个壁W形成 具有转弯W抵着所述两个壁的至少一者而导引流体流的通道。在一些实施方案中，形成过 滤器元件可包含；在板上形成第一壁和在衬底上形成第二壁，且当将板与衬底接合时，所述 第一壁和所述第二壁经横向相邻地安置W形成障壁。 本专利技术的标的物的另一创新方面可实施于一种设备中，所述设备包含；板；衬底， 其支撑形成于其上的至少一机电系统（EM巧装置；密封件，其接合所述板和所述衬底W在 所述板与所述衬底之间界定腔和用于接收到所述腔中的流体的至少一端口；W及用于过滤 在所述至少一端口处注入到所述腔中的所述流体的装置。用于过滤的所述装置一体地形成 于所述衬底的表面和所述板的表面的至少一者上，且用于过滤的所述装置抑制所述流体中 的非流体粒子进入所述至少一EMS装置。 在一些实施方案中，用于过滤的装置可包含形成于衬底上且经横向隔开W界定间 隙的多个相邻柱。在一些实施方案中，用于过滤的装置可包含一体地形成于板的表面上W 形成障壁的一部分的间隔件。在一些实施方案中，用于过滤的装置可包含至少两个壁，其经 隔开W形成抵着至少一过滤壁而导引所接收流体的流的通道。在一些实施方案中，用于过 滤的装置可包含形成于板上的第一壁和形成于衬底上的第二壁，且所述第一壁与所述第二 壁经横向相邻安置。在一些实施方案中，用于过滤的装置可包含形成于板上的第一壁和形 成于衬底上的第二壁，且所述第一壁和所述第二壁可形成W至少一端口为中屯、的同屯、环形 壁。 附图和下列描述中阐释本专利技术中所描述的标的物的一或多个实施方案的细节。尽 管主要针对基于EMS和MEMS的显示器而描述本专利技术中所提供的实例，但本文中所提供的概 念可应用于其它类型的显示器，例如液晶显示器（LCD)、有机发光二极管（"OL邸"）显示器 和场发射显示器。将从描述内容、图式和权利要求书明白其它特征、方面和优点。注意，W 下图式的相对尺寸未必按比例绘制。【附图说明】 图1A是实例性显示设备的等角视图。 图1B是图1A的显示设备的框图。 图2A是适合于并入到图lA的显示设备中的基于遮光器的说明性光调制器的透视 图。[001引图2B是适合于并入到图1A的显示设备中的基于卷帘的光调制器的横截面图。 图2C是适合于并入到图1A的显示设备的替代实施方案中的基于光分接器的光调 制器的横截面图。 图2D是适合于并入到图1A的显示设备的替代实施方案中的基于电湿润的光调制 器的横截面图。 图3A是适合于控制并入到图1A的显示设备中的光调制器的控制矩阵的示意图。 图3B是连接到图3A的控制矩阵的基于遮光器的光调制器的实例性阵列的透视 图。 图4A和图4B分别是处于敞开状态和关闭状态的实例性双致动式遮光器组合件的 平面图。 图5是基于遮光器的实例性显示设备的横截面图。 图6描绘包含密封件和流体填充端口的实例性显示器。 图7描绘包含两种类型的过滤器元件的过滤器的实例。 图8A描绘包含两种类型的过滤器元件的过滤器的实例。[002引图8B是实例性过滤器元件和碎屑粒子的横截面图。 图9A描绘具有弓形过滤器元件的过滤器的实例。 图9B是实例性过滤器元件和碎屑粒子的横截面图。 图10A描绘形成通道的过滤器的实例。 图10B是实例性过滤器元件和碎屑粒子的横截面图。 图11A是包含两种类型的过滤器元件的过滤器的实例。 图11B是实例性过滤器元件的横截面图。 图12是用于制造包含过滤器的装置的实例性方法的流程图。 图13A和图13B是说明包含多个光调制器显示元件的显示装置的实例性系统框 图。 各个图式中的相同本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种设备，其包括：板；衬底，其支撑至少一机电系统EMS装置；密封件，其接合所述板和所述衬底以在其间界定腔和用于接收流体的至少一端口；以及过滤器，其安置于所述端口与所述EMS装置之间，且具有形成于所述衬底的表面和所述板的表面的至少一者上的元件，从而界定间隙，所述间隙经设定大小以容许所述所接收的流体通过且抑制所述流体中所载送的非流体粒子进入所述EMS装置。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：E·E·菲克三世，T·J·布洛斯妮汉，
申请(专利权)人：皮克斯特隆尼斯有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。