MEMS开关装置、阵列基板及其制作方法和显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种MEMS开关装置、阵列基板及其制作方法、显示装置和MEMS开关装置的驱动方法，显示装置可以在透射模式、反射模式和半透半反模式灵活切换，以满足不同场景的显示需求。MEMS开关装置包括光阀元件和开关元件，光阀元件包括：垂直于光透射方向的第一感应电极；平行于光透射方向的第二感应电极；覆盖于第一感应电极和第二感应电极，并将第一感应电极和第二感应电极绝缘隔离的绝缘层；位于第一感应电极和第二感应电极交汇处的锚定部；与锚定部连接的移动光栅，移动光栅可在与第二感应电极具有夹角时反射环境光或前置光源发出的光；当对光阀元件施加电场电压时，光阀元件工作于透射模式、反射模式或半透半反模式。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，特别是涉及一种MEMS(Micro-electromechanical System，微电子机械系统)开关装置、阵列基板及其制作方法、显示装置和MEMS开关装置的驱动方法。
技术介绍
液晶显示装置根据采用的光源不同，可分为透射式、反射式和半透半反式。其中，透射式液晶显示装置以背光源作为光源，优点是可以在暗的环境下显示明亮的图像，但缺点是能透过的光线占背光源发射光线的比例较小，功耗较高；反射式液晶显示装置以前置光源或者环境光源作为光源，其阵列基板上采用金属或者其它具有良好反射特性的材料层作为反射区，从而可以将前置光源或者环境光源的光线反射来显示图像，其优点是能利用前置光源或者环境光源作为光源，功耗相对较低，但缺点是由于对外部光源的依赖而无法在暗处显示图像；半透半反式液晶显示装置则可以视为透射式液晶显示装置与反射式液晶显示装置的结合，在阵列基板上既设置有反射区，又设置有透射区，可以同时利用背光源以及外界光源进行显示。随着MEMS技术的发展，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MEMS开关装置，其特征在于，包括光阀元件和开关元件，其中：所述光阀元件包括：垂直于光透射方向的第一感应电极；平行于光透射方向的第二感应电极；覆盖于所述第一感应电极和第二感应电极，并将所述第一感应电极和第二感应电极绝缘隔离的绝缘层；位于所述第一感应电极和第二感应电极交汇处的锚定部；与所述锚定部连接的移动光栅，所述移动光栅可在与第二感应电极具有夹角时反射环境光或前置光源发出的光；当系统电路通过所述开关元件对所述光阀元件施加电场电压时，所述光阀元件工作于透射模式、反射模式或半透半反模式。

【技术特征摘要】
1.一种MEMS开关装置，其特征在于，包括光阀元件和开关元件，其中：
所述光阀元件包括：垂直于光透射方向的第一感应电极；平行于光透射方
向的第二感应电极；覆盖于所述第一感应电极和第二感应电极，并将所述第一
感应电极和第二感应电极绝缘隔离的绝缘层；位于所述第一感应电极和第二感
应电极交汇处的锚定部；与所述锚定部连接的移动光栅，所述移动光栅可在与
第二感应电极具有夹角时反射环境光或前置光源发出的光；
当系统电路通过所述开关元件对所述光阀元件施加电场电压时，所述光阀
元件工作于透射模式、反射模式或半透半反模式。
2.如权利要求1所述的MEMS开关装置，其特征在于，所述锚定部为枢
轴，所述移动光栅与所述枢轴枢接；或者，所述锚定部为弹簧，所述移动光栅
与所述弹簧的一端固定连接。
3.如权利要求1所述的MEMS开关装置，其特征在于，所述开关元件包
括分别对应第一感应电极和第二感应电极所设置的两个薄膜晶体管。
4.如权利要求1～3任一项所述的MEMS开关装置，其特征在于，所述第
一感应电极的材质为透明导电金属或透明导电非金属，所述第二感应电极和移
动光栅的材质为不透明导电金属或不透明导电非金属。
5.一种MEMS阵列基板，其特征在于，包括：衬底基板，以及位于衬底
基板之上且呈阵列排布的多个如权利要求1～4任一项所述的MEMS开关装置。
6.一种显示装置，其特征在于，包括背光装置、位于所述背光装置前侧
的如权利要求5所述的MEMS阵列基板，以及位于所述MEMS阵列基板前侧<...

【专利技术属性】
技术研发人员：李会，崔贤植，林允植，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11