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本发明公开了一种MEMS开关装置、阵列基板及其制作方法、显示装置和MEMS开关装置的驱动方法,显示装置可以在透射模式、反射模式和半透半反模式灵活切换,以满足不同场景的显示需求。MEMS开关装置包括光阀元件和开关元件,光阀元件包括:垂直于光透...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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