一种新型太阳能硅料酸洗方法技术

技术编号:11915139 阅读:86 留言:0更新日期:2015-08-20 18:38
本发明专利技术涉及太阳能电池生产领域,具体是一种新型太阳能硅料酸洗方法。一种新型太阳能硅料酸洗方法,腐蚀过程酸槽中使用的酸洗液为HF、HNO3、CH3C00H三种酸混合而成,其中HNO3采用质量百分比浓度为66%的HNO3,HF采用质量百分比浓度为49%HF,CH3C00H采用质量百分比浓度为99.5%CH3C00H,按照体积比5:3:4混合,腐蚀时间45-60s。醋酸作为缓冲溶剂,减缓了反应速率,使硅与混酸反应稳定,提高了HF、HNO3的利用率。节省了生产成本。腐蚀时间短,缩短了生产周期。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能电池生产领域,具体是。
技术介绍
目前酸洗工艺采用全自动酸洗机,包括HF+HN03腐蚀、快排漂洗、纯水溢流漂洗、纯水锁、超声清洗、N2切水、热干燥。在酸槽使用66%的HNO 3、49%HF溶液,初始添加順03与HF的比例为8:1,酸槽反应时间参数为90s~150s、温度参数为15°C ~35°C。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是:如何提供与一种酸洗液,该酸洗液能抵消硅料与混酸过程快造成的负面影响,同时腐蚀时间短,硅料表面腐蚀均匀、无黄边。本专利技术所采用的技术方案是:,采用全自动酸洗机,依次进行腐蚀、快排漂洗、纯水溢流漂洗、纯水锁、超声清洗、N2切水、热干燥等步骤,温度参数为15°C ~35°C,腐蚀过程酸槽中使用的酸洗液为HF、HNO3、CH3COOH三种酸混合而成,其中順03采用质量百分比浓度为66%的HNO 3,HF采用质量百分比浓度为49%HF,CH3COOH采用质量百分比浓度为99.5%CH3C00H,按照体积比5:3:4,腐蚀时间45_60s。本专利技术的有益效果是:醋酸作为缓冲溶剂,减缓了反应速率,使硅与混酸反应稳定,提高了 HF、HN03的利用率。节省了生产成本。腐蚀时间短,缩短了生产周期。【具体实施方式】采用原有设备,采用快排漂洗、纯水溢流漂洗、纯水锁、超声清洗、N2切水、热干燥的清洗步骤。改变HF与順03酸洗溶液配比并且添加CH 3C00H,酸洗槽温度参数限定为15°C ~35°C。第一阶段:分析酸洗工艺生产统计数据,确定影响生产周期、生产质量(黄边、腐蚀不均匀等)的主因。本阶段数据如下:HN03:HF初始配比是8:1、初始腐蚀时间120s 工艺效果如下:初始加液后清洗出的硅料有黄边、表面腐蚀不均匀,同时产生大量黄烟、温度波动大 原因分析如下:混酸溶液初始反应剧烈,影响清洗质量。第二阶段:针对主因,制定相应的对策。分析同行业清洗工艺结合自身清洗经验,确定酸槽化学试剂(HF、HN03、CH3C00H)及实验比例分别为5:1:1、5:2:2、5:3:3 (混合比都采用体积比)。本阶段数据如下:HN03初始浓度为66% (质量百分比)、HF初始浓度为49% (质量百分比)、CH3COOH初始浓度为99.5% (质量百分比)。第三阶段:实施对策,检查效果分组进行实验,效果如下: 1、圆03:册配比5:1腐蚀时间60s,腐蚀不均匀,硅料边缘氧化、有黄边 2、HNO3:HF = CH3COOH配比5:1:1腐蚀时间60s,腐蚀深度浅,无氧化 3、HN03:HF:CH3C00H配比5:2:2腐蚀时间60s,腐蚀深度较浅,腐蚀均匀 4、HN03:HF:CH3C00H配比5:2:2腐蚀时间90s,硅料明亮,腐蚀均匀、适中(表面最优) 5、HNO3:HF= CH3COOH配比5:3:2腐蚀时间60s,腐蚀刻度深,有黄边、有氧化 6、HNO3:HF= CH3COOH配比5:3:3腐蚀时间60s,腐蚀刻度深,无黄边 7、HN03:HF:CH3C00H配比5:3:3腐蚀时间90s,腐蚀刻度深,无黄边,微弱氧化 8、HNO3:HF:CH3COOH配比5:3:4腐蚀时间50s,腐蚀刻度深,无黄边,无氧化(表面最优、清洗速度最快)。总结:在上述实验过程中,按照HF、HNO3、CH3C00H三种酸按照5:3:4的配比清洗出最佳效果,且清洗速度最快。本专利在原有工艺基础上增加醋酸原料,同时起到了催化作用,降低原有材料消耗,节约了成本,使新产品质量与产量得到提高。【主权项】1.,采用全自动酸洗机,依次进行腐蚀、快排漂洗、纯水溢流漂洗、纯水锁、超声清洗、N2切水、热干燥等步骤,温度参数为15°C ~35°C,其特征在于:腐蚀过程酸槽中使用的酸洗液为HF、HNO3, CH3COOH三种酸混合而成,其中HNO3采用质量百分比浓度为66%的HNO3, HF采用质量百分比浓度为49%HF,CH3COOH采用质量百分比浓度为.99.5%CH3C00H,按照体积比5:3:4混合,腐蚀时间45_60s。【专利摘要】本专利技术涉及太阳能电池生产领域,具体是。,腐蚀过程酸槽中使用的酸洗液为HF、HNO3、CH3C00H三种酸混合而成,其中HNO3采用质量百分比浓度为66%的HNO3,HF采用质量百分比浓度为49%HF,CH3C00H采用质量百分比浓度为99.5%CH3C00H,按照体积比5:3:4混合,腐蚀时间45-60s。醋酸作为缓冲溶剂,减缓了反应速率,使硅与混酸反应稳定,提高了HF、HNO3的利用率。节省了生产成本。腐蚀时间短,缩短了生产周期。【IPC分类】C01B33-037【公开号】CN104843711【申请号】CN201510196136【专利技术人】张之栋, 刘进, 张广强, 郑兵 【申请人】山西潞安太阳能科技有限责任公司【公开日】2015年8月19日【申请日】2015年4月23日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型太阳能硅料酸洗方法,采用全自动酸洗机,依次进行腐蚀、快排漂洗、纯水溢流漂洗、纯水锁、超声清洗、N2切水、热干燥等步骤,温度参数为15℃~35℃,其特征在于:腐蚀过程酸槽中使用的酸洗液为HF、HNO3、CH3C00H三种酸混合而成,其中HNO3采用质量百分比浓度为66%的HNO3,HF采用质量百分比浓度为49%HF,CH3C00H采用质量百分比浓度为99.5%CH3C00H,按照体积比5:3:4混合,腐蚀时间45‑60s。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张之栋刘进张广强郑兵
申请(专利权)人:山西潞安太阳能科技有限责任公司
类型:发明
国别省市:山西;14

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